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文档简介
2024年压力传感器MEMS行业市场分析报告汇报人:XXX日期:XXX1contents目录行业发展概述行业环境分析行业现状分析行业格局及趋势12342Part01行业发展概述行业定义行业发展历程行业产业链3行业定义MEMS压力传感器是基于MEMS技术和半导体集成电路制造加工技术,以利用单晶硅硅片(或称晶圆)等传统半导体材料制作而成的芯片作为主要组成部分,将压强信号转化为电学信号的压力测量器件。相比传统压力传感器,MEMS压力传感器具备体积小、重量轻、功耗低、响应时间短、可批量化生产、成本低、易于集成等众多优点,广泛应用于汽车、消费电子、航空航天、医疗保健和工业控制等领域。根据作用原理差异,MEMS压力传感器可分为压阻式、电容式、谐振式和压电式压力传感器等,其中压阻式传感器因其成本低、成熟度高等特点成为当前主流的MEMS传感器类型:压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器、压电式压力传感器。4行业产业链中国MEMS压力传感器行业产业链由上游MEMS压力传感器设计企业,中游传感器制造企业、封装测试企业,及下游汽车电子、智能手机、可穿戴设备、智能家居、工业控制和医疗等终端应用领域电子设备制造企业构成传感器设计企业感器制造企业、封装测试企业汽车电子、智能手机、可穿戴设备、智能家居、工业控制、医疗等终端产业链概述5行业产业链传感器设计企业产业链上游感器制造企业、封装测试企业产业链中游汽车电子、智能手机、可穿戴设备、智能家居、工业控制、医疗等终端产业链下游6行业产业链上游中国MEMS压力传感器行业产业链的上游主体是MEMS压力传感器设计企业。MEMS压力传感器设计包括工艺设计、机电和结构设计以及后端的封装测试设计。(1)机电和结构设计涵盖有限元分析(FEA)建模和传感器版图结构设计。MEMS压力传感器设计企业通过Coventor、Ansys、TannerPro等国际MEMSEDA软件企业提供的仿真模拟分析和建模设计软件实现结构分析、力学分析、温度分析、灵敏度分析、耦合分析等,从而完成传感器结构建模,再通过AutoCAD等绘图工具绘制MEMS传感器掩膜版,从而完成版图结构设计。由于海外MEMS传感器行业商业化始于2000年左右,而中国MEMS传感器行业商业化始于2009年,中国MEMS传感器行业起步较晚,中国市场尚不具备成熟的、商业化的、为MEMS设计提供辅助的本土EDA软件供应商。(2)工艺设计主要为MEMS压力传感器制作工艺设计,制作工艺的选择对传感器参数、制造成本、兼容性和集成度等方面均产生关键影响。例如,苏州敏芯微为压力传感器设计了SENSA工艺,用于硅压力传感器制造。采用该工艺的传感器可缩减30%以上尺寸、降低25%以上厚度,从而降低产品整体制造成本,同时满足下游向小型化发展的终端电子产品对传感器更加轻薄的要求。此外,具备轻薄优势的传感器有利于其与配套的其他器件相互集成,提高传感器集成度。(3)封装测试设计包括封装形式设计和测试系统设计。由于MEMS压力传感器种类多、应用广,传感器企业需完成封装测试设计,即对传感器封装形式和测试系统做出定制化设计。相比半导体集成电路封装,MEMS传感器封装更加复杂,在封装设计方面需考虑更多因素。例如,温度、湿度以及传感器自身的封装材料散热性、耐腐蚀性和结构强度等外部因素对传感器可靠性产生的影响,因此封装设计需考虑如何选择合适的封装结构和封装材料,以保护传感器免受外部因素干扰。MEMS压力传感器的线性度、灵敏度、迟滞性等性能指标受不同外部因素影响,因此企业需针对应用于不同环境和应用领域的传感器的测试系统进行定制化设计。例如,压阻式传感器易受温度影响,因此测试系统设计需更关注该类传感器特定应用领域的温度环境。产业链上游概述7行业产业链中游中国MEMS压力传感器行业产业链的中游环节参与者为传感器制造及封装测试企业,对于MEMS压力传感器产品而言,传感器制造和封装测试成本占产品总成本70%以上,其中封装测试成本占比最大,超过40%(见错误!未找到引用源。)。因此,降低产业链中游生产成本是降低传感器总成本的关键。(1)MEMS压力传感器制造企业具备MEMS压力传感器制造能力的企业为采用IDM模式的大型企业和晶圆代工企业。其中,晶圆代工企业又可分为纯MEMS代工企业、传统代工企业和IDM代工企业:①纯MEMS代工企业即仅提供MEMS传感器制造服务的企业,该类企业提供代工服务的特点为产品生产批次多但批量小,可为上游众多小规模传感器设计企业提供代工服务。纯MEMS代工企业的优势为代工效率高,具备标准化的工艺模块因而开发周期短、MEMS技术储备丰富,劣势为产能较低、客户规模相对较小。纯MEMS代工的代表性企业包括TELEDYNE、IMT和中国本土企业耐威科技子公司Silex等。②传统代工企业即传统的半导体集成电路代工企业,该类企业产品生产批量大,多为下游大规模企业客户提供代工服务。传统代工企业的优势为产线多、产能庞大、大型客户资源多,劣势为缺乏MEMS技术积累因而开发周期长。传统代工的代表性企业包括台积电、格罗方德和中芯国际等。③基于提高产能利用率和拓展业务收入来源等角度考虑,采用IDM模式的大型企业亦为上游客户提供传感器制造代工服务,该类企业的客户是与IDM企业自身业务无利益冲突的传感器设计企业,因此IDM代工企业的产品种类较少。IDM代工企业的优势为技术成熟、可为客户提供从设计到制造再到封装测试等环节的全套解决方案,劣势为潜在的利益冲突导致客户相对单一、代工品种单一、自营产品和客户产品共存易引起知识产权风险。IDM代工的代表性企业包括博世、意法半导体和士兰微等。产业链中游概述8行业产业链下游处于中国MEMS压力传感器行业产业链下游的是汽车电子、消费电子、工业控制和医疗等终端应用领域电子设备制造企业。MEMS压力传感器应用领域广泛,其中汽车电子是压力传感器传统应用领域亦是最主要应用领域。手机、可穿戴设备、智能家居等消费电子领域是新兴应用领域,近5年复合增长率超过20%,已成为MEMS压力传感器第二大应用领域(1)汽车电子企业是MEMS压力传感器下游主要客户,该应用领域占比超过50%。汽车所需MEMS压力传感器包括胎压传感器、油压传感器、空调压力传感器、气囊压力传感器等,MEMS压力传感器是汽车中使用最多的MEMS传感器之一。MEMS压力传感器以其微型化、轻量化、可批量生产、集成化等优势在汽车领域得到广泛认可和接受并逐渐替代传统的机械式压力传感器,在汽车领域进一步发展的空间可观。(2)消费电子企业随着物联网的发展和应用,已成为MEMS压力传感器的重要客户,该应用领域占比近30%。随着消费电子产品的快速发展,MEMS压力传感器渗透率不断提高。例如,在智能手机、智能手表、无人机等电子产品中,MEMS压力传感器发挥作为运动类传感器起辅助定位和导航等作用。在智能家居中,MEMS压力传感器发挥监测室内环境压力如天然气管道压力,确保环境安全性等作用。受物联网快速发展的影响,MEMS压力传感器在新兴消费电子领域将得到更广泛的应用。产业链下游概述9Part02行业环境分析行业政治环境行业经济环境行业社会环境行业驱动因素10行业政治环境描述:《“十三五”国家科技创新规划》:提出推动传统制造业转型升级,推进制造业向智能化方向发展,重点研究物联网等领域关键设备制造,推动MEMS传感器自主研发能力工信部:《乘用车轮胎气压监测系统的性能要求和试验方法》:要求自2019年1月1日起,中国市场所有新认证乘用车强制安装TPMS,自2020年1月1日起,所有新生产乘用车强制安装TPMS国家发展和改革委员会:《产业结构调整指导目录:主要内容》:将新型智能传感器、MEMS传感器先进封装测试列入国家产业结构调整鼓励类项目。11行业政治环境11部门2部门3部门国家发展和改革委员会《“十三五”国家科技创新规划》:提出推动传统制造业转型升级,推进制造业向智能化方向发展,重点研究物联网等领域关键设备制造,推动MEMS传感器自主研发能力《乘用车轮胎气压监测系统的性能要求和试验方法》:要求自2019年1月1日起,中国市场所有新认证乘用车强制安装TPMS,自2020年1月1日起,所有新生产乘用车强制安装TPMS《产业结构调整指导目录:主要内容》:将新型智能传感器、MEMS传感器先进封装测试列入国家产业结构调整鼓励类项目。工信部12行业政治环境26提出建设广覆盖、大连接、低功耗移动物联网(NB-IoT)基础设施,推进NB-IoT网络部署和拓展行业应用,作为物联网感知层的关键硬件设施,MEMS传感器需求将不断增加。《关于全面推进移动物联网(NB-IoT)建设发展的通知》规定了MEMS领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测试以及器件等方面的通用术语和定义,为MEMS传感器行业发展提供基础指导。《GB/T26111-2010微机电系统(MEMS)技术术语》规定了MEMS压阻式压力传感器的术语、定义、试验条件、试验规定、试验内容和方法。《GB/T33922-2017MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》提出MEMS行业总规范,规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试总则,该规范重点参考了国际标准,为中国MEMS传感器行业向国际领域拓展提供基础指引。《GB/T32817-2016半导体器件微机电器件MEMS总规范》1301020304行业经济环境近年来受益于中国智能手机、平板电脑等消费电子类产品产量的稳定增长,加速度计、陀螺仪和微型麦克风等MEMS产品的需求也不断增长,使得中国已经成为全球MEMS市场中发展最快的地区,据统计,我国MEMS产业近几年市场增长几乎每年保持在20%,即使是2020年新冠疫情席卷全球的情况下,我国GDP增长3%,MEMS市场增速达到22%。2022年我国MEMS产业规模将突破1000亿元,在2023年达到1270.6亿元。14社会环境1社会环境2行业社会环境伴随物联网应用的拓展和深化,感知层对压力传感器等直接采集信息的器件需求将大幅增加,同时对器件提出尺寸微型化、功能集成化、产品可低成本大规模制造等要求,MEMS压力传感器以其物理尺寸、功耗、成本和易于与集成等众多优势,将得到广泛应用。MEMS压力传感器应用得益于近些年压力传感器在高端智能手机和平板电脑中的快速普及,消费类市场现已成为第二大压力传感器市场。并且,受室内导航和室外导航等新用户案例的驱动,压力传感器将进一步向安卓(Android)中低端智能手机普及。压力传感器成本的降低,以及更高的精度和改善的功耗,也使新应用的发展成为可能,例如可穿戴设备、电子香烟、无人机和智能家居等。15行业社会环境航空电子和高端应用仍然是压力传感器的利基市场,但得益于活跃的飞机市场和MEMS压力传感器对传统技术的取代,因此展现了最快的市场增长率。由于医疗和工业市场在应用端没有显著的改变,因此这两块市场正以平稳的速度增长。不过就应用而言有一例外,新型智能医疗吸入器介于医疗和消费类市场之间,为未来多种医疗消费类物联网应用打开了大门。总体而言,MEMS压力传感器市场的年增长率为8%,到2023年总体市场规模将增长至20亿美元16行业驱动因素1234政策支持MEMS传感器属于新型智能传感器,具备较高技术水平,广泛应用于各类终端领域,是物联网的关键硬件组成部分。MEMS传感器行业的健康发展是推动中国产业信息化、智能化的基础。中国政府发布了一系列相关政策和标准,引导和推动中国MEMS传感器行业发展TPMS渗透率不断提高,MEMS压力传感器获得发展动力汽车电子是MEMS压力传感器的传统应用领域,也是应用占比最大的领域,广泛应用于轮胎压力、燃油压力、气囊压力、空调压力、管道压力等汽车电子系统中。其中,汽车胎压监测系统(TPMS)对汽车用MEMS压力传感器需求量庞大,伴随中国汽车向安全化和智能化方向的发展,TPMS渗透率将不断提高,为MEMS压力传感器提供发展动力。物联网蓬勃发展,MEMS压力传感器发展空间广阔随着物联网的发展,压力传感器使用量大幅增加、应用场景愈加丰富多样,物联网对压力传感器物理尺寸、功耗和成本等提出更高要求。相比传统的传感器,MEMS压力传感器具备体积小、重量轻、功耗低、响应短、可批量化生产、成本低、易于集成等众多优点,满足物联网发展要求。在物联网的快速发展下,MEMS压力传感器具备广阔的发展空间。MEMS传感器的下游市场空间巨大MEMS传感器作为信息获取和交互的关键器件,目前已在消费电子、汽车、医疗、工业、通信、国防和航空等领域广泛应用。近年来,国内消费电子市场蓬勃发展,新的产品形态也不断涌现。在物联网的结构中,感知层处于最底层,是物联网的先行技术,也是其数据和物理实体基础,而感知层中分布的各类传感器就是获取信息的关键。在人工智能领域,MEMS传感器承担了类似人体的各项感官功能,是未来人工智能领域不可或缺的组成部分。随着物联网和人工智能技术的不断发展,MEMS传感器作为这些新兴信息技术产业的必备器件,下游空间将进一步扩大,未来将在智能家居、自动驾驶、智能制造、智慧医疗等新兴领域扮演重要角色。17Part03行业现状分析行业现状行业痛点18行业现状压力传感器是MEMS传感器行业中市场规模最大的细分市场之一,在汽车、消费电子、工业、医疗和航空领域有着广泛的应用。据赛迪顾问数据,2018年中国MEMS压力传感器市场规模为116亿元,2016-2021年年均复合增长率为12%,2021年将突破150亿元。MEMS压力传感器是技术与资本密集型产业,国内缺乏从事MEMS压力传感器研发与量产的大型企业,目前全球MEMS压力传感器市场的市场份额仍然主要被博世、英飞凌等国外厂商占据。19行业市场情况中国MEMS压力传感器需求主要受汽车电子和消费电子市场的发展影响,MEMS压力传感器市场规模随汽车智能化和消费电子产品出货量增加而快速扩大。2014至2018年,中国MEMS压力传感器市场规模(按销售额统计)保持快速增长态势,从70.8亿元增长至111亿元,年复合增长率达19%。伴随物联网的发展,智能化的MEMS压力传感器需求将不断增加,汽车对传感器压力测量功能的需求亦持续上升,未来5年中国MEMS压力传感器市场规模将以16%的年复合增长率,于2023年增长至192亿元20行业市场规模从物联网市场空间角度而言,得益于全球物联网芯片技术的成熟、中国通信网络技术的发展和中国政府对物联网产业的大力支持,中国物联网产业链日趋成熟,物联网应用不断拓展。2014至2018年,中国物联网市场规模由5,960.3亿元增长至13,973亿元,年复合增长率超过20%在物联网持续深化和拓展下,接入物联网的设备数量增加,作为物联网感知层下的主要硬件,MEMS压力传感器等器件将成为物联网设备不可或缺的重要组成部分,享受中国物联网产业发展红利,拥有广阔的发展空间。21行业现状汽车电子是MEMS压力传感器应用占比最大的领域广泛应用于轮胎压力、燃油压力、气囊压力、空调压力、管道压力等汽车电子系统中。其中,汽车胎压监测系统(TPMS)对汽车用MEMS压力传感器需求量庞大,伴随中国汽车向安全化和智能化方向的发展,TPMS渗透率将不断提高,为MEMS压力传感器提供发展动力。消费电子企业随着物联网的发展和应用已成为MEMS压力传感器的重要客户,该应用领域占比近30%。随着消费电子产品的快速发展,MEMS压力传感器渗透率不断提高。例如,在智能手机、智能手表、无人机等电子产品中,MEMS压力传感器发挥作为运动类传感器起辅助定位和导航等作用。在智能家居中,MEMS压力传感器发挥监测室内环境压力如天然气管道压力,确保环境安全性等作用。受物联网快速发展的影响,MEMS压力传感器在新兴消费电子领域将得到更广泛的应用。22行业痛点2中游制造和封装测试经验积累薄弱中国缺乏具备MEMS代工经验的制造和封装测试企业,导致上游传感器设计企业无法迅速将产品市场化,阻碍MEMS压力传感器产业化进程。技术人才匮乏相比同为技术密集型行业的传统半导体集成电路行业,MEMS压力传感器行业属于多学科交叉行业,MEMS传感器设计、制造和封装测试涉及电子、机械、材料、工艺制造、物理、化学、生物等众多学科,对不同专业背景复合型人才需求量大,而中国MEMS传感器行业起步较晚,传感器技术研发落后德国、美国等国家近十年,技术和人才储备匮乏,基础研究不充分,严重制约行业的发展。传感器进口依赖度高当前,中国芯片行业从业者不到30万人,其中高端人才供给不足。作为与芯片行业高度重合且多学科交叉特性更强的特殊行业,MEMS压力传感器行业在人才资源积累上更加缺乏。受此影响,中国MEMS压力传感器企业规模小、产品研发周期长、盈利能力低,多采用外购芯片封装测试的商业模式,导致本土企业及其下游客户对海外领先企业产品的进口依赖度高,中高端产品进口比例超过80%,传感器芯片进口比例约90%。23123流通环节有待完善压力传感器MEMS产品种类繁多,消费数量较大,质量参差不齐,试剂流通管理难以完善,导致压力传感器MEMS行业目前在流通领域还面临许多问题。(1)在产品的流通中,许多环节缺少安全的冷链和冷库设施供应。在目前运输多为汽车和铁路运输的情况下,压力传感器MEMS行业生产企业普遍采用运输箱内置冰冻袋的冷藏方式,在高温天气或长距离运输的情况下无法确保运输温度的稳定,影响试剂的安全性。(2)监管人员技术水平有待提高。压力传感器MEMS产品是一种高技术含量的产品,产品研发涉及生物学、信息技术、电子技术、工程学等多项学科,而目前从事压力传感器MEMS行业的人员50%以上是工商、质检管理等专业背景的人员,缺少必要的专业技术知识。知识背景的不匹配使得管理流程漏洞频发,压力传感器MEMS行业整体监管水平有待提高。(3)中间环节加价严重。出于安全的考虑,国家对压力传感器MEMS行业进出口标准与流程严格把控,环节复杂,中间环节加价严重,代理公司的介入可能使产品出厂价格上涨至少一倍以上,导致产品市场竞争力下降,阻碍本土压力传感器MEMS行业企业的国际化进程。流通环节问题中间环节加价严重供应链质量监管Part04行业竞争格局及趋势行业发展趋势行业竞争格局行业代表企业25&&&行业竞争格局概述行业竞争格局概述中国政府正大力推动社会资本进入压力传感器MEMS行业,对压力传感器MEMS行业产品需求被迅速拉动,需求量呈现上升趋势,压力传感器MEMS行业企业进军国民经济大产业的战略窗口期已经来临。压力传感器MEMS行业各业态企业竞争激烈,当前,市场上50%以上的压力传感器MEMS行业企业有外资介入,包括中外独(合)资、台港澳与境内合资、外商独资等,纯内资本土压力传感器MEMS行业企业数目较少,约占压力传感器MEMS行业企业总数的25%。此外,商业银行逐步进入压力传感器MEMS行业,兴业银行、中心银行、民生银行等先后成立金融公司,涉足设备融资租赁业务。中国本土压力传感器MEMS行业企业根据租赁公司股东背景及运营机制的不同又可以划分为厂商系、独立系和银行系三类三类压力传感器MEMS行业企业各有优劣势:(1)压力传感器MEMS行业企业具有设备技术优势,主要与母公司设备销售联动,以设备、耗材的销售利润覆盖融资租赁成本;(2)独立系压力传感器MEMS行业企业产业化程度高,易形成差异化商业模式,提供专业化的融资租赁服务;(3)银行系压力传感器MEMS行业企业背靠银行股东,能够以较低成本获取资金,且在渠道体系等方面具备一定优势。行业竞争格局由于中国MEMS压力传感器行业起步较晚,具备丰富技术储备和亿元以上收入规模的中国本土企业稀缺,产业链下游企业以采购进口产品为主,博世、英飞凌、恩智浦等国际企业占据中国MEMS压力传感器市场主导地位。为加强产业链协同和产学研合作,实现技术经验的快速积累、提高市场竞争力,中国本土MEMS压力传感器企业集聚效应明显。根据在中国MEMS传感器行业从事近10年MEMS传感器销售工作的专家表示,中国本土MEMS压力传感器企业与国际企业在技术、产能规模、盈利空间等方面均存在明显差距。中国本土企业自主设计、制造和封装测试的产品仍然以军工市场和技术要求较低的中低端市场为主,如低端消费电子产品市场。在汽车电子等主要应用市场,中国本土企业缺乏竞争力,导致中国MEMS压力传感器民用市场80%以上的份额由国际企业占据。在此背景下,中国本土企业业务及生产规模显著落后于国际企业,生产规模的明显差距导致本土企业单位生产成本远高于国际领先企业,本土企业产品毛利率低于20%,而国际企业毛利率高于60%。为增强市场竞争力,中国本土MEMS压力传感器企业与MEMS科研院校注重人才技术交流与合作。从企业地域分布而言,MEMS压力传感器企业集中于以北京为首的环渤海地区和以上海为首的长三角地区。在环渤海地区,北京大学、中科院、中电科技集团等企事业单位为该地区科研技术支撑,北京青鸟元芯、耐威科技等为该地区代表性企业。在长三角地区,中科院上海微系统与信息研究所、上海微技术工业研究院、中科院苏州纳米所等单位为该地区科研技术支撑,苏州敏芯微、苏州纳芯微、苏州明皜、无锡纳微、无锡龙微等为该地区代表性企业。伴随中国MEMS压力传感器产业链和科研生态的逐步完善,中国本土企业技术积累将稳步增加,企业竞争力将不断提高,企业产品将逐渐受到下游认可接受,企业业务规模将持续扩大,中国MEMS压力传感器本土企业在市场中的地位将得到加强。27行业竞争格局由于中国MEMS压力传感器行业起步较晚,具备丰富技术储备和亿元以上收入规模的中国本土企业稀缺,产业链下游企业以采购进口产品为主,博世、英飞凌、恩智浦等国际企业占据中国MEMS压力传感器市场主导地位。为加强产业链协同和产学研合作,实现技术经验的快速积累、提高市场竞争力,中国本土MEMS压力传感器企业集聚效应明显。根据在中国MEMS传感器行业从事近10年MEMS传感器销售工作的专家表示,中国本土MEMS压力传感器企业与国际企业在技术、产能规模、盈利空间等方面均存在明显差距。中国本土企业自主设计、制造和封装测试的产品仍然以军工市场和技术要求较低的中低端市场为主,如低端消费电子产品市场。在汽车电子等主要应用市场,中国本土企业缺乏竞争力,导致中国MEMS压力传感器民用市场80%以上的份额由国际企业占据。在此背景下,中国本土企业业务及生产规模显著落后于国际企业,生产规模的明显差距导致本土企业单位生产成本远高于国际领先企业,本土企业产品毛利率低于20%,而国际企业毛利率高于60%。竞争格局1为增强市场竞争力,中国本土MEMS压力传感器企业与MEMS科研院校注重人才技术交流与合作。从企业地域分布而言,MEMS压力传感器企业集中于以北京为首的环渤海地区和以上海为首的长三角地区。在环渤海地区,北京大学、中科院、中电科技集团等企事业单位为该地区科研技术支撑,北京青鸟元芯、耐威科技等为该地区代表性企业。在长三角地区,中科院上海微系统与信息研究所、上海微技术工业研究院、中科院苏州纳米所等单位为该地区科研技术支撑,苏州敏芯微、苏州纳芯微、苏州明皜、无锡纳微、无锡龙微等为该地区代表性企业。伴随中国MEMS压力传感器产业链和科研生态的逐步完善,中国本土企业技术积累将稳步增加,企业竞争力将不断提高,企业产品将逐渐受到下游认可接受,企业业务规模将持续扩大,中国MEMS压力传感器本土企业在市场中的地位将得到加强。竞争格局228行业发展趋势描述MEMS行业的研发与生产体系不断完善:在国家政策的大力支持下,国内MEMS行业的研发与生产体系不断完善,各研发与生产环节的实力整体提升。各类产业园区和研究平台为完善国内MEMS行业的研发体系提供了基础。专业的晶圆制造和封装领域的企业逐渐加大对MEMS业务的投入,并与公司一起开发了MEMS产品相应生产环节的制造加工工艺。我国MEMS行业研发和生产体系不断完善,为国内MEMS行业的发展提供了良好的发展环境。与ASIC芯片集成:MEMS压力传感器信号幅度较小,易受外界环境因素影响,同时传感器的特殊结构设计易引起输出信号呈非线性特征、零点漂移和温度漂移等现象,导致传感器感应数据的真实性和有效性降低。随着MEMS压力传感器需求的增加和集成工艺的成熟,基于与ASIC芯片集成带来的优点,传感器与ASIC芯片封装为一体的现象将日益普遍多种传感器及器件集成:伴随下游应用领域的发展,传感器数据采集维度增加,MEMS压力传感器逐渐由单一的、仅起到压力数据采集作用的器件向集合多种数据采集和处理为一体的智能传感器发展。压力传感器、陀螺仪、温度传感器等多种传感器以及其他功能器件集为一体,实现高度智能化,为拓展下游应用端精简地完成多维度数据采集提供条件MEMS压力传感器行业垂直分工模式逐渐成为主流:与传统半导体集成电路行业商业模式的发展路径相似,中国MEMS压力传感器行业将由当前的外购芯片封测模式向垂直分工模式(Fabless)方向发展。MEMS压力传感器产业链上游传感器设计企业与中游纯MEMS代工企业合作分工的商业模式将成为主流。29行业发展趋势在国家政策的大力支持下,国内MEMS行业的研发与生产体系不断完善,各研发与生产环节的实力整体提升。各类产业园区和研究平台为完善国内MEMS行业的研发体系提供了基础。专业的晶圆制造和封装领域的企业逐渐加大对MEMS业务的投入,并与公司一起开发了MEMS产品相应生产环节的制造加工工艺。我国MEMS行业研发和生产体
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