平面度计量器具检定系统表

JJG2019—19891平面度计量器具检定系统表*本检定系统表适用于光学行业、机械行业生产和使用中的平面平晶、长平晶以及用于检测平面度、直线度的仪器和量具。一计量基准器具1平面度国家基准1.1国家计量基准的用途本基准用于复现平直度量值和通过标准器具向使用中的工作计量器具传递,以保证国内平面度量值的统一,提高光学、机械产品的质量。本基准复现的量值作为平面度比对的基础。1.2组成国家计量基准的全套主要计量器具的名称:a.平面等倾干涉仪;b.ϕ150mm基准平晶组;c.210mm基准长平晶组;d.310mm基准长平晶组。1.3国家计量基准复现的量的范围a.平面平晶为ϕ150mm;b.长平晶为210mm和310mm。1.4平面度计量基准的不确定度对于ϕ150mm平面平晶和210mm长平晶δ=±0.01μm对于310mm长平晶δ=±0.02μm置信度因子K=31.5基准用多面互检法,并以直接比较法向标准器具传递。2平面度副基准2.1组成副基准的全套主要计量器具名称:a.平面等倾干涉仪;b.ϕ150mm基准平晶组;注:自2003年之后,原“计量检定系统”统称为“计量检定系统表”。2c.210mm基准长平晶组;d.310mm基准长平晶组。2.2副基准的测量范围:a.平面平晶为φ150mm;b.长平晶为210mm和310mm。2.3副基准的不确定度对于φ150mm平面平晶及210mm长平晶δ=±0.01μm对于310mm长平晶δ=±0.02μm置信度因子K=32.4主基准与副基准之间需4年比对1次。二计量标准器具3一等标准平晶组3.1测量范围:φ150mm。3.2测量不确定度:δ=±0.01μm,置信度因子K=3。4二等标准平晶组4.1测量范围:φ150mm。4.2测量不确定度:δ=±0.02μm,置信度因子K=3。5带标准平晶平面等厚干涉仪5.1测量范围:φ100~φ200mm。5.2测量允许误差a.一级等厚干涉仪:允许误差Δ=0.015~0.04μm;b.二级等厚干涉仪:允许误差Δ=0.03~0.08μm。6标准长平晶组6.1测量范围:210mm;310mm。6.2测量不确定度:δ=±0.01μm,δ=±0.02μm;置信度因子K=3。7长平晶7.1测量范围:210mm;310mm。7.2测量不确定度:δ=±0.015μm,δ=±0.04μm;置信度因子K=3。80级标准平尺。8.1测量范围:175~600mm。38.2允许误差:Δ=0.13~0.5μm。91级标准平尺9.1测量范围:175~600mm。9.2允许误差:Δ=0.25~1.0μm。10平尺、平板类工作用计量器具,根据检定规程可应用相应精度的各类型自准直仪或水平仪进行检定。检定这类自准直仪和水平仪采用小角度检查仪作标准。因此,这一类长度通用的标准量仪是由长度基准通过量块进行量值传递的。11鉴于标准平面平晶和长平晶等标准计量器具自身的特点,它们可以通过计量基准器具直接检定,亦可采用多面互检的方法进行检定,但应定期的做溯源比对,以考验量值传递的可靠性,一般溯源比对需两年1次。三工作计量器具12平面平晶12.1测量范围:ϕ30~ϕ300mm。12.2允许误差:a.1级0.03~0.08μm;b.2级0.1~0.14μm。13平行平晶13.1测量范围(高度)10~90mm。13.2允许误差:a.工作面的平面度不应大于0.1μm;b.两工作面的平行度0.6~1.0μm。14刀口形直尺14.1测量范围:75~500mm。14.2允许误差:a.0级0.5~2.0μm;b.1级1.0~4.0μm。15钢平尺和岩石平尺15.1测量范围:400~2500mm。415.2允许误差:a.00级1.6~6.6μm;b.0级2.6~11.0μm;c.1级5.0~22.0μm;d.2级20.0~44.0μm。16铸铁平板和岩石平板16.1测量范围:160×100~4000×2500mm。16.2允许误差:a.00级2.5~8.0μm;b.0级5.0~16.0μm;c.1级10.0~46.0μm;d.2级22.0~92.0μm;e.3级62.0~228.0μm。四附加说明本系统检定方法的不确定度:平面平晶与长平晶均按“四面法”或“五面法”互检计算出其不确定度。例如:按四面互检时,四块平晶依次组合6次,即x+y=a1x+y=a2x+t=a3y+z=a4y+t=a5t+z=a6每块平晶平面度偏差按式(1)计算:xyzït并由式(2)计算检定结果的残差:ΔJKi=Ji+Ki-aJKi式中:ΔJKi—平晶J和K互检时,在i点的残差;J和K为x,y,z,t四块平晶中的某两块。两块平晶平面度之和的测量不确定度δ1由式(3)计算:δ