基于膜片形变的非本征法布里-珀罗干涉光纤低压传感器的研究

基于膜片形变的非本征法布里—珀罗干涉光纤低压传感器的研究通过对油库储藏设施的液位压力、水库大坝的渗压、特殊环境的声波信号以及生物体内压力的高灵敏和精确监测,准确获取压力/压强信息,对这些领域的安全生产和经济效益的提高有重要意义。光纤传感技术因体积小、重量轻、本质安全、灵敏度高、抗电磁干扰等优点而成为上述领域压强监测的研究热点。本文将围绕DEFPI(Diaphragm-Deformation-BasedExtrinsicFabry-PerotInterferometric)光纤低压传感器的结构设计、制备技术和材料选取展开深入研究,提高传感器的性能。论文的主要工作如下:对DEFPI光纤传感器的基本原理、膜片的形变机理和测压原理作了详细分析,深入讨论了DEFPI光纤传感器输出信号质量的各影响因素以及F-P光纤传感器干涉信号的解调算法,分析了采用干涉-强度解调方法探测动态压力时工作点稳定的问题。为了提高传感器的性能研究了熔融石英材料与激光的相互作用,在此基础上提出了全激光焊接熔融石英材料的DEFPI光纤传感器。结合先进的微机电控制系统,设计并搭建了激光焊接的光路系统,研究了熔融石英材料的CO2激光热传导焊接和深熔焊接工艺,实现了30μm厚的超薄熔融石英膜片的热传导焊接,首次提出了激光深熔点焊的方法将光纤固定在准直毛细管内壁,同时激光焊接的过程中形成F-P腔的导气孔,导气孔对改善温度压力交叉敏感性等性能有重要作用。相对传感器的激光环形焊接,激光深熔点焊能够有效提高传感器的性能,降低制备工艺要求。利用设计、制备的DEFPI光纤低压传感器进行了实际应用的可行性评估。首先,利用传感器对12m量程的水位进行了测试,灵敏度为52.5nm/m,分辨率为6.8Pa(0.7mm的水位),迟滞误差为0.06%F.S.,温度交叉敏感性为0.013nm/℃。针对大温度变化环境的应用,采用了FBG(FiberBraggGrating)与F-P(Fabry-Perot)腔串联复用的方式进行温度补偿,利用316L不锈钢封装后在100℃范围内实现了有效补偿。其次,针对水库大坝渗压的监测需求,修改设计了熔融石英材料的传感器结构,并将其应用于O～1MPa的渗压监测。结果表明,传感器的分辨率为2.3Pa,迟滞特性为0.021%F.S.,压强的长期波动范围约为0.8kPa。第三,针对动态压力测量时传感器的工作点稳定问题,设计了基于ASE(AmplifiedSpontaneousEmission)光源结合可调谐F-P滤波器的方案解决动态压强测量时工作点的漂移问题,并将传感器应用于变压器油中40kHz的超声波信号测量,灵敏度为6.59mV/kPa。针对生物体内的压力测量需求,提出了具有生物相容性的壳聚糖作为膜片材料,采用戊二醛活性基团交联的方法对壳聚糖进行改性,分析并设计了交联壳聚糖膜的制备工艺以及与熔融石英准直毛细管端面的稳固结合方法,制备了致密性高、杨氏模量为900MPa、折射率为1.73、与毛细管端面粘附力强的壳聚糖压力敏感膜片,构成基于改性壳聚糖薄膜的DEFPI光纤低压传感器。利用传感器对模拟颅内压的环境进行监测,在0～24.4kPa的量程内,其灵敏度为25.79nm/kPa,分辨率为1.2Pa,迟滞误差为0.16%F.S.,考虑不同温度时水密