- 现行
- 正在执行有效
- 2018-08-30 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 14644-12:2018 EN
- 标准名称：洁净室及相关受控环境 第12部分：通过纳米级粒子浓度监测空气洁净度的规范
- 英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
- 标准状态：现行
- 发布日期：2018-08-30
文档简介
ISO14644-12:2018ENCleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part12:Specificationsformonitoringaircleanlinessbynanoscaleparticleconcentration规定了如何通过纳米级颗粒浓度的数量来监测空气清洁程度，以保障洁净室及其相关受控环境的质量和安全。
洁净室是制造微电子、生物制药等高精密产品的必要环境，要求严格控制空气中的尘埃粒子、微生物、温湿度等参数以确保产品不受污染。纳米级颗粒是洁净室中最为重要的污染源之一，因此通过监测空气中的纳米级颗粒浓度来评估洁净室的清洁程度是十分必要的。
洁净室的环境控制系统会定期采集空气样本并进行检测，以确定空气中的颗粒物数量。通过使用纳米级颗粒浓度传感器，可以更准确地测量空气中的颗粒物数量，从而更有效地评估洁净室的清洁程度。
洁净室的等级根据清洁程度的不同分为不同的级别，例如ISO5级、ISO6级、ISO7级等。不同级别的洁净室对纳米级颗粒浓度的要求也不同，例如对于微电子制造来说，ISO7级洁净室要求空气中的颗粒物直径小于等于0.5微米的粒子浓度不超过每立方米5万个，而直径小于等于50纳米的颗粒物浓度不超过每立方米5百万个。
洁净室的工作人员需要注意自身的防护措施，穿戴适当的防护服、手套、口罩等个人防护设备，并保持工作环境的清洁和卫生。同时，还需要定期检
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