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工艺技术部C2A班日期：2011年04月26日D

PECVD镀膜后出现小亮点报告Addyourtextinhere问题描述1Addyourtextinhere原因分析2Addyourtextinhere原因分析Addyourtextinhere解决方案3Addyourtextinhere解决方法预防措施4问题描述11.3#PECVD镀膜后，外表出项小亮点。小亮点用显微镜观侧后，亮点与硅片外表无高度差，亮点位置有绒面。2.外表严重的小亮点，造成B级电池片.Addyourtextinhere原因分析2镀膜后出现小亮点1.PE原因：进料腔或预热腔有氮化硅粉尘2.PE之前工序原因3.片源原因Addyourtextinhere原因分析Addyourtextinhere解决方案3一.PE排查：1.取5片洗磷后的硅片，在2#pe机台做，也同样出现小亮点。2.翻开3#PE机台进料腔，擦拭腔体内的氮化硅粉尘，3.取5片洗磷后硅片，用3#PE机台产出，仍有小亮点，亮点有所数量减小排查结论：1〕两台pe均有问题2〕PE之前工序有问题Addyourtextinhere原因分析Addyourtextinhere解决方案3二.PSG排查取洗磷前，扩散后的硅片1片，在3#PE机台镀膜.扩散面有小黑点，外表有可除去的粉尘，原因：扩散后未洗磷吸附性比较强.三.扩散排查取制绒后，扩散前的制绒的掉角片3片，在3#PE机台镀膜，镀膜后外表仍有小亮点，四.制绒排查取前检原始硅片〔崩边不良〕3片，直接在3#PE机台镀膜，镀膜后外表仍有小白点，Addyourtextinhere原因分析Addyourtextinhere解决方案3五、片源排查.取片源晶拓的硅片3片，与片源P451-6-1104191的正常硅片2片，经过制绒---PSG---3#PE后，镀膜后两种片源，均有小亮点。排除片源原因Addyourtexti

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