浙江中宁硅业有限公司10kt-a高纯一氧化二氮精馏提纯项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：10kt/a高纯一氧化二氮精馏提纯项目建设单位（盖章）：浙江中宁硅业股份有限公司编制日期：2023年11月中华人民共和国生态环境部制I 附件11500t/a硅烷灌装项目环评审查意见及环境附件12300吨/年四氟化硅气体充装及300吨/附件132100t/a特气充装、300t/a四氟化硅精馏、20建设项目名称浙江中宁硅业股份有限公司10kt/a高纯一氧化二氮精馏提纯项目项目代码2011-330851-04-02-111159建设单位联系人联系方式建设地点浙江省衢州市新技术产业园区华荫北路27号浙江中宁硅业股份有限公司内部地理坐标（118度50分40.140秒，28度53分35.470秒）国民经济行业类别C2619其他基础化学原料制造建设项目行业类别“二十三、化学原料和化学制品制造业26”中“44基础化学原料制造261分装的（不产生废水或挥发性有机物的除外）”建设性质□新建（迁建）□技术改造建设项目申报情形■首次申报项目□不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目备案部门衢州市智造新城衢州智造新城管理委员会项目备案文号2011-330851-04-02-111159总投资（万6000环保投资（万元）48.5环保投资占0.81%施工工期3个月是否开工建设9004.5专项评价设置情况别是否需要设置专项否新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处）；否有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量本项目危险物质一氧化二氮存储量超过临界是取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道否否规划情况规划名称：《衢州绿色产业集聚区高新片区总体规划》；一期规划审批机关：浙江省人民政府；二期规划审批机关：衢州市人民政府；审批文件名称及文号：《衢州市人民政府关于高新技术产业园区二期控制性详细规划的批复》（衢政发[2011]53号）。规划环境影响评价情况规划名称：《衢州绿色产业集聚区高新片区总体规划环境影响报告书》；审批机关：原浙江省环境保护厅；审批文件及文号：《关于衢州绿色产业集聚区高新片区总体规划环境影响报告书的环保意见》（浙环函2016[137]）。规划及规划环境影响评价符合性分析1、《衢州绿色产业集聚区高新片区总体规划》符合性分析（1）地理位置高新片区位于衢州市区南面，距衢州火车站1.2公里，衢州机场6公里，距衢州市中心4公里，距杭金衢高速公路衢州互通口10公里。（2）规划范围本次规划范围北至沙金大道（物流大道），南至规划315省道，西至46省道，东至厂前路，总用地规模为25.29平方公里。（3）规划期限总体规划期限为2015年至2025年，规划基准年为2014年。近期建设规划期限为2015年至2020年。（4）功能定位高新片区功能定位确定为“以氟硅新材料为特色、以现代产业集群为导向的高新产业一体化工业园区”，同时将高新片区打造成中国氟都、建设工业新城的重要组成部分，衢化片区的产业拓展区与新材料产业基地，有本地特色的现代化生态园区、以氟硅为特色的新材料基地。（5）规划目标高新片区的总体目标为打造效益型、低碳型、活力型、人性化的工业园区。效益型工业园区—通过规划引导与有序开发，力争实现土地利用的高效率、基础设施配套的高效率、污染治理的高效率和企业生产的高效率，并孕育培养出一批具有相当活力和市场竞争力的高新技术企业，使本区建设成为一个低成本、高附加值的氟硅新材料产业基地。（6）产业布局规划整个片区规划形成9个产业组团，分别为物流产业组团、专用化学品产业组团、生物医药产业组团、氟硅新材料产业组团、金属制品产业组团、韩国产业组团、电子化学材料产业组团、循环经济静脉产业组团、钴材料锂电池产业组团。符合性分析：本项目为10kt/a高纯一氧化二氮精馏提纯项目，项目所在地位于氟硅新材料产业组团，本项目进行高纯一氧化二氮精馏提纯，产品可作为电子级电子气体，项目的实施符合高新片区“以氟硅新材料为特色、以现代产业集群为导向的高新产业一体化工业园区”的功能定位。本项目排放的三废经处理后均能达标排放，对环境的影响较小。项目已于2020年11月12日在衢州智造新城管委会备案（项目代码为2011-330851-04-02-111159），因此本项目的建设符合衢州绿色产业集聚区高新片区总体规划的要求。2、《衢州绿色产业集聚区高新片区总体规划环境影响报告书》符合性分析《衢州绿色产业集聚区高新片总体规划环境影响报告书》由浙江省环科环境咨询有限公司编制，并于2016年4月5日取得批复（浙环函[2016]137号）。为推进高新片区“区域环评+环境标准”改革，对现有规划环评按清单式管理要求进行补充完善，作为支撑规划科学决策实施的重要依据和项目环境准入的强制约束。衢州绿色产业集聚区管委会委托浙江环科环境咨询有限公司编写了规划环评补充材料（202001版制定了生态空间清单、现有问题整改措施清单、污染物排放总量管控限值清单、规划优化调整建议清单、环境准入条件清单、环境标准清单等6张规划环评结论清单。根据表1-2分析，该项目符合规划环评补充材料制定的生态空间清单、现有问题整改措施清单、污染物排放总量管控限值清单、规划优化调整建议清单、环境准入条件清单、环境标准清单等6张规划环评结论清单。因此，本项目符合规划环评的要表1-2高新片区规划环评符合性分析条件。严格按照区域环境承载能力，控制区域排及当地主导（特色）产业的其他三类工业建设项空间布局范围，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带，确保人居河湖湿地生境，禁止未经法定许可占用水域；除防洪、航运为主要功能的河湖堤岸外，禁止非生态型河湖堤岸改造；建设项目不得影响河道自然负面清单：工业区块内允许各类企业项目建设，但需严控三类企业数量和排污总量。凡属国家、省淘汰落后产能目录的项目，相关产业园区和工业功能区规定的禁入和限制类的工业项目，一律达到同行业国内先进水防渗，加强土壤和地下水单污分流不彻底，存在污水随清下水一道排放的现有一定影响。从几次监测数据来看，区域大气环境中氯化氢、氨特征污染因子累积效应明显，氯化氢局部区域已无环境容量，不过近年来呈逐步改善的趋势；从近几年的信访投诉情况来看，周单中未有涉及中宁硅业的内容。本次环评对企业现有项目存在的主要环境问题提出了相应的整改措施，企业应对照问题清单对存在的问题进行整改。在此基础上，本项目符合现有问题整改措施清单要单3935.16t/a；挥发性有机物近期3327.87t/a、远期2、水污染物：化学需氧量近期721.38t/a、远期单本项目位于浙江省衢州市高新技术产业园区华荫北①环境准入指导意见：《关于印发〈浙江省生活《浙江省生活垃圾焚烧产业环境准入指导意见（试行）》、《浙江省燃煤发电产业环境准入指导意见（试行）》、《浙江省化学原料药产业环境准入指导意见（修订）》、《浙江省热电联产指导意见。其他符合性分析1、审批原则符合性分析对照《浙江省建设项目环境保护管理办法》（浙江省人民政府令第388号），本项目审批原则符合性分析如下。（1）建设项目环评审批原则符合性①建设项目应当符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求“三线一单”符合性分析：“三线一单”生态保护红线本项目位于浙江省衢州市高新技术产业园区华荫北路27号浙江中宁硅业股份有限公司现有厂区内，根据《衢州市区生态保护红线图》，项目不在生态保护红线范围内；根据《衢州市“三线一单”生态环境分区管控方案》（衢环发[2020]139号），本项目位于浙环境质量底线），境空气质量达标区。根据补充监测数据，特征因子汞及其化合物均符合相应标准限值。项目附近地表水各监测断面的各项指标均求。项目污染物排放总量仍在原核定总量指标内，项目建成后周边环境质量能够维持当前等级。因此，本项目建设不会突破区域资源利用上线本项目位于衢州市高新技术产业园区，项目生产设备主要使用电能够满足项目正常运行。项目实现固体废物的资源化和减量化，环境准入清单本项目为高纯一氧化二氮精馏提纯项目，属于二类工业项目，根“三线一单”生态环境分区管控方案符合性分析：对照《衢州市“三线一单”生态环境分区管控方案》（衢环发[2020]139号），项目所在区域位于浙江省衢州市柯城区主城区产业集聚重点管控区（ZH33080220032）。本项目与所在管控分区生态准入清单符合性分析如下：浙江省衢州市柯城区主城区产业集聚区空间布局项目为高纯一氧化二氮精馏提纯项目，属于物理分污染物排氮排放量未突破许可排放能达到同行业国内先进水本报告要求企业加强土壤环境风险业集聚区企业环境风险防范设施点环境风险管控企业应急预案制企业已制定突发环境事件目实施后企业应及时修订资源开发本项目建设过程中选择节施，提高资源能源利用效综上，本项目符合衢州市“三线一单”的管理要求。同时，本项目选址于衢州市新技术产业园区华荫北路27号浙江中宁硅业股份有限公司现有厂区内，在智造新城城镇开发边界范围内。本项目用地性质为工业用地，不属于衢州市智造新城范围内永久基本农田范围。本项目位于浙江省衢州市柯城区主城区产业集聚重点管控区（ZH33080220032因此，本项目不在生态保护红线内。综上所述，本项目符合“三线三区”的相关要求。②排放污染物应当符合国家、省规定的污染物排放标准和重点污染物排放总量控制要求根据工程分析及环境影响预测分析，项目产生的废气、废水、噪声经处理后均能达标排放，各种固体废物得到妥善处置后，对环境的影响较小，环境功能可维持现状，项目排放的污染物总量指标可在区域内进行替代削减。（2）建设项目环评审批要求符合性①建设项目符合国家和省产业政策等的要求对照国家发改委《产业结构调整指导目录（2021年本）》，本项目不属于目录中限值类和淘汰类项目；对照《长江经济带发展负面清单指南（试行）》浙江省实施细则等，本项目不属于禁止建设类项目，因此本项目不在国家、省、市产业政策淘汰和限制之列，同时项目已在衢州市智造新城衢州智造新城管理委员会备案，项目的实施符合国家和地方的产业政策。②《〈长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）〉浙江省实施细则》符合性分析浙江中宁硅业股份有限公司位于衢州高新技术产业园，项目所在地为依法合规设立并经规划环评的化工园区，本项目不新增土地，利用厂区内现有土地实施。根据《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）》（长江办[2022]7号）、《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）浙江省实施细则》（浙长江办[2022]6号）文件要求，符合性分析见表1-5。根据分析，本项目符合该文件要求。表1-5浙长江办[2022]6号（节选）符合性分析条条条条立并经规划环评《环境保护综合不属于高污染项条条条条建设项目符合主体功能区规划、土地利用总体规划的要求本项目位于浙江省衢州市高新技术产业园区华荫北路27号浙江中宁硅业股份有限公司现有厂区内，项目用地性质为工业用地，符合衢州市土地利用规划要求。综上所述，本项目建设符合相关产业政策要求。2、《关于实施化工园区改造提升推动园区规范发展的通知》相符性分析对照浙经信材料〔2021〕77号《浙江省经济和信息化厅浙江省生态环境厅浙江省应急管理厅关于实施化工园区改造提升推动园区规范发展的通知》，该项目符合性分析详见表1-6。由表可知，本项目符合该文件的要求。表1-6浙经信材料〔2021〕77号符合性分析性1各地要严格按照化工产业发展规划要求，制定化工项目入园标准，原则上限制园区内无上下游产业关联度、两头（原料、产品销售）在外的基础化工原料建设项目；要限制主要通过公路运输且运输量大的以爆炸性化学品、剧（高）毒化学品或液化烃类易燃爆化学品为主要原料的化工建建设项目，同时抓住当前国土空间规划和“十四五”化工产业发展规划制定机遇期，因地制宜制定园区外危险化外危险化学品生产企业迁建入园。有化学合成反应的新建化工项目需进入化工园区；园区外化工企业技术改造项目，不得增加安全风险和主要污染落实“三线一单”生态环境分区管控要求，依法依规开展园区规划环评，严格把好入园项目环境准入关，持续提升园区污染防治和环境管理水平。建立健全化工企业污染排放许可机制，落实自行监测及信息公开主体责任，实现化工企业持证排污、按证排污全覆盖。开展化工企业环境风险评估，绘制环境风险地图，加强化工园区环境应急预案编制和环境风险防控体系建设，建立环境监测监控系统并与生态环境部门联网实现数据互通，鼓励对化工园区、化工企业雨水排放口安装水流、水质在线监控；引导化工企检维修、设备清洗等非正常工况的环境管理制度；建设园区空气质量监测子监测，探索建立园区臭气异味溯源监测体系。鼓励建设满足化工废水处置要求的集中式污水处理设施和园区配套危废集中利用处置设施并正常运行；深化园区“污水零直排区”建设和“回头看”检查，提升“污水零直排区”内水污染物多级环境防控体系，结合园区企业特征污染物、水质指纹库，实施污染溯源管理。加强地下水污染排查、管控和治理，建立并落实地下水污染监测制度，坚决遏制污染加重或扩散趋势。2、本项目为改扩建项目，新增重点污染物排放总量的调剂平衡来3、《建设项目环境保护管理条例》(国务院令第682号)“四性五不批”相符性分析对照《建设项目环境保护管理条例》（国务院令第682号）中的第九条及第十一条有关内容，本项目与“四性五不批”相符性分析如下。本项目所在地的环境质量现状均满足标准要求；项目污染物排放符合国家、省规定的排放标准；项目的环境影响符合所在地环境功能区划的质量环境影响分析预测评估的根据本项目的污染物排放特点，本环评对废气、废水及固废进行了影响分析，对噪声进行了预测本项目生产废水纳管、废气均经过相应的处理措施处理后达标排放、厂区采取合理的消声降噪措施、各项固废均合理处置，资源化利用。环境保环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正，评价过程均依照环评相关技术导则、技术方法等进行，建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法定本项目选址于浙江省衢州市高新技术产业园区华所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质所在区域大气、地表水的现状资料均满足环境质量标准，项目拟建地昼夜间噪声监测值均达标。建设项目拟采取的措施可满足区域环境质量改善建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施项目运营过程中各类污染物均可得到有效控制并改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效本项目属于改建项目，本项目针对项目原有环境建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、遗漏，或者环境影响评价结论不本环评报告涉及的项目基础资料数据均采用项目方可研设计内容，环境空气和地表水监测数据均来自生态环境主管部门公开发布的质量数据，噪声由有资质监测单位监测。数据真实有效，不存在重大缺陷和遗漏。本项目数据真实可靠，内容建设内容2.1建设内容2.1.1项目由来浙江中宁硅业股份有限公司（以下简称“中宁硅业”）位于浙江省衢州市高新园区华荫北路27号，成立于2007年12月21日，是一家专业生产高纯硅烷和硅粉的企业。2018年3月27日，浙江中宁硅业有限公司实行了重整，河南多氟多化工股份有限公司以51%控股浙江中宁硅业有限公司。2023年8月15日，浙江中宁硅业有限公司正式更名为浙江中宁硅业股份有限公司。中宁硅业现有一条国内最大的高纯硅烷生产线，公司目前拥有2057t/a甲硅烷、3700t/a四氢化铝钠（中间产品）、7030t/a四氟化硅（中间产品）的产能，拥有一座规模为500t/a的甲硅烷灌装站、一座规模为300t/a的四氟化硅灌装站。电子气体是IC制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。电子气体的纯度直接影响IC的性能、集成度、成品率，电子气体的价格影响IC的市场竞争力，所以电子气体是IC制造关键材料之一。作为电子工业体系的核心关键原材料之一，高纯电子气体一直受到欧美日等发达国家的技术封锁。由于其在国防军事、航空航天、新型太阳能电池、电子产品等方面有着极其广泛的应用。随着我国半导体集成电路产业的快速发展，对高纯气体品种的要求越来越多，高纯一氧化二氮(N2O)作为电子气体，主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键电子气体。高纯一氧化二氮(N2O)作为关键气体原材料，在半导体光电器件研制生产等领域市场缺口依旧比较大。因此公司拟投资6000万元，利用公司现有场地，新建精馏装置、深度脱水装置、储存装置、充装系统等，建设10kt/a高纯一氧化二氮精馏提纯项目。本项目已于2020年11月12日经衢州市智造新城衢州智造新城管理委员会备案通过（备案通知书见附件1）。根据《中华人民共和国环境影响评价法》及《建设项目环境管理条例》（国务院令第682号）中有关规定，该建设项目应进行环境影响评价。对照《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2021年版），本项目属于分类目录中：“二十三、化学原料和化学制品制造业26”中“44基础化学原料制造261中“单纯物理分离、物理提纯、混合、分装的（不产生废水或挥发性有机物的除外）”，需编制环境影响报告表。为此，浙江中宁硅业股份有限公司委托浙江七方环境科技有限公司承担该项目环境影响报告表的编制工作。接受委托后我公司在实地踏勘和调查分析的基础上，收集相关资料，按国家相关法律法规及规范要求，编制了本项目环境影响报告表，报请生态环境主管部门审批。2.1.2建设项目概况项目名称：10kt/a高纯一氧化二氮精馏提纯项目建设性质：改建建设单位：浙江中宁硅业股份有限公司项目投资：拟投资6000万元建设地点及周边概况：项目位于衢州市新技术产业园区华荫北路27号浙江中宁硅业股份有限公司现有厂区内，具体地理位置见附图1。根据现场踏勘，浙江中宁硅业股份有限公司整个厂区北面为园区空地，目前建设为元立停车场，南面为浙江西亚特电子材料有限公司；西面为园区空地；东面为园区正和硅材料、杉杉新材料和鹏孚隆新材料企业。距离厂区最近的敏感点位于西面约70m外的十八里村，西南面杨家突村距离厂界约240米，北面黄家村距离厂界约320米。周边环境概况见图2.1-1。N黄家村320mIHGE十八里村70mEFDA西亚西亚B鹏孚隆新特电材料子杨家突村ABCDEFGHI2.1.3主要建设内容本项目主要建设内容见表2.1-2。1新建一条利用尾气法原料一氧化二氮提纯高纯一氧化二氮尾气法原料一氧化新建一条利用硝铵法原料一氧化二氮提纯高纯一氧化二氮硝铵法原料一氧化新建原料及成品罐区，包括新建2只50m3原料一氧化二氮3成品一氧化二氮），压力罐，2程3本项目生产废水经厂区已建的无机废水处理站预处理后纳456公792.1.4项目主要产品及生产规模本项目产品方案见表2.1-3。1本项目产品执行《电子工业用气体氧化亚氮》（GB/T14600-2009），具体见表2.1-4。表2.1-4高纯一氧化二氮(N2O)质量标准烃C1~C5（以甲烷计）含量（体积分数）312.1.5主要原辅材料及能源消耗项目主要原辅材料及能源消耗具体见表2.1-5。表2.1-5项目主要原辅材料及能源消耗一序号1243Al2O350%，项目主要原料普通一氧化二氮分为尾气法一氧化二氮和硝铵法一氧化二氮，用量分别为5005t/a，均为外购（山东华鲁恒升化工股份有限公司）。两种原料的差别之处在于尾气法一氧化二氮中杂质二氧化碳的含量较硝铵法一氧化二氮的高，具体原料一氧化二氮成分>99.9>99.9原料一氧化二氮的理化性质见表2.1-7。牙科、外科、妇产科用麻醉剂，探漏，制冷剂，助燃剂，防腐剂，化工原料，原子吸收质中等度：可能导致或加剧燃烧；氧化剂，内装高压气体；遇热可能爆炸，可能造成昏睡或眩晕，可能对生育能力或胎儿造成伤害，长期或重复一氧化二氮在常温常压下为稍有甜味的无色无臭麻醉性气体，液化后也是无色。物理性点与其作用生成其亚硝酸盐。与可燃性气体形成爆炸性气体，把氢、氨、一氧化碳及其它某些易燃物和一氧化二氮的混合物加热时可发生爆炸。在300℃以上温度可氧化有机物。它是一种麻醉剂，可用于外科手术。可溶于水、乙醇、浓硫酸，易溶于醚和脂肪油物理化学危险：跟可燃物质接触可能会引起火灾。高压液化气体健康危害：吸入本品可能引起瞌睡和头昏眼花，可能伴随嗜睡、警惕性下降、反射作用通过割伤、擦伤或病变处进入血液，可能产生全身损伤的有害作用。眼睛直接接触本品根据GB30000-2013化学品分类和标签规范系列标准（参阅第十六部分），该产品分类如下：氧化性气体，类别1；高压气体，液化气体；特定目标器官毒性-单次接触：麻性不相容的物质：活泼金属、醇、醛、二硫化碳、碳、硫、磷、硼、还原剂、金属乙炔化分解产物：在正常的储存和使用条件下，不2.1.6主要生产设备本项目主要设备清单见表2.1-8。一1套1件1件12套4件1件4台1件4台13套4件4件4件1台14套45套4件8件8件8件6台47V=3m3台48套5件5件5件5件5件5件59套2套4套6二1套5件5件5件5件5件5件52套2套4套6三1件22件23件24件25件16件77只8台四1台12套13套14V=3m3台15台16台1备注：原料气储罐、高纯气储罐的储罐类型采用低温液体储罐，低温储罐是一种双层真空绝热储槽，储产能匹配性分析：根据生产设备清单分析，项目产能约束的主要设备为精馏塔，精馏塔连续性生产，具体产能匹配性分析见下表。能122.1.7项目总平面布置中宁硅业厂区呈不规则四边形，东北角为办公区，西南面为储存区，南面为公用工程及辅助生产区，中部为生产区。本项目布置在厂区北侧空地，依次布置原料成品罐区、笑气提纯装置、笑气灌装站。具体总平布置图见附图7。2.1.8公用工程>给排水工程给水：项目自来水由园区自来水管网直接接入。排水：厂区采用雨污分流制。雨水经厂区雨水口收集后排至园区雨水管道，厂区初期雨水经管道收集排入厂区初期雨水处理设施处理后纳管；本项目生产废水经收集后送至厂区新建的无机废水处理站处理，处理达标后纳管送至巨化环科污水处理厂处理。本项目水平衡见图2.1-2。本项目电源由园区变电所供给，在厂区的北侧设有10KV高压电缆。在总配电房，设10kV级干式电力变压器，采用YJV22型电力电缆埋地接入变压器，经变电所变电后分配至各用电单体。2.1.9劳动定员企业厂区现有劳动定员318人，本项目新增劳动定员20人，年工作时间300天，生产装置及辅助装置均按四班三运转连续生产，辅助工人及管理人员实行白班制。工艺流程和产排污环节2.2生产工艺流程槽车来的普通一氧化二氮经过卸车泵输送至罐区普通笑气储罐内；其中硝铵法一氧化二氮经深度脱水、精馏工序，提纯制得高纯一氧化二氮，尾气法一氧化二氮经洗涤、脱水、冷冻压缩、液化、深度脱水、精馏工序，提纯制得高纯一氧化二氮。一、尾气法原料提纯工艺流程说明：来自尾气法原料笑气储罐的一氧化二氮原料（压力：1.6~2.0MPaG，温度：-25~-15℃),进入笑气加热器和来自不冻液循环泵的不冻液换热后升温，再进入笑气汽化器完全汽化至常温，减压至0.5~0.6MPa进入笑气洗涤装置。气体从碱洗塔底部进入顶部排出，与塔顶流下来的质量浓度10~15%的氢氧化钠水溶液在填料层充分接触洗涤，气体中的二氧化碳杂质被碱液吸收，气体再从水洗塔底部进入顶部排出，与塔顶流下来的脱盐水在填料层充分接触洗涤，净化后的气体进入气体缓冲罐。每台洗涤塔各配一台洗涤液循环泵并调控洗涤液循环量，另外通过片碱和脱盐水按一定重量比例投加在配碱罐内混合均匀来配制碱液，洗涤塔釜内的液体定期排放和补充。进入气体缓冲罐的气体气液分离后气体再进入冷却干燥器和不冻液换热后冷却降温至约20℃,气体中冷凝水进入底部的储液罐缓存，液位到达一定高度后自动排放。较干燥的气体再进入压缩机组。冷却干燥器管程的不冻液回到不冻液槽，再通过不冻液循环泵输送至笑气加热器降温至约5℃循环回冷却干燥器。气体在压缩机组中被二级压缩至约1.8~2.1MPa，并分别在一、二级冷却器和循环冷却水换热降温至40℃进入干燥系统，压缩气体中的冷凝水定期排放。压缩机可变频调节并设有回流管路，可以调节抽气量并稳定压力。干燥系统分为两路并联，每路分别设3个串联的吸附器，设备内填充有脱水除杂的吸附材料，气体依次通过一路的三级吸附器，气体中的水分等杂质被吸附后进入低温液化机组。每路吸附器间隔一定周期需用高温氮气吹除杂质进行再生，此时气体需切换进入到另一路再生好的吸附器。正常吸附过程的吸附器操作压力1.8~2.1MPa、温度：常温。热再生过程的吸附干燥器排空物料后再通入热氮气，操作压力：0.4~0.6MPaG，最高工作温度：260℃。气体在低温液化机组中和氟利昂制冷剂换热降温至-25~-15℃,液化后进入中间罐缓存。中间罐的操作压力：1.6~2.0MPaG，温度：-25~-15℃。来自中间罐的氧化亚氮液体进入深度脱水装置。从吸附干燥器设备的底部进入顶部排出，设备内填充有脱水除杂的吸附材料，物料中的微量水分等杂质被吸附后再进入高纯精馏装置。正常吸附过程的吸附干燥器操作压力和温度和普通笑气储罐保持一致。热再生过程的吸附干燥器排空物料后再通入热氮气，操作压力：0.4~0.6MPaG，最高工作温度：260℃。进入高纯精馏装置的原料依次和塔顶气相和塔釜液相换热后降温，通过阀门调控进入精馏塔（塔操作压力：0~0.05MPaG，塔釜温度：-83~-88℃)轻质杂质随气相从塔顶排出。纯化合格后的塔釜液相被低温液体泵增压和原料换热后输送进入高纯笑气储罐（压力：1.6~2.0MPaG，温度：-25~-15℃)。笑气回收系统：卸车、充装管道余气，干燥吸附器再生前余气以及精馏塔顶的排气回收至笑气回收缓冲罐，笑气回收缓冲罐为常压或微正压，笑气回收缓冲罐内的气体经压缩机加压、液化储存于笑气回收罐，笑气回收罐内液体经低温泵返料至中间槽回用作为精馏原料进行精馏提纯或进行钢瓶充装。二、硝铵法原料提纯工艺流程说明：来自硝铵法原料笑气储罐的液体氧化亚氮原料（压力：1.6~2.0MPaG，温度：-25~-15℃)进入深度脱水装置。从吸附干燥器设备的底部进入顶部排出，设备内填充有脱水除杂的吸附材料，物料中的微量水分等杂质被吸附后再进入高纯精馏装置。正常吸附过程的吸附干燥器操作压力和温度和普通笑气储罐保持一致。热再生过程的吸附干燥器排空物料后再通入热氮气，操作压力：0.4~0.6MPaG，最高工作温度：260℃。进入高纯精馏装置的原料依次和塔顶气相和塔釜液相换热后降温，通过阀门调控进入精馏塔（塔操作压力：0~0.05MPaG，塔釜温度：-83~-88℃)轻质杂质随气相从塔顶排出。纯化合格后的塔釜液相被低温液体泵增压和原料换热后输送进入高纯笑气储罐（压力：1.6~2.0MPaG，温度：-25~-15℃)。笑气回收系统：卸车、充装管道余气，干燥吸附器再生前余气以及精馏塔顶的排气回收至笑气回收缓冲罐，笑气回收缓冲罐为常压或微正压，笑气回收缓冲罐内的气体经压缩机加压、液化储存于笑气回收罐，笑气回收罐内液体经低温泵返料至中间槽回用作为精馏原料进行精馏提纯或进行钢瓶充装。2.3主要污染源及污染因子2.3.1施工期（1）噪声污染物：主要来自施工机械设备产生的机械噪声及运输、地基处理等产生的作业噪声。（2）大气污染物：整个施工过程包括场地整理、打桩、挖土、材料运输、装卸、粉状材料堆场，汽车行驶均产生扬尘。（3）废水污染物：主要来自于施工渗水及施工人员生活污水。（4）固体废弃物：施工期产生大量废建筑材料、土石方、生活垃圾。2.3.2营运期本项目三废主要产生环节及污染因子具体见表2.3-1。表2.3-1主要污染环节及污染因子一以NOx计（主要为N2O）水/与项目有关的原有环境污染问题2.4与现有项目有关的原有环境污染问题浙江中宁硅业股份有限公司位于衢州高新技术产业园区华荫北路27号，是一家专业生产高纯硅烷和硅粉的企业，成立于2007年。2018年3月27日，浙江中宁硅业有限公司实行了重整，河南多氟多化工股份有限公司以51%控股浙江中宁硅业有限公司。2023年8月15日，浙江中宁硅业有限公司正式更名为浙江中宁硅业股份有限公司。2008年8月，企业投资新建一期1500t/a多晶硅项目。2012年，企业新建一座规模为500t/a的硅烷灌装站，将硅烷作为产品之一进行外售；2018年，企业为适应市场需要，在现有硅烷充装站上进行技改，同时新增四氟化硅充装站，该项目已完成建设。2019年中宁硅业实施2100t/a特气充装、300t/a四氟化硅精馏、200t/a高纯纳米硅粉生产及1000t/a气体储运技改项目，该项目已通过自主验收。2021年，公司实施了2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目。2022年，公司实施了300t/a四氟化硅装置技改项目，该项目已通过自主验收。2023年，公司年产100吨氟氮混合气技改项目已通过审批，并重新报批了2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目。浙江中宁硅业股份有限公司于2023年6月29日重新申报排污许可证（编号为91330800670271619H001V）。2.4.1环保手续履行情况企业总厂历年环保手续履行情况见表2.4-1。号一期1500t/a多晶硅项目环境号号/年充装四氟化硅气体300t及300t硅烷硅粉生产及1000t/a气体储运/////2.4.2现有项目污染达标性分析2.4.2.1产品方案和生产规模现有项目产品方案和生产规模见表2.4-2。能量10//2装3/4粉生产及1000t/a气体储运技00000056目////////2.4.2.2现有项目原辅材料消耗情况现有项目原辅材料消耗情况见表2.4-3。12钠345698%798%890/0/01目1/2//12030405601/2/3/4/1/2/3/4/2.4.2.3现有项目生产设备及辅助设备情况现有项目主要生产设备见表2.4-4。一112211212112322522241132232512126333113二132立式DN1800×2600131415161三1/12/13/14/15/16/17/28/19/1/2/5四100t/a流化床制备硅碳复合材料中112133/1.5Mpa143/1.5Mpa151617181五112131455161718192555111112222111111六1221314/15/16/273/h,扬程22m483/h,扬程45m29/2/2/12.4.2.4现有项目生产工艺（一）一期1500t/a多晶硅项目一期1500t/a多晶硅项目中主要包含四氢化钠铝（SAH）制备单元、四氟化硅（STF）制备单元、硅烷制备单元、硅烷提纯单元、多晶硅制备单元（该装置已停用）、溶剂回收和四氟化铝钠干燥单元。①四氢化钠铝（SAH）制备单元三乙基铝、铝粉、循环甲苯投入到甲苯槽中混合。金属钠经导热硅油加热后从称重槽中投入SAH反应釜中，与从甲苯槽输送的原料混合反应。反应完成后产物通入到SAH沉降槽内进行两次分离和一次溶解。第一次分离出约75%的甲苯和溶解于甲苯中的催化剂OMH-1。第二次分离用蒸馏过的甲苯再次清洗SAH以便溶解回收更多的OMH-1催化剂。第二次分离后，SAH颗粒被溶解在二甲醚（CH3OC2H4OCH3）-甲苯混合物中，当SAH溶解完成后，SAH/二甲醚混合溶液（含有未反应掉的铝粉，溶解态OMH-1和固态Na3AlH6）送到SAH储存槽中。SAH送入到SAH储槽后，SAH沉降槽尾气放空排放。②四氟化硅（STF）制备单元原环评中采用萤石粉与发烟硫酸制备HF，萤石粉（CaF2）通过螺旋铰刀输送至回转反应炉，与浓硫酸反应生成氟化氢（HF），氟化氢气体经洗涤、冷凝，储存在HF储槽，然后用泵送至STF反应釜。根据企业提供的资料，企业目前回转反应器已经拆除，现有HF全部购买，不再进行HF制备。STF以批次方式生产，采用两个STF反应釜轮番进行。向打浆槽内通入75%硫酸，后加入石英砂（SiO2）粉料进行混合，混合好的浆料输送至1#STF反应器内与来自氢氟酸储罐的HF反应，反应过程中补充一定量的75%硫酸。随反应进行，硫酸浓度降至63%时停止反应，将稀硫酸压制稀硫酸储槽内，反应产物四氟化硅（STF）经洗涤、压缩送至四氟化硅（STF）储槽，以供硅烷生产单元生产硅烷。63%硫酸储槽中的稀硫酸经泵输送到硫酸浓缩器中减压蒸发出部分水分浓度达到83%后，回到75%硫酸储槽循环使用。③硅烷制备单元SAH原料与STF原料采用逆流流向，即SAH从1#反应器流向2#反应器，STF从2#反应器流向1#反应器。硅烷反应系统:来自SAH储槽内的SAH溶液由泵输送至洗涤塔底部，溶剂回收单元输送泵送来二甲醚-甲苯溶剂进入溶剂储槽，经溶剂冷却器冷却后，从硅烷洗涤塔顶部进入洗涤塔。该溶剂与SAH溶液混合得到8%-10.5%SAH溶液，送到第一硅烷反应器。第二硅烷反应器STF和溶剂及生成的硅烷，分别经STF汽提塔和回流罐，再经深冷送入第一硅烷反应器，给第一硅烷反应器提供冷量，SAH和STF的反应产生硅烷气体和SAF固体。在第一硅烷反应器中，2~5%未反应的SAH/溶剂混合物从第一硅烷反应器底部经泵送入第二硅烷反应器，同时一部分经冷却器返回第一硅烷反应器，反应热通过冷却器带走。新鲜STF用专用管道送入第二硅烷反应器，STF与从第一硅烷反应器来的残留SAH反应生成硅烷气体。第二硅烷反应器没有反应掉的STF与硅烷气体，从第二硅烷反应器出来经汽提塔回流罐进入第一硅烷反应器。反应产物SAF/溶剂混合物由第二硅烷反应器用泵打入STF汽提塔。STF汽提:来自第二硅烷反应器混合液体SAF/溶剂从STF汽提塔顶部进入，塔釜采用蒸汽再沸器加热为STF汽提塔提供热源，通过塔底部泵强制循环。从STF汽提塔底部出来的混合物料，用泵分别送入溶剂回收与SAF干燥处理单元SAF浆料储罐。STF汽提塔顶STF、硅烷、二甲醚气体，经深冷器二甲醚气体被冷凝，STF、硅烷、二甲醚气液两相混合物进入回流罐。回流罐顶部离开的STF、硅烷气体经深冷器进入第一硅烷反应器。回流罐底部液体回流至汽提塔顶部。硅烷洗涤和压缩:第一硅烷反应器和第二硅烷反应器产生的硅烷，由底部进入硅烷洗涤塔。底部通过SAH溶液去除硅烷气中含有的少量STF等杂质；顶部设有溶剂喷洒，将溶剂回收单元回收的溶剂和补充系统损失的溶剂经混合深冷后直接喷洒冷却填料层，通过低温减少硅烷中溶剂的含量。自硅烷洗涤塔塔顶出来硅烷气经除雾器除去溶剂液滴，与硅烷净化单元过量硅烷汇合，进入硅烷加热器，然后进入硅烷压缩机后送硅烷净化单元提纯。④硅烷提纯单元粗硅烷含轻组分杂质在脱轻塔去除，大部分重组分已在硅烷制备单元硅烷洗涤塔去除。脱轻塔塔顶为内置冷凝器，为避免过多的管道与该冷凝器联接，轻组分如氢气，甲烷和少量流失硅烷从塔顶部离开，塔釜的硅烷和重组分液体进入脱重塔。硅烷和重组分溶液进入脱重塔。脱重塔塔釜脱去的重组分主要有乙烷、乙烯、二乙基硅烷，乙基硅烷和流失的硅烷。硅烷从脱重塔顶部出来，进入吸附塔。脱重塔塔顶出来的硅烷含有大约30~70ppm的乙烯，乙烯与硅烷相对挥发度为0.97，很难用常规精馏把它从硅烷分离出来。因此，采用三级4A分子筛分离乙烯，乙烯在分子筛中被吸收得到高纯度硅烷气体。由于分子筛同时还可以吸收乙烷等重组分物质，这些分子筛为脱重塔提供了双保险。从吸附塔出来的硅烷进入脱乙基硅烷塔。离开吸附塔的硅烷进入脱乙基硅烷塔。在吸附塔中乙烯被吸收，分子筛对乙烯和硅烷具有催化剂作用，反应生成乙基硅烷。为除去乙基硅烷，在吸附塔和高纯硅烷储罐间增加脱乙基硅烷塔去除乙基硅烷。塔釜是乙基硅烷和硅烷，出塔釜液体去硅烷制备单元硅烷压缩机入口再返回本单元。塔顶硅烷进入硅烷储存系统。从脱乙基硅烷塔顶部出来的硅烷经冷凝后分别进入两个硅烷中间罐，硅烷质量合格后送到两个产品罐。采用中间罐和产品罐的差压法来转运硅烷。产品罐硅烷经硅烷加热器使硅烷气化，气化后硅烷经过空气加热器加热到-10℃送硅烷充装单元和纳米硅粉制备单元。硅烷储罐设置安装安全阀。超压时硅烷直接送焚烧炉，低温液体硅烷将浇灭和冷却燃烧火焰。因此，硅烷在送入焚烧炉前必须升温，在放空去焚烧炉的管道上设置有蒸汽气加热器。从硅烷净化单元出来的尾气进入焚烧炉焚烧。⑤溶剂回收和四氟化铝钠干燥单元（1）溶剂蒸发和固态干燥工艺流程:从硅烷制备单元来含有甲苯、乙二醇二甲醚（二甲醚）及SAF的浆料，进入SAF浆料储罐，SAF浆料储藏罐配有搅拌器，控制液体里固态物质不沉淀，温度接近外部环境温度。SAF浆料由泵送入Luwa薄膜干燥器垂直段，在垂直部分加热，约80-90%的溶液蒸发。垂直部分用蒸汽加热。SAF从垂直进入横向干燥室，横向部分用导热油加热。溶剂蒸汽从干燥器顶部出来进入溶剂的蒸馏工序。干燥器底部的粉料通过旋转空气锁被输送到布袋除尘器，收集包装，协议外卖。（2）溶剂的蒸馏工艺流程:有机溶剂甲苯、二甲醚从Luwa干燥器垂直部分挥发出来后，经过Luwa顶部冷凝器冷凝，在冷凝器中被分离出的有机溶剂送溶剂接收罐，通过泵送入溶剂蒸馏塔。溶剂接收罐顶部出来的不凝气体被溶剂蒸馏塔顶部出来的一部分气体吸入喷射器中，喷射器出来的物料经两级冷凝后进入气液分离罐，顶部出来不凝气进入焚烧炉焚烧，气液分离罐出来的液体回流至溶剂蒸馏塔。蒸馏塔的工作温度为163℃,工作压力为2kg/cm2。溶剂蒸馏塔有两个作用：一是从塔顶分离出溶液中溶解的轻组分，轻组分气体用来驱动喷射器。二是将甲苯从二甲醚中分离出来，溶剂蒸馏塔釜甲苯送四氢化钠铝制备单元循环使用。溶剂蒸馏塔为浮阀塔，塔分为两部分：上部为从溶液中分离出轻组分，下部是分离二甲醚和甲苯。物料从溶剂蒸馏下部进入，入口低于二甲醚采出口几个塔板位置，溶剂蒸馏塔第四块塔板采出二甲醚，二甲醚含量控制在85%（wt）左右，二甲醚经冷却后送入二甲醚溶剂槽，再经二甲醚输送泵分别送入四氢化钠铝单元SAH沉淀槽和硅烷制备单元硅烷洗涤塔。甲苯从塔底部采出，经塔底甲苯冷凝器冷却后，依靠溶剂蒸馏塔和甲苯溶剂罐的压差进入甲苯溶剂罐，甲苯和二甲醚均贮存于立式压力容器内，甲苯经泵输送入四氢化钠铝制备单元循环（3）SAF储存和输出工艺流程:由Luwa干燥器来SAF粉末平均颗粒在5-10微米，通过Luwa干燥器底部旋转空气锁，将SAF粉末送入空气输送系统，经过布袋除尘器将固体颗粒截留下来，进入灰斗，作为联产产品外卖。SAF布袋除尘器所用玻璃纤维集尘袋使用温度为260℃,使用工厂氮气脉冲清洗集尘袋，过滤后的气体进入引风机，引风机出口气体直接排入大气。集尘袋里的SAF固体粉末依靠机械振打，通过旋转空气锁进入SAF灰斗，经计量后装袋，作为联产产品协议外卖。（二）500t/a硅烷灌装项目硅烷储罐（公用多晶硅单元）→进口缓冲罐→硅烷压缩机→充装硅烷气体经成品罐至缓冲罐，由硅烷压缩机加压后引出至充装排，充入灌装瓶。（三）300吨/年四氟化硅气体充装及300吨/年硅烷气体管束式集装箱充装项目该项目在现有500t/a硅烷灌装站项目的基础上技改，只增加充装能力为300t/a的管束式集装箱充装位，不增加压缩机，总计充装能力仍为500t/a，新增300t/a四氟化硅气体充装的能①四氟化硅气体充装四氟化硅气体经成品罐至缓冲罐，由四氟化硅压缩机加压后引出至充装排，充入灌装瓶。②硅烷气体管束式集装箱充装硅烷气体经压缩机出口总管引出至充装排，充入管束式集装箱。（四）2100t/a特气充装、300t/a四氟化硅精馏、200t/a高纯纳米硅粉生产及1000t/a气体储运技改项目①1300t/a硅烷充装工艺流程硅烷气（0.5MPa）来自硅烷车间硅烷储罐，打开硅烷压缩机缓冲罐前的调节阀及手阀向硅烷压缩机缓冲罐引入硅烷气体并升压至0.5MPa，打开硅烷压缩机进出口管线各阀及硅烷管束式集装箱/Y瓶/标准瓶充装用各调节阀，启动压缩机，经压缩机提升压力至11.0MPa左右后向硅烷管束式集装箱/Y瓶/标准瓶充装气体，监控硅烷管束式集装箱/Y瓶/标准瓶充装压力（9-11MPa），当硅烷管束式集装箱/Y瓶/标准瓶充装气体重量达到设定重量（2.4-4t/100kg/10kg）时，系统自动关闭充调节阀，同时停压缩机。②100t/a混合气充装工艺流程硅烷混氢充装：将40L标瓶高纯氢（15.0MPa）接入充装排，打开高纯氢充装管路相应阀门向充装钢瓶瓶内充入一定量的氢气（5-10ppm，精密质量流量计联锁切断调节阀，按客户需求配比核算）后切断氢气充装。然后切换至硅烷压缩机出口硅烷管线，打开相应阀门，启动硅烷压缩机向钢瓶内充装硅烷至设定的重量（10kg），关闭充装调节阀组、停压缩机。然后采用液压车将钢瓶搬运至滚瓶机混合均匀，外售。③高纯氮气充装工艺流程打开硅烷车间来的高纯氮气管线各阀及充装排相应阀门，向标瓶充装氮气至核定的重量，关闭相应调节阀，标瓶装车外售。④700t/a氢气充装工艺流程640t/a纯氢气充装工艺流程打开纯氢储罐（14.0MPa）至氢气压缩机进口管线阀门，打开氢气压缩机出口管线各阀及管束式集装箱或充装排阀组各阀，启动氢气压缩机向氢气钢瓶集装格或管束式集装箱充装氢气，监测充装集装格或管束式集装箱压力（15.0~20MPa），当充装压力达到设定压力后关闭相应阀门，停压缩机，封瓶外售。具体工艺流程如下：60t/a高纯氢气充装工艺流程打开高纯氢（1.0MPa）储罐出口阀、高纯氢纯化器进出口阀、高纯氢经充装压缩机进出口阀及管束式集装箱或充装排阀组各阀，启动高纯氢气压缩机向高纯氢钢瓶集装格或管束式集装箱充装高纯氢气，监测充装集装格或管束式集装箱压力（15.0~20MPa），当充装压力达到设定压力后关闭相应阀门，停压缩机，封瓶外售。具体工艺流程如下：⑤四氟化硅精馏工艺流程粗四氟化硅气经原料气压缩机加压后，与脱重塔塔釜液及脱重塔塔顶气换热回收冷量后进入脱轻塔中部，脱轻塔塔顶采出轻组分经过回收冷量后返回四氟化硅车间吸气缓冲罐（原有），塔底物料自压进入脱重塔中部。脱重塔塔顶采出高纯四氟化硅产品气经过回收冷量后进入四氟化硅车间充装系统。塔底采出经过回收冷量并气化后返回四氟化硅车间吸气缓冲罐（原有）。脱轻塔塔顶采出的轻组分主要成分为SiF4及PPM级O2、N2、H2，排放至现有尾气吸收系统（两级水洗、一级碱洗）处理后达标排放；脱重塔塔底采出的重组份主要成分为SiF4，少量HF气体及PPM级CO2等，排放至现有尾气吸收系统（两级水洗、一级碱洗）处理后达标排放。具体工艺流程及产污环节如下图所示。⑥高纯纳米硅粉生产工艺流程反应原理硅烷与氢气混合后在高温下进行热分解，生成硅粉和氢气。工艺流程高纯硅烷与高纯氢气进入配比缓冲罐进行混合配比，得到混合气，混合气进入硅烷管式反应器，硅烷管式反应器中，硅烷加热分解成粒状硅粉及氢气，硅烷管式反应器的出口得到气粉混合气，反应后的气粉混合气经尾气冷却器冷却后，温度降至100℃以下，进入一级硅粉过滤器，将硅粉滤出，收集在一级硅粉过滤器底部，当一级硅粉过滤器达到指定数量的硅粉后，关闭一级硅粉过滤器，打开二级硅粉过滤器，让尾气冷却器冷却后的气粉混合气进入二级硅粉过滤器继续生产；一级硅粉过滤器及二级硅粉过滤器底部的硅粉放入硅粉收集罐中后包装出售；经一级硅粉过滤器或二级硅粉过滤器过滤后的尾气进入焚烧炉。具体工艺流程见下图：⑦1000t/a气体储运生产工艺流程该项目改建原乙类仓库，用于液氨钢瓶的转运和储存，储运能力1000t/a。用户运来的液氨钢瓶（944L，重量480kg，压力3MPa）通过汽车运输到厂区，叉车卸车后存放至转运仓库储存，在用户提出转运需求时用叉车装车由用户转运至己方仓库。（五）100t/a流化床制备硅碳复合材料中试项目1、工艺原理及反应方程式具体反应方程式如下式所示：SiH4Si+2H22、工艺流程图3、工艺流程说明（1）石墨颗粒加入和流化：石墨颗粒选择多孔结构，为保证粒径均匀，避免大颗粒进入影响成品品质，计重后的石墨加入经氮气置换后的石墨料仓，投料过程中的扬尘通过石墨料仓过滤器过滤收集回用，石墨进入流化床反应器后，调节氢气流量，使石墨颗粒流化起来。置换废气、投料粉尘和石墨料仓呼吸废气均通入RCO废气处理装置处理后由15米排气筒高空排放，因原料石墨用量较少，且高效过滤器过滤效果约99.9%，G1石墨料仓废气中存仅在少量石墨粉尘。（2）硅烷分解包覆：为对已经流化起来的石墨颗粒进行包覆，启动流化床外电加热器，使得流化床内温度达到并稳定在650℃,然后降低氢气流量，通入硅烷气，硅烷在高温下分解，生成的硅进入多孔石墨内部并包覆在石墨颗粒表面，控制硅烷通入时间，以获得要求包覆厚度的碳硅复合材料颗粒。硅烷分解反应生成的H2和一些微小硅粉尘经换热器冷却后进入粉料冷却罐。（3）成品颗粒冷却：通过加大氢气流量，将制备好的碳硅复合颗粒从流化床吹入粉料冷却罐。尾气经换热器冷却后通入反吹过滤器处理，该反吹过滤器采用陶瓷滤芯，陶瓷滤杯高效过滤器的处理效率可高达99.99%，因此硅碳复合颗粒和极少量未完全反应的石墨、硅粉一并收集于陶瓷滤芯中，过滤后的尾气主要为高浓度氢气和多余的硅烷气，尾气G2经过滤器处理后直接进入RCO废气处理装置处理。高温的碳硅复合颗粒在粉料冷却罐里，被循环冷却水不断换热降温，达到常温后，过滤器陶瓷滤杯中收集的产品混合少量过滤下来的石墨硅粉一起通过高压氢气反吹进入粉料收集罐中。（4）复合材料的包装和储存：装置停车后使用氮气置换收集罐中的气体，置换完成后，将碳硅复合粉料从粉料收集罐中取出，包装为成品。该置换废气经陶瓷过滤器滤下气流中携带的产品粉尘后进入RCO废气处理装置处理。（六）STF（四氟化硅）装置技改项目①氢氟酸储运流程氢氟酸储罐布置在酸罐库区内，实施封闭化管理，并配套设置泄漏报警设施、尾气吸收系统。来自槽车的氢氟酸通过氮气压入到氢氟酸储罐内，装卸过程会产生卸车废气。储存于氢氟酸储罐中的AHF再通过屏蔽泵经管道输送至STF生产单元用于四氟化硅的生产。氢氟酸储罐为压力罐（0.5MPa），日常储存过程中基本无呼吸废气产生。氢氟酸储罐卸车废气经收集后送至氢氟酸储罐尾气处理系统处理。②氟硅酸储运流程正常工况下，来自STF生产单元洗涤塔循环罐的氟硅酸通过输送泵经管道直接送入STF反应釜回用于四氟化硅生产；当STF反应釜进行压料时，STF生产单元洗涤塔循环罐的氟硅酸通过输送泵经管道进入氟硅酸储罐内，待压料结束后再通过输送泵送至STF反应釜用于四氟化硅的生产。氟硅酸储罐产生的呼吸废气经收集后送至氢氟酸储罐尾气处理系统处理。③98%硫酸储运流程98%硫酸通过低位槽经输送泵经管道卸入98%硫酸储罐内，使用时再通过输送泵经管道输送至STF生产单元用于四氟化硅的生产，浓硫酸储罐呼吸废气直接排放。2.4.2.5现有项目污染因素及防治措施企业现有的项目废水、废气、固废防治措施见表2.4-5。表2.4-5现有项目污染因素及防治措施汇总一览表烷物产及1000t/a气体储运放MnS,ZnS等NiO理等2.4.2.6现有项目污染源分析（一）污染源强调查与分析结果（1）废气结合企业现有项目实际生产情况调查，项目达产时废气产生及排放情况汇总见下表。其中废气排放量根据监测报告进行核算，没有监测的因子和未建设的项目废气源强参照环评报告确定。表2.4-6现有项目废气排放情况单位：t12345NOx6789NOxNOxDME：4.3381/2/3/4NOX/5/6/7/8VOCS/（2）废水企业针对2022年生产废水排放量进行统计，本报告引用该统计年报数据，现有项目废水产生及排放情况见下表。表2.4-7现有已建项目废水排放情况单位：t/aNH3-N水/①巨化环保科技公司污水处理厂COD排放执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-20），（3）固废表2.4-8现有已建项目固体废物污染量剂8确确33确/注：根据企业提供资料制氢单元废催化剂更换周期5年以上，2022年未进行更换，因此2022年无废催化剂产生；其他废脱硫剂、废吸附剂、废活性炭及硅烷提纯单元的废分子业与浙江红狮环保股份有限公司签订协议中列出的污染物为“废活性（二）主要污染因子排放达标性分析（1）废气①有组织排放：本报告引用中宁公司委托浙江溢景检测科技有限公司的自行监测数据（浙溢检气字（2023）第042402号），企业现有已建项目污染源废气检测结果如下表所示。9-3-3-39-499第一次烟温(℃)第一次烟温(℃)根据检测结果可知，焚烧炉废气排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中二级排放的相关限值要求；SAF布袋除尘器废气排气筒出口各污染物排放速率和浓度均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中二级排放的相关限值要求；天然气蒸汽锅炉排放口中各污染物均能满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）表3特别排放限值的要求，氮氧化物符合50mg/m3标准（根据《燃气锅炉低氮改造工作技术指南（试行）》（浙江省生态环境厅2019年9月）文件要求，氮氧化物从严执行50mg/m3的低氮排放要求）；制氢单元转化炉排气筒SO2、NOx和颗粒物符合《浙江省工业炉窑大气污染综合治理实施方案》（浙环函〔2019〕315号）的有关要求（暂未制订行业排放标准的，原则上按照颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放限值分别不高于30、200、300毫克/立方米）；STF装置洗涤塔和氟化氢罐区的氟化物、硫酸雾废气浓度符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中二级排放的相关限值要求。②无组织排放：根据企业提供的监测报告《浙巨化检气字（2021）第0511号》、《浙溢检气字（2022）第121601号》，企业无组织废气监测结果如下。2021年4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4无组织排放各测点颗粒物、甲苯、非甲烷总烃、氟化物、硫酸雾均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2的限值要求。（2）废水企业厂区内排水实行雨污分流，生活污水经化粪池预处理后纳管进入衢州城市污水处理厂处理，生产废水经厂区污水处理站预处理后纳管进入巨化环科污水处理厂处理。①厂区污水处理站：企业污水处理站由浙江省环境工程有限公司设计，污水处理规模为192t/d进行设计，主要采用化学氧化、物化处理工艺和生化处理工艺。污水处理工艺见下图。主要工艺流程说明：（1）四氟化硅车间废水主要含有氟化物，主要采用物化处理工艺。含氟废水进入调节池调解PH；然后进入中和池，添加氢氧化钙/氧化钙进行中和；再进入反应池反应后进入絮凝池添加絮凝剂；经沉淀池沉淀后上清液进入污水预排池，经检验合格后进入污水排放池，污泥进入污泥浓缩池，经压滤后装袋委外处理。（2）综合废水主要含有一定浓度的COD，主要采用生化处理工艺。来自车间初期雨水池、事故应急池和检维修产生的洗涤废水，经调节池混合后，进入铁碳塔，在微电解塔里废水进行电化学反应，在酸性条件下，铁与碳之间会形成无数个微电流反应，苯胺类化合物及其他有机物在微电解作用下被氧化还原；然后进入中和混凝池，中和混凝反应形成泥水混合物；再进入初沉池，泥水分离后清液自流至生化系统，污泥进入污泥浓缩池；生化系统在缺氧，好氧菌交替作用下可降解COD，出水经沉淀池截留污泥后，上清液进入污水预排池，污泥进入污泥浓缩池。（3）F/N废水F/N废水主要含有氟化物，经一次反应沉淀和二次反应沉淀池，投加石灰等药剂除氟，再投加絮凝剂分离，上清液进入外排池，经在线分析检测合格后，进入污水排放池纳管，污泥经压滤机后装袋委外处理。本次评价引用企业2022年废水自行监测报告（浙巨化检水字20220119第001号）及（浙溢检水字（2023）第041403号）数据进行评价，厂区各单元污水总排口监测结果见下表。pHBOD5口///口//8/表2.4-13浙溢检水字（2023）第041//8/5~7///////////////根据监测结果可知，企业现有生产废水和生活污水中各项污染物指标最大浓度均符合相应的纳管标准，雨水监测因子能够满足《市美丽办关于印发〈衢州市水生态环境保护暨治水长效战2022年度工作计划〉的通知》（美丽衢州办[2022]8号）中的相关要求。生产废水排放口设有在线监测装置，本报告选取2022年7月~12月的在线监测数据统计结果如下。pH值/备注：在线数据来源于浙江省污染源自动监控信息管理平台图2.4-19废水CODCr在线监测图生产废水排放口pH和COD因子在线监测数据满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。（3）噪声为了解厂界噪声排放情况，本报告引用企业《STF（四氟化硅）装置技改项目环保设施竣工验收监测》报告中的厂界噪声监测数据进行说明（浙溢检噪字[2022]第121301号）和2023年4月的自行监测数据进行说明（浙溢检噪字[2023]第040901号），监测结果见表2.4-15。监测结果表明，西侧、北侧、南侧厂界噪声监测值能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准，东侧厂界噪声监测值能够达到4类标准，附近敏感点十八里村、黄家村能够满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的2类区标准。2.4.3在建项目企业在建项目为“2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目”，根据企业提供资料，企业对该项目STF等主要生产单元已基本建设完成，企业建设过程中，根据市场调查发现存在氟硅酸钠制备四氟化硅工艺原料供应不足、副产物氟化钠销售困难等问题，企业已对该项目进行技术改造，项目已停止建设并对相关工序进行拆除，对照相关环保要求已重新申报环评手续，目前已通过审批。因此2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目纳入未建项目进行评价。2.4.4未建项目企业未建项目为“年产100吨氟氮混合气技改项目”以及重新报批后的“2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目”、“5000吨/年电子特气硅烷系列产品项目”，未建项目根据环评等资料进行评价。2.4.4.1产品方案和生产规模未建项目产品产量情况见下表。123/4/56/7892.4.4.2原辅材料消耗情况未建项目原辅材料消耗见下表。1固2固3固4液外购5液6液7液8液9液固液固4气固固镍固/冶金级硅（非晶型的）固≥98%4970.485氢气气≥99.5%908.8四氯化硅液≥99.5%4184氢氧化钠液30%500铜系催化剂固氯化亚铜132.866歧化催化剂固树脂30硼磷吸附剂固树脂202.4.4.3工艺流程（1）2100t/a高纯硅烷系列产品技改项目制备单元、硅烷制备单元、硅烷提纯单元、溶剂回收和四氟化铝钠干燥单元、乙硅烷制备单①四氢化钠铝（SAH）制备单元SAH以批次方式生产，为了缩短反应时间，反应在高压下进行。首先三乙基铝、铝粉、循环甲苯在循环甲苯槽中混合，然后转送到SAH反应釜中，循环甲苯中含有OMH-1催化剂，新加入的三乙基铝是为了补充从SAH溶液中流失的量。金属钠加热融化，由氮气压至计量槽，从计量槽投入到SAH反应釜中，整个过程均在氮气保护下进行。氢气通过插在液面下管道送到反应釜。生成物SAH浆液也通过该管道被压入SAH沉降槽。SAH反应釜工况如下：温度100~140℃,压力130~140bar，反应时间通常120~140min。SAH沉降槽的操作包括两步分离和一步溶解。在每步分离中，SAH被沉淀下来，分离出的甲苯溶剂进入甲苯溶剂槽中。第一次分离可以分离出约75%的甲苯和溶解于甲苯中的催化剂OMH-1。第二次分离用蒸馏过的甲苯再次清洗SAH以便溶解回收更多的OMH-1催化剂。第二次分离后，SAH颗粒被溶解在二甲醚（CH3OC2H4OCH3）-甲苯混合物中，当SAH溶解完成后，SAH/二甲醚混合溶液（含有未反应掉的铝粉，溶解态OMH-1和固态Na3AlH6）送到SAH储存槽中。每次SAH转送到SAH储存槽后，SAH沉降槽要进行放空。放空过程中，未反应完的氢气和挥发的甲苯、二甲醚、二乙基硅烷（回收的溶剂中带入）混合废气送入焚烧炉燃烧后排放。四氢化铝钠（SAH）压片制作工艺：将SAH沉降槽R-1102/2102内的SAH浆料（SAH/甲苯混合溶液）压送至三合一过滤器X-1104进行压滤，滤液返回至回收甲苯储罐D-1103/D-2103。然后用新鲜的甲苯洗涤X-1104里的滤饼。洗涤完成后向X-1104夹套通入蒸汽进行升温干燥。甲苯蒸汽经冷凝器E-1118冷凝回收甲苯后排入焚烧炉管线，冷凝液返回至D-1103/D-2103。然后关闭蒸汽打开冷却水对X-1104进行冷却，冷却后将SAH粉料卸至压片机的料仓然后进行压片，压片完成后用PE袋充氮包装后放入规格为25kg/桶的铁桶外售。项目工艺流程见图2.4-20。②四氟化硅（STF）制备单元来自酸罐库区氟化氢储槽的氟化氢通过泵送至STF反应釜（反应过程中氟化氢持续进料）。STF以批次方式生产，采用两个STF反应釜轮番进行。首先向打浆槽注入98％硫酸，补充一定量63%硫酸，配成75%硫酸。然后加入石英砂（SiO2）粉料，与75％硫酸在打浆槽预混，将混合好的浆料用氮气压送到1#STF反应器，然后加入液态氟化氢。STF反应器工况如下：温度70～100℃,压力0～0.07MPa，液位为80%,反应时间为20h。随着反应的进行，硫酸浓度降到63％左右后，停止反应，冷却降温后，将稀硫酸压到稀硫酸储槽。反应产物四氟化硅送入硫酸干燥塔用98%硫酸洗涤、干燥、脱水，再经压缩机压缩送至四氟化硅储槽。稀硫酸储槽的63%稀硫酸经硫酸浓缩器浓缩，蒸发其中多余的水分，将浓度提升至75%后循环使用。反应釜生产时产生的反应废气（G2-1，主要含四氟化硅、硫酸雾）进入洗涤塔（一级酸洗），经洗涤液（浓度为3-5%氢氟酸水溶液）吸收后形成氟硅酸，氟硅酸由洗涤塔循环罐泵入氟硅酸储槽，需要使用时由泵重新加入STF反应釜，与石英砂反应生产四氟化硅，氟硅酸在系统内循环使用。未被吸收的废气经后续洗涤塔（二级水洗+一级碱洗）处理后15m高空排放。③硅烷制备单元硅烷制备单元包括四个部分：硅烷反应系统、STF汽提、硅烷洗涤和压缩。本单元工艺流程见图2.4-22。a、硅烷反应系统硅烷反应分两步完成：第一硅烷反应器完成90~95%的反应，余下的在第二硅烷反应器中完成。SAH是从第一硅烷反应器向第二硅烷反应器流动的，而STF是从第二硅烷反应器向第一硅烷反应器流动的，这样两种物质可以尽量反应完全。SAH溶液从SAH储存槽中由泵送入硅烷洗涤塔底部，溶剂回收单元输送泵送来二甲醚-甲苯溶剂进入溶剂储槽，经溶剂冷却器冷却后，从硅烷洗涤塔顶部进入洗涤塔。该溶剂与SAH溶液混合得到8%-10.5%SAH溶液，送到第一硅烷反应器。第二硅烷反应器STF和溶剂及生成的硅烷，分别经STF汽提塔和回流罐，再经深冷送入第一硅烷反应器，给第一硅烷反应器提供冷量，SAH和STF的反应产生硅烷气体和SAF固体。在第一硅烷反应器中，2～5%未反应的SAH/溶剂混合物从第一硅烷反应器底部经泵送入第二硅烷反应器，同时一部分经冷却器返回第一硅烷反应器，反应热通过冷却器带走。新鲜STF用专用管道送入第二硅烷反应器，STF与从第一硅烷反应器来的残留SAH反应生成硅烷气体。第二硅烷反应器没有反应掉的STF与硅烷气体，从第二硅烷反应器出来经汽提塔回流罐进入第一硅烷反应器。反应产物SAF/溶剂混合物由第二硅烷反应器用泵打入STF汽提塔。b、STF汽提来自第二硅烷反应器混合液体SAF/溶剂从STF汽提塔顶部进入，塔釜采用蒸汽再沸器加热为STF汽提塔提供热源，通过塔底部泵强制循环。从STF汽提塔底部出来的混合物料，用泵分别送入溶剂回收与SAF干燥处理单元的SAF浆料储罐。STF汽提塔顶STF、硅烷、二甲醚气体，经深冷器冷却后，二甲醚气体被冷凝，STF、硅烷、二甲醚气液两相混合物进入回流罐。回流罐顶部离开的STF、硅烷气体经深冷器进入第一硅烷反应器。回流罐底部液体回流至汽提塔顶部。c、硅烷洗涤和压缩第一硅烷反应器和第二硅烷反应器产生的硅烷，由底部进入硅烷洗涤塔。底部通过SAH溶液去除硅烷气中含有的少量STF等杂质；顶部设有溶剂喷洒，将溶剂回收单元回收的溶剂和补充系统损失的溶剂经混合深冷后直接喷洒冷却填料层，通过低温减少硅烷中溶剂的含量。自硅烷洗涤塔塔顶出来硅烷气经除雾器除去溶剂液滴，与硅烷净化单元来的硅烷汇合，进入硅烷加热器，然后进入硅烷压缩机后送硅烷净化单元提纯。④硅烷提纯单元硅烷制备单元来的粗硅烷气体含有氢气，甲烷，乙烯，乙烷，乙基硅烷、二乙基硅烷等杂质，需送硅烷提纯单元提纯后再到硅烷储存单元。硅烷提纯单元主要包括脱轻塔、脱重塔、吸附塔、脱乙基硅烷塔和硅烷回流与储存五部分，脱轻废气、脱重废气和吸附塔再生废气送入焚烧炉燃烧后排放。A、脱轻塔粗硅烷含轻组分杂质在脱轻塔去除，大部分重组分已在硅烷制备单元硅烷洗涤塔去除。脱轻塔塔顶为内置冷凝器，为避免过多的