HGT 6329-2024《高纯工业品四氯化钛》

ICS71.060.50HGHighpuritytitaniumtetrachlorideforindustrialuseIHG/TXXXX-XXXX本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国石油和化学工业联合会提出。本文件由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会（SAC/TC63/SC1）归口。本文件起草单位：贵阳精一科技有限公司、佛山市质量计量监督检测中心、贵州理工学院、浙江水知音环保科技有限公司、厦门市蓝水灵环保科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司。本文件主要起草人：张建刚、李芳芳、舒骁骥、汤李波、陈嘉宾、李建军、弓创周、向东、苏向东、侯廉杰、高山、赵永胜、丁灵、安晓英、马义虔、周加规、张凯、李海嘉。1HG/TXXXX-XXXX警告：根据GB12268—2012第6章的规定，本产品属第6类6.1项毒性物质，受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气，有较强的腐蚀性。使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。本文件规定了高纯工业品四氯化钛的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、标签及随行文件、包装、运输、贮存。本文件适用于高纯工业品四氯化钛。注：该产品主要用作半导体集成储存器的生产与制造过程中作为氮化钛、二氧化钛和钛金属化学气相薄膜沉积(CVD)的液相钛源材料，也用于太阳能光伏电池的制备。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190—2009危险货物包装标志GB/T191—2008包装储运图示标志GB/T6678化工产品采样总则GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T11446.1—2013电子级水GB12268—2012危险货物品名表GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T30903—2014无机化工产品杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4分子式和相对分子质量分子式：TiCl4相对分子质量：189.67（按2022年国际相对原子质量）5分类2HG/TXXXX-XXXX高纯工业品四氯化钛分为两种型号：——Ⅰ型（7N），纯度（基于阳离子）不小于99.99999%，主要用于半导体集成储存器制备；——Ⅱ型（6N），纯度（基于阳离子）不小于99.9999%，主要用于太阳能光伏电池制备。6要求6.1外观：无色或微黄色液体。6.2高纯工业品四氯化钛按本文件规定的试验方法检测应符合表1的规定。≥≤2≤5≤5≤2≤5≤2≤5≤2≤2≤2≤2≤2≤5≤5≤2≤2≤2≤2≤2≤2≤23HG/TXXXX-XXXX≤2≤5≤2≤7试验方法7.1一般规定本文件所用的试剂和水，在没有注明其它要求时，均指优级纯试剂和符合GB/T11446.1—2013表1试验中所用的杂质标准溶液应使用有证标准物质配制。电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）操作和颗粒测定应在不低于GB/T25915.1—2021表1中规定的ISO3级的实验室中进行，其溶液配置及样品处理宜在不低于GB/T25915.1—2021表1中规定的ISO2级的实验室中进行。7.2外观检验在自然光下，高纯工业品四氯化钛置于比色管中，于白色衬底下垂直观察检验外观。7.3四氯化钛纯度的测定四氯化钛纯度以四氯化钛（TiCl4）的质量分数w1计，按公式（1）计算：w1=100%-Σ×100%................................................式中：wi——由7.4测得待测杂质元素含量。7.4锂、钠、钾、镁、钙、铝、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、锆、钼、铅、银、锡、钨、钍、铀、硅、硼含量的测定7.4.1原理同GB/T30903—2014中第4章。7.4.2试剂或材料7.4.2.1硝酸溶液：1+33，硝酸应符合GB/T30903—2014中5.1的规定。7.4.2.2混合标准溶液Ⅰ：1mL溶液含铝、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、锆、钼、铅、银、锡、钨、钍、铀、硅、硼各0.01μg。该溶液现用现配。4HG/TXXXX-XXXX7.4.2.3混合标准溶液Ⅱ：1mL溶液含锂、钠、钾、镁、钙各0.01μg。该溶液现用现配。7.4.3仪器设备7.4.3.1电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）。7.4.3.2容量瓶：100mL，材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）。7.4.3.3超纯水净化器：带0.2μm终端过滤器，在线制备电导率（25℃)不大于0.0055mS/m的超纯水。7.4.3.4离心机：转速能控制在6000r/min。7.4.4试验步骤7.4.4.1标准曲线绘制移取0.00mL、0.50mL、1.00mL、2.00mL、3.00mL、4.00mL混合标准溶液Ⅰ或者混合标准溶液Ⅱ（标准溶液加入量也可根据元素含量的不同，区别加入），置于6个100mL容量瓶中，加2mL硝酸溶液，用水稀释至刻度，摇匀。以下按照GB/T30903—2014中“7.4.3.1”规定的方法测定。7.4.4.2试验移取10mL硝酸溶液置于干燥洁净的石英蒸发皿中，称重（精确至0.0002g记为m1；移取2.00mL试样，在轻轻晃动蒸发皿的同时注入到硝酸溶液中，称重（精确至0.0002g记为m2。将石英蒸发皿放置在电热板上缓慢加热，且不时轻轻晃动至蒸干，冷却至室温，加10mL硝酸溶液溶解后，将溶液全部转移至50mL石英离心管中，用5mL的硝酸溶液洗涤石英蒸发皿3次，用硝酸溶液稀释至刻度。将石英离心管放入离心机中，在6000r/min下离心15min，移取10.00mL离心管上清液，置于50mL石英容量瓶中，再用硝酸溶液稀释至刻度，摇匀。以下按照GB/T30903—2014中“7.4.3.1”规定的方法测定。7.4.5试验数据处理待测杂质元素含量以待测杂质元素的质量分数wi计，数值以微克每千克(μg/kg）表示，按公式（2）计算：=·············································(2)式中：i——从标准曲线上查出试验溶液中待测元素的质量浓度的数值，单位为纳克每毫升（ng/mLm1——10mL硝酸溶液和石英蒸发皿质量的数值，单位为克（g）；m2——10mL硝酸溶液、石英蒸发皿和溶入试料质量的数值，单位为克（g）。取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于算术平均值的30%。5HG/TXXXX-XXXX7.5颗粒的测定7.5.1原理试样中的颗粒（又称悬浮微粒通过液体粒子计数仪的光敏感区时，会产生光的散射现象，其散射光的强度与颗粒粒径成一定比例关系，经分析、计算、比较后显示不同粒径颗粒数量。7.5.2试剂或材料丙酮：色谱纯。7.5.3仪器设备7.5.3.1液体粒子计数仪：精度0.2μm，带除气泡装置。7.5.3.2广口瓶：容积为100mL，材质为四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）。7.5.3.3超纯水净化器：带0.2μm终端过滤器，在线制备电导率（25℃)不大于0.0055mS/m的超纯水。7.5.4试验步骤准确量取一定量试样，静置30min以上，按照液体粒子计数仪的操作手册进行操作。测试时先用丙酮清洗管路，再用试样清洗，然后抽取一定量的试样进入仪器，测出颗粒粒径不小于0.3μm相对应的颗数。检测样品时，通常将仪器测量次数设置为3次，取三次算术平均值为测定结果。8检验规则8.1本文件规定的所有指标项目为出厂检验项目，应逐批检验。8.2生产企业用相同材料，基本相同的生产条件，连续生产或同一班组生产的同一型号的高纯工业品四氯化钛为一批。每批产品不超过1000kg。8.3按GB/T6678的规定确定采样单元数。采样时，将采样器插入至容器深度的2/3处采样，将采得的样品混匀，总量不少于100mL，分装于两个清洁干燥的塑料瓶中，密封。并粘贴标签，注明生产厂名、产品名称、型号、批号、采样日期和采样者姓名。一份供检验用，另一份保存备查，保存时间由生产企业根据需要确定。8.4采用GB/T8170规定修约值比较法判断检验结果是否符合本文件。8.5检验结果如有指标不符合本文件要求，应重新自两倍量的包装中采样进行复验，复验结果即使只有一项指标不符合本文件的要求时，则整批产品为不合格。9标志、标签和随行文件9.1高纯工业品四氯化钛包装容器上应有牢固清晰的标签、标志，内容包括：生产厂名、厂址、产品名称、型号、净含量、批号或生产日期、本文件编号及GB190—2009规定的“毒性物质”标签和GB/T191—2008中规定的“怕雨”“怕晒”标志。6HG/TXXXX-XXXX9.2每批出厂的高纯工业品四氯化钛