• 现行
  • 正在执行有效
  • 2021-03-19 颁布
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【正版授权】 IEC TR 63258:2021 EN Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC TR 63258:2021 EN
  • 标准名称：纳米技术——用于评估纳米级薄膜厚度的椭圆仪应用指南
  • 英文名称：Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2021-03-19

文档简介

IECTR63258:2021ENNanotechnologies-Aguidelineforellipsometryapplicationtoevaluatethethicknessofnanoscalefilms是一个关于应用椭圆仪测量纳米级薄膜厚度的指南。这个标准详细介绍了如何使用椭圆仪来测量纳米级薄膜的厚度，包括其适用范围、测量原理、仪器选择、样品准备、测量步骤、数据处理和分析等。

以下是具体内容的详细解释：

1.适用范围：该标准适用于各种纳米级薄膜的厚度测量，包括但不限于金属、半导体、绝缘体等材料。

2.测量原理：椭圆仪通过测量光束在样品表面反射和透射时的偏移角度来计算薄膜的厚度。这个原理基于光的干涉和衍射效应。

3.仪器选择：根据不同的测量需求和样品特性，可以选择不同类型的椭圆仪，如接触式、非接触式等。同时，还需要考虑仪器的精度、稳定性、可重复性等因素。

4.样品准备：在进行厚度测量前，需要对样品进行适当的处理，如清洁、干燥、固定等。同时，还需要考虑样品的形状、大小、表面状态等因素对测量结果的影响。

5.测量步骤：包括开机预热、调整仪器参数、放置样品、进行测量、记录数据、分析结果等步骤。在每个步骤中，需要注意仪器的操作规范和安全事项。

6.数据处理：需要对测量数据进行处理和分析，包括计算平均值、标准差、厚度分布等指标，以及与其他测量方法的结果进行比较。

7.结果解释：需要根据测量的数据和指标，对纳米级薄膜的厚度进行解释和评估，包括厚度范围、均匀性、重复性等。

IECTR63258:2021ENNanotechnologies-Aguidelineforellipsometryapplicationtoevaluatethethicknessofnanoscalefilms是一个非常详细的指南，对于使用椭圆仪测量纳米级薄膜厚度的人员来说非常有用。它提供了测量原理、仪器选择、样品准备、测量步骤、数

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