- 现行
- 正在执行有效
- 2012-03-06 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 11938:2012 EN
- 标准名称：微束分析 电子探针显微分析 利用波长色散光谱进行元素图谱分析的方法
- 英文名称：Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Methods for elemental-mapping analysis using wavelength-dispersive spectroscopy
- 标准状态：现行
- 发布日期：2012-03-06
文档简介
一、基本原理：
ISO11938标准基于电子探针显微分析（EPMA）技术，这是一种利用电子显微镜和能量选择性的X射线荧光光谱法来检测和测量样品中元素成分的技术。该标准主要关注波长散射光谱（WDS）方法，这是电子探针分析中用于元素映射的一种重要技术。
二、元素映射分析：
元素映射分析是ISO11938标准的核心内容。它详细描述了如何使用波长散射光谱技术来对样品进行高精度的元素分布测量。这种方法可以提供样品中各种元素的浓度分布，对于研究材料的微观结构和成分分布具有重要意义。
三、应用范围：
ISO11938标准适用于各种材料和样品，包括但不限于金属、合金、陶瓷、矿物和复合材料。它特别适用于研究材料的微观结构和成分分布，以及材料中的化学键合和相变等。
四、操作流程：
ISO11938标准详细描述了进行元素映射分析的操作流程，包括样品准备、电子束定位、光谱采集、数据分析和结果解释等步骤。它还提供了在操作过程中需要注意的常见问题和解决方法。
五、技术要求：
ISO11938标准对电子束的功率、分辨率、光谱的信噪比等性能指标提出了要求，以确保分析结果的准确性和可靠性。此外，它还对实验室的环境条件、设备维护和操作人员的技能水平等提出了要求。
六、误差来源和解决方法：
ISO11938标准分析了元素映射分析中可能出现的误差来源，包括电子束定位误差、光谱采集误差、背景干扰等。它提供了相应的解决方法，如优化仪器参数、提高样品制备质量、减少环境干扰等。
七、安全注意事项：
ISO11938标准强调了在进行电子束操作时必须遵守的安全注意事项，包括保护眼睛和皮肤免受辐射伤害、遵守实验室安全规程等。
ISO11938:2012EN标准提供了关于使用电子探针显微分析进行元素映射分析的详细指导，包括原理、方法、操作流程、技术要求、误差来源和解决方法等。这
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