可钢化双银Low-E的膜系结构

Low-E玻璃对长波红外辐射具有良好的阻挡作用，而紫外及可见光基本通过，因而具备优异的隔热、保温性能。为了获得更高的透过率及更低的遮阳系数和U值，更高性能的双银Low-E玻璃，尤其是可钢化双银Low-E玻璃更是不断地被关注，本文重点介绍可钢化双银Low-E玻璃的膜系结构，如图1所示。图1可钢化双银Low-E玻璃结构示意图（1）底层保护层材料：目前研究主要是TiO2及Si3N4，但究竟哪种材料能作为可钢化双银Low-E玻璃的底层保护层却众说纷纭，为此我公司做了大量的对比试验，比较了这2种材料的机械性能和热稳定性能，如表1所示。此外，为了研究可异地加工的双银Low-E玻璃的氧化性能，同样用上述3种材料做了水浸实验，见图2、图3、图4。表1底层材料的耐磨性比较图2用Si3N4做保护层在水中不同时段表面形貌图图3用TiOx做保护层在水中不同时段表面形貌图图4用Si3N4+TiOx做保护层在水中不同时间段的表面形貌

从以上3组水浸实验来看，变化的只有最内层保护膜，当最内层保护膜单独用Si3N4或者单独用TiOx时，在水中浸泡4周时都受到不同程度的腐蚀；而浸泡半年后，膜层基本上已经被完全破坏。当使用Si3N4+TiOx作最内层保护膜，在水中浸泡4周，膜层几乎没有被氧化；在水中浸泡半年，膜层只有轻微的氧化。由于Si3N4+TiOx具有较好的机械性能、热稳定性能、抗氧化性能等，最终确定Si3N4+TiOx两种材料混合使用作为可钢化双银Low-E玻璃的底层保护层。（2）中间介质层：目前一些大型厂家尝试采用其它材料取代ZnSnOx，例如AZO等材料。AZO是掺杂铝（Al）的氧化锌（ZnO），不仅具备表面平滑、结构致密的特性，而且也具备高折射率以及良好的溅射效率，存在应用于可钢化双银Low-E玻璃的中间介质层的可能性及可操作性，可广泛应用于可钢化双银的中间介质层。中间层结构采用AZO材料后，可以改善结合率。由图5可见，当AZO的厚度超过3nm以后，由于Ag膜可以光滑而一致地生长起来，故沉积在它上面的膜层的面电阻能够始终保持在最低的水平上。而且，因为吸收率的降低，透过率还有所升高，这样既提高了可见光透过率，又提升了复合产品的隔热性能，最主要的是Ag层能很好地在AZO表面生长。图5AZO薄膜的表面形貌（3）最外层保护层：对于可钢化双银Low-E玻璃而言，其最外层保护层必须要具有优异的机械性能、抗氧化性能和热稳定性能，而同时满足上述特征的材料只有Si3N4。①在机械强度方面，如果是高真空的磁控溅射工艺，Si3N4的强度会随时间的推移而更明显地显现，Si3N4的机械性能见表2。表2Si3N4的机械性能②在硬度方面，Si3N4的莫氏硬度已经达到了9以上，仅次于金刚石的硬度（10）。所以，用其作为可异地加工双银Low-E玻璃的最外层介质层可以充分地保护可异地加工双银Low-E玻璃不被外力划伤。③在摩擦性能方面，Si3N4是摩擦系数较小的材料，还具有自润滑的特点。在进行摩擦时，因为薄膜之间或产生压力的作用，这种压力的作用会分解产生1层很薄的润滑膜，降低了Si3N4之间的摩擦系数。④Si3N4的物理性能，由于氮和硅均是电负性较强的元素，Si3N4是强的共价化合物，所以，Si3N4薄膜是一种具备高硬度、高熔点、性能极其稳定的非金属材料。在超过1900℃的高温下也不会发生分解。通过上述实验分析得出，目前，生产可钢化双银Low-E玻璃的一种可行的基础膜系结构为：Glass/Si3N4/TiOx/AZO/Ag/NiCr/ZnSn0x/ZnAl/Ag/NiCr/Si3N4该基础膜系的设计，不仅在光学性能上克服了可钢化双银Low-E膜层经受700℃高温后膜面颜色以及膜