(高清版)GBT 42604-2023 真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范

GB/T42604—2023/ISO27894国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会I Ⅲ 1 1 1 5 6 67制造商另给出的热阴极电离真空计规范(可选) 8 9附录A(资料性)典型的玻璃壳体的B-A型真空计 附录B(资料性)B-A型真空计的典型电连接 附录C(资料性)电离真空计的问题 ⅢV空计收集的离子流与气体密度和压力成正比。高速运动的电子碰则是通过自持放电或电子发射阴极产生。在商用电离真空计中，电子1GB/T42604—2023/ISO27894:2b)热阴极电离真空计通常用作参考标准，本文件为高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开c)本文件还列出了与电离真空计压力测量相关的重要的不确定度分量，也给出了这些ISO/TS3567真空计与标准真空计直接比较校准(Vacuumgauges—Calibrationbydirectcomparisonwitharefere2控制单元controlunit控制器controller电离计中可为规管供电、控制与测量电流或电压以及在一些情况下为规管元件除气供电的电路组件。注1:见附录B中图B.1。集成式integratedtype发射式transmittertype规管和控制器为一体式结构，在烘烤时可以分开的真空计。分离式separatedtype被动式passivegaugetype规管和控制器是独立结构，两者之间由电缆连接的真空计。图1集成式和分离式真空计单式真空计singlegauge由单个规管组成的真空计。3GB/T42604—2023/ISO27894:2009壳体envelope3.2物理参数定义SI。——发射电流；I。——在压力p下测量的离子流；p压力；电离灵敏度ionizationsensitivity4式中：I.——发射电流：po——残余压力；压力px修正系数correctionfactorf.p=fe·Pind (5) (6)相对修正系数relativecorrectionfactorfa——给定气体“x”的修正系数；5GB/T42604—2023/ISO27894:2009p=fe/N₂·Pind在恒定压力下，从电离真空计开启到读数变化稳定残余电流等效压力residualcurrent-equivalentpressure4符号和缩略语说明1p压力残余压力真空计的示值压力原级标准或参考标准的压力待校准仪器(真空计)的示值压力r1AAAS灵敏度(系数)电离灵敏度6GB/T42604—2023/ISO5热阴极电离真空计的原理σ——电离截面面积；k——玻耳兹曼常数。出于不同目的可配有额外的电极。电极的数量及其结构和形状取决于热阴极电离真空计的具体6制造商给出的热阴极电离真空计规范制造商应提供6.1～6.20中给出的特性和规范，以便真空计用户能够估算压力量值。电离真空计的问题见附录C。6.1真空计的类型6.2显示和测量信号输出6.3测量范围测量范围通常取决于可接受的测量不确定度。因此，制造商应给出测量是真空计读数在测量不确定度限内的最大压力和最小压力之间的范围。如6.3中描述的，真空计总的相对不确定度(准确度)u应规定为读数和/或测量范围的全量程的百分比。应按照GB/T27418—2017的规定给出相对标准不确定度。相对不确定度也能用带有一个常数7GB/T42604—2023/ISO27894:2009应分别规定规管和电缆可承受的最高温度。如果集成式真空计的控制器能拆分，应对此加以说小及其可能的波动和漂移量。当采用控制单元根据压力改变调节发射给出压力切换点。压力上升和下降过程可对应不同的切换点，每个都应给出规管内所有电极的对地参考电位应明确给出。电离概率很大程度取决于电子能量，根据参考电6.11接口宜给出用SI单位表示的规管和控制器尺寸的轮廓图。可表示为宽度×深度×高度(w×d×8点下引入高纯气体完成试验。制造商可给出一些典型测7.2显示范围9如果可行，应给出灵敏度系数典型值，因为在一批产品中该系数可零散分布。在众多影响因素不稳定性(见参考文献[4])及其密度分布(见参考文献[5])。灵敏度系数GB/T42604—2023/ISO压升。为了避免这些影响，真空计宜保持洁净。在超高真空(UHV)和极高真空(XHV)压力(资料性)(资料性)B-A型真空计的典型电连接B-A型真空计的典型电连接见图B.1。图B.1B-A型真空计的典型电连接(资料性)C.1振动和冲击收集极一般是钨制发夹型结构，可能极易受振动和外部冲击以致损坏。对其他部件来说也是如C.2磁场要把规管放在真空腔室内以免真空计之间的离子相互干扰。如果几个真空计在真空腔室内相C.6灵敏度(灵敏度系数)C.7壳体GB/T42604—2023/ISO[1]ISO3529-3:1981Vacuumtechnology—Vocabulary—Part[2]ISO/TS27893Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesresultsofcalibrationsbydirect[3]ISOGuide99:1993Internationalvocabularyofbasican(VIM).[4]ABBOTTPJ,LOONEYJP.Influenceofthefilamentityofglass-envelopeB-Agauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1994,12,pp.2911-2916.[5]ARNOLDPC,BILLSDG.Causesofunstableandnon-reproduciblesensitivitiesinBayard-Alpertionizationgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1984,2,pp.159-162.[6]JOUSTENK.Temperaturecorrectionsforthec[7]ABBOTTPJ,LOONEYJP,MOHANP.Theeffectotivityofhotcathodeionizationgauges.(Vacuum)2005,77,pp.217-222.[8]POULTERKF,SUTTONCM.Long-termbehaviorofionization[9]SCHMIDTK,BERGNERU.StabilitätvonHochvakuum-Meβrohren[Stabilityofvacuummeasuringtubes].(VakuumForsch.Prax.)1996,3,pp.177-182.[10]FILIPPELLIAR,ABBOTTPJ.Long-termstperformance:ResultsobtainedfromrepeatedcalibandTechnologyprimaryvacuumstandard.(J.Vac.Sci.Technol.A)1995,13,pp.2582-2586.[11]wOODSD,TILFORDCR.Long-termstabilityoftwotypesofhotcatgauges.J.Vac.Sci.Technol.A1985,3,pp.542-545.[12]TILFORDCR.Sensitivityofhotcathodeionizationgauges.(J[13]ARNOLDPC,BORICHEVSKYSC.gauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1994,12,pp.568-573.[14]TILFORDCR,FILIPPELLIAR,ABBOTTAlpertionizationgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1995,13,pp.458-487.[15]SUMMERSRL.Empiricalobservationsonthesensitivityofhotcathodeionivacuumgauges.NASATechnicalNote,NASATND-5285,1969.[16]NAKAOF.Determinationoftheionizationgaugesensitivityusingtherelativeioncross-section.(Vacuum)1975,25,pp.431-435.[17]HOLANDAR.Investigationofthesensitivityofionization-typevacuumgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1973,10,pp.1133-1139.[18]PEACOCKRN,PEACOCKNT,HAUcoldcathodeionizationgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1991,9,pp.1977-1[19]BERMANA.Totalpressureme