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微惯性测量系统关键技术研究的任务书任务书一、背景与意义微惯性测量系统由于其高精度、高稳定性及小尺寸等特点，被广泛应用于航天、飞行器、导弹、车辆和工控等领域。其包括制导、导航和控制三个主要部分，其中惯性测量部分是其中的关键技术。惯性测量部分由陀螺仪和加速度计组成，通过测量物体相对于空间的角速度和加速度，从而确定物体的角度和加速度信息。目前，微机电系统（MEMS）技术已经成为制造微惯性测量器件的主要方法，其制造工艺简单，可实现大规模生产，被广泛应用于微惯性测量领域。然而，MEMS惯性测量器件存在精度低、稳定性差、温度漂移严重等问题，严重制约了微惯性测量系统的发展。因此，如何提高MEMS惯性测量器件的精度和稳定性，积极开展微惯性测量系统关键技术研究显得尤为重要。二、任务目标本项目拟开展微惯性测量系统关键技术研究，包括MEMS陀螺仪和加速度计设计、制造及测试等方面。具体任务目标如下：（1）开展零点漂移、非线性等误差源分析，确定MEMS惯性测量器件精度、稳定性改进的方向。（2）设计具有高灵敏度、低零漂、低噪声、高线性和高温稳定性的MEMS陀螺仪和加速度计结构。（3）开展MEMS惯性测量器件制造过程研究，确定最佳工艺参数，实现器件批量生产。（4）建立MEMS惯性测量器件测试平台，开展器件性能测试，分析器件精度、稳定性等性能。（5）开展微惯性测量系统原理研究，搭建微惯性测量系统实验平台，开展系统性能验证。（6）撰写关键技术研究报告，形成完整的技术方案和技术文档。三、任务要求和具体内容（1）了解MEMS惯性测量器件技术发展现状及面临的挑战，分析事关器件性能提升的关键技术和瓶颈。（2）开展MEMS惯性测量器件的理论研究，分析零点漂移、非线性误差、温度漂移等问题形成的原因，确定改进方向和措施。（3）设计高性能的MEMS陀螺仪和加速度计结构，包括结构优化设计和特种材料的应用。（4）制备高品质的MEMS惯性测量器件，探索成本低、效率高的制备技术。（5）建立MEMS惯性测量器件测试平台，开展器件性能测试，建立器件的性能测试指标体系。（6）系统集成与性能验证，搭建微惯性测量系统实验平台，对系统进行性能测试。（7）报告撰写和项目总结，撰写关键技术研究报告，总结项目的研究成果，形成完整的技术方案和技术文档。四、进度计划任务总工期为18个月，具体进度计划如下：第1-3个月：研究进展调查和探索性的成果展示第4-6个月：设计高性能的MEMS陀螺仪和加速度计结构第7-9个月：制备高品质的MEMS惯性测量器件第10-12个月：建立MEMS惯性测量器件测试

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