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GB/T40344.4—××××/ISO21360-41真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵ISO21360-1:2012真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求(Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part临界前级压力criticalbackipc注2：带有清洁气流的测量会导致不同的结果[在进气口抽除轻质气体时，使用重质涡轮分子泵能连续抽气而不发生损伤或毁坏Qmax值取决于诸如被抽气体、所使用的前级泵、转速和冷却条件GB/T40344.4—××××/ISO21360-42位为Pa·L/s或mbar·L/s时，则应注明测试罩温度，Qmax所用单位为sccm时除外。qVqVdtqVdt涡轮分子泵基础压力basepressureturbomoleculapb1有效压缩比effectivecompressiKeffK0涡轮分子泵负载气体流量为零时的最大压缩比，其中pb3是前级泵的基础压力，pb1是涡轮分子泵0K=04符号和缩略语p3pb3p1pb1GB/T40344.4—××××/ISO21360-43Keff—K0—pb1pb3pcQQmaxqVBqVXTK量（Q=0）时的压缩比（K0)，以及前级泵的体积流率(qVB)：qVqV＜0.05K0或qVB＞20（6）在整个压力范围区间，式中的qVX是预估的涡检测前级泵在vmax工作点处是否仍具有经计算得到的抽速。GB/T40344.4—××××/ISO21360-443.1中给出了临界前级压力定义，ISO21360-1:2012,5.5规定了临界前级压力的定义不基于通过涡轮分子泵的有效气体流量，即进气阀5（见ISO21360-1:对于指定气体负载的其他情况，其前级压力将限制涡轮分子泵的对于给定气体，为了获得零流量压缩比（k0其在涡轮分子泵出口管路处的分压力至少为p3的GB/T40344.4—××××/ISO21360-4警示——应对测试场地内的人员安全进行规定。涡轮分子泵入口法兰应使用标准法兰封闭并密封。振动测量头应安装在涡轮分子泵上一个与电机）；）；）；）；GB/T40344.4—××××/ISO21360-4GB/T40344.4—××××/ISO21360-47qV大值Keff=K0，则按定义，体积流率将为0。有效压缩比Keff=p3/pKeff=qVqVBqVqVqV=「K-(q/q)] K0.qV0=K0+(qV0/qVB)-1 qV0

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