碱抛 不良种类分析总结_第1页
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文档简介

1.碱抛（环形过抛）原因：进去PSG机台反片（多为补片）解决方案：1、稽核人员操作，规范作业2、醒目处张贴注意事项2.碱抛（大面积过抛）原因：1、扩散面PSG不均匀；2、添加剂浓度低、抛光槽药液寿命超极限；解决方案：1、排查扩散形成PSG情况；2、补加添加剂，无改善重复配液3.碱抛（边缘带状过抛）原因：1、正面水膜流量偏低，保护不足解决方案：1、加大水膜流量4.碱抛（漏抛）原因：1、去PSG时，背面局部未接触HF，PSG去除不净2、HF浓度低；3、氧化层厚度过大或不均匀解决方案：1、检查去PSG液位高度，1/3滚轮处较佳2、测试滚轮水平度度。5.碱抛（外观水痕）原因：1、添加剂特性不同影响，在慢提拉槽疏水性不佳解决方案：1、慢提拉槽改冷水（初配和溢流）6.碱抛（气流印）原因：1、可能为NaOH反应导致（业内暂未确定）2、外观不可见，EL可见解决方案：1、NaOH更换为KOH（有改善）7.碱抛（边缘白脏污亮点）原因：1、暂不清楚8.碱抛（外观花篮齿印）原因：1、机械臂异常，导致慢提拉槽停留时间过久（300s）2、下料不及时，导致慢提拉停留时间过久；3、花篮问题（慢提拉问题，暂不确定，待进一步验证）解决方案：1、反馈设备，解决机械臂的稳定性2、要求生产及时下料，禁止下料堵片3、饱和花篮（外观缺陷花篮隔离返修）9.碱抛（正面边缘过抛）原因：1、水膜覆盖不完全解决方案：1、检查去PSG各道水膜出水情况2、加大PSG刻蚀机台的水膜流量。10.碱抛（背面局部欠抛）原因：1、去PSG时，背面局部未接触HF，导致局部PSG去除不净解决方案：1、检查去PSG液位高度，1/3滚轮处较佳；2、测试滚轮水平度度。11.碱抛（EL篮齿印）原因：1、花篮涂层破损严重解决方案：1、隔离破损严重花篮，返修、喷涂纳米氟2、慢提调节成弱酸性（关闭慢提前的水槽溢流）12.碱抛（背面雨点印）原因：1、抛光槽碱浓度过低，导致抛光反应不充分；2、反应时间不足；3、进料时，未到到设备问题。解决方案：1、补加1-3LKOH，提高抛光槽碱浓度，严重时重新配液2、有改善，可临时提升自补量13.碱抛（脏污）原因：1、碱洗药液不均匀2、碱洗浓度偏低解决方案：1、补加3-5LH2O2、1LKOH2、有改善，临时提升自补量14.碱抛（条形脏污）原因：1、制绒和碱抛花篮混用；解决方案：1、要求严格管控花篮，禁止不同工序混用；15.碱抛（舟框位置脏污）原因

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