《化学气相沉积硫化锌晶体》

1YS/TXXXX-XXXX化学气相沉积硫化锌晶体本文件规定了化学气相沉积硫化锌晶体的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于化学气相沉积法（CVD）制备的硫化锌晶体（包括标准硫化锌和多光谱硫化锌），透过波长范围为1μm～14μm。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T6040红外光谱分析方法通则GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法JC/T185光学石英玻璃3术语和定义本文件中没有需要界定的术语和定义。4牌号及分类4.1牌号化学气相沉积硫化锌晶体的表示方法为：CVD-□-ZnS表示硫化锌等级，M表示多光谱硫化锌，S表示标准硫化锌CVD表示化学气相沉积法4.2分类化学气相沉积硫化锌晶体按透射性能分为标准CVD硫化锌和多光谱CVD硫化锌。5技术要求2YS/TXXXX-XXXX5.1光学性能5.1.1透过率5.1.1.1温度为（20～25）℃时，标准CVD硫化锌在8μm～10μm光谱范围内的透过率不小于70%；在2μm～10μm光谱范围内的透过率曲线除了6μm附近有吸收峰，不应存在其他吸收峰。标准CVD硫化锌透过率曲线见图1。图1标准CVD硫化锌透过率曲线5.1.1.2温度为（20～25）℃时，多光谱CVD硫化锌在1064nm处的透过率不小于70%，透过率曲线见图2。在3μm～5μm光谱范围内的透过率不小于69%，且透过率曲线平滑无吸收峰；在8μm～10μm光谱范围内的透过率不小于70%。多光谱CVD硫化锌透过率曲线见图3。图21064nm处多光谱CVD硫化锌透过率曲线3YS/TXXXX-XXXX图3（3～5）μm及（8～10）μm处多光谱CVD硫化锌透过率曲线5.1.2折射率温度为20℃~25℃时化学气相沉积硫化锌晶体的折射率应符合表1的规定。5.1.3折射率不均匀性多光谱CVD硫化锌的折射率不均匀性（波长0.6328μm处）应小于4×10-5。5.2弯曲强度5.2.1标准CVD硫化锌的弯曲强度应大于100MPa。5.2.2多光谱CVD硫化锌的弯曲强度应大于70MPa。5.3尺寸及允许偏差4YS/TXXXX-XXXX化学气相沉积硫化锌的尺寸及允许偏差应符合表2的规定。表2尺寸及允许偏差直径或最长边（d）厚度(t)5.4外观质量化学气相沉积硫化锌晶体的棱角、边缘和全部表面不应有后续加工难以除去的缺口、缺角、裂纹和空洞，且缺口、缺角、裂纹尺寸不应超过2mm。抛光后的标准CVD硫化锌呈淡黄色或桔黄色，抛光后的多光谱CVD硫化锌呈无色透明。5.5其他如对化学气相沉积硫化锌晶体有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明。6试验方法6.1化学气相沉积硫化锌晶体透过率的检验按GB/T6040的规定进行。6.2化学气相沉积硫化锌晶体折射率的检验按附录A的规定进行。6.3化学气相沉积硫化锌晶体折射率不均匀性的检验按JC/T185的规定进行。6.4化学气相沉积硫化锌晶体弯曲强度的检验按GB/T6569的规定进行。6.5化学气相沉积硫化锌晶体的尺寸及允许偏差的测量用精度为0.01mm的量具进行。6.6化学气相沉积硫化锌晶体外观质量用目视检验。7检验规则7.1检查和验收7.1.1产品应由供方技术监督部门或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件和订货单（或合同）的规定，并填写产品质量证明书。7.1.2需方可对收到的产品进行检验，如检验结果与本文件及订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。7.2组批化学气相沉积硫化锌晶体应成批提交验收，每批应由同一炉次或同一生产周期的产品组成。7.3检验项目及取样化学气相沉积硫化锌晶体的检验项目及取样应符合表3的规定。表3检验项目及取样5YS/TXXXX-XXXX7.4检验结果的判定7.4.1化学气相沉积硫化锌晶体的透过率、折射率、折射率不均匀性、弯曲强度的检验结果中有任意一项不合格时，判该批产品不合格。7.4.2化学气相沉积硫化锌晶体的尺寸及允许偏差检验结果不合格时，允许对该批产品进行逐件检验，合格者重新组批验收。7.4.3化学气相沉积硫化锌晶体的外观质量检验结果不合格时，判该件产品不合格。8标志、包装、运输、贮存和随行文件8.1标志8.1.1在检验合格的产品外包装袋上张贴标签，其上注明：a)产品名称；b)产品批号；c)产品数量或净重;d)其他。8.1.2产品应成箱包装，每箱外侧应注明：a)供方名称、商标；b)需方名称；c)产品名称；d)批号；e)件数；f)出厂日期g)其他。8.2包装化学气相沉积硫化锌晶体应装在洁净塑料袋中，密封后再用防震材料严密包裹，连同随行文件装入纸箱中，用填充材料充实，防止其相互碰撞。箱重不大于10kg。单件CVD硫化锌重量大于5kg时，单件包装。8.3运输和贮存8.3.1化学气相沉积硫化锌晶体在运输过程中应轻拿轻放，避免强烈震动、碰撞、挤压和受潮。8.3.2化学气相沉积硫化锌晶体应贮存在干燥、洁净无腐蚀的环境中。6YS/TXXXX-XXXX8.4随行文件每批化学气相沉积硫化锌晶体应附有随行文件，其上注明：a)供方名称；b)产品名称；c)产品批号；d)产品数量；e)各项技术参数检验结果；f）技术监督部门印记；g)本规范编号；h)出厂日期或包装日期。9订货单内容需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出以下内容：a）产品名称；b）产品技术要求；c）产品数量；d）本文件编号；e）本文件中要求在订货单中注明的内容；f）其他。7YS/TXXXX-XXXX附录A(规范性附录)化学气相沉积硫化锌晶体折射率测试方法本方法采用任意偏向角法测定化学气相沉积硫化锌晶体材料的红外折射率。A.2测试原理光线在两种媒质光滑分界面上折射时遵守折射定律，测量原理图见图A.1。图A.1折射率测量原理图折射率按公式（A.1）进行计算：n=(sin2φ+2sinφcosAsini+sin2i)12……(A.1)式中：n——折射率；A——棱镜顶角，单位为度(°);i——入射角，单位为度(°);Φ——折射角，单位为度(°)。入射角（i）和折射角(Φ)分别由式（A.2）和(A.3)计算：S1)………………(A.2)φ=S20.5(S3+S1)(90。A)………………(A.3)式中：S1——反射方向对应角度，单位为度(°);S2——折射方向对应角度，单位为度(°);S3——入射方向对应角度，单位为度(°)。8YS/TXXXX-XXXXA.3仪器设备A.3.1测试仪器由单色光源系统、准直光源系统、精密测角系统、光电瞄准系统和计算机处理系统等五部分组成，原理如图A.2所示。A.3.2光源为碳化硅红外光源，采用单色仪进行分光，实现1μm～12μm的连续红外单色光输出。A.3.3准直光源系统能提供平行光。A.3.4精密测角系统，由精密测角仪构成，测角精度应不小于：0.5"。A.3.5光电瞄准系统包括聚焦光学系统和光电探测器，光电探测器采用硫化铅和热释电探测器。标引序号说明：2——碳化硅红外光源；3——振荡狭缝；4——单色仪；5——探测器；6——聚焦离轴抛物镜；7——平面反射镜；8——锁相放大器；9——计算机处理系统；11——被测样块；12——平面反射镜；13——准直离轴抛物镜。图A.2折射率测试仪原理A.4样品样品工作面尺寸应不小于30mm×30mm，顶角为20°±2°,加工时，图A.1中AB面及AC面均需研磨抛光，表面疵病IV级，表面平整度不低于λ/4，侧垂90°±15"。A.5试验步骤9YS/TXXXX-XXXXA.5.1采用自准直平行光管，在精度为±0.3"的精密测角仪上测量样品的顶角（A）。A.5.2将样品固定于测角仪样品台上。A.5.3调整测角仪样品台，使样品的工作面平行于测角仪旋转轴。A.5.4根据测试要求选择单色仪工作波长。A.5.5转动测角仪，带动光电瞄准系统分别测量得到反射方向、入射方向和折射方向对应的角度值。A.5.6记录计算机自动给出的折射率值。A.5.7重复A.5.5至A.5.6。A.5.8在相同的测试条件下，共测试三次取平均值作为样品折射率（n）。A.6试验数据处理A.6.1记录测量时的温度T，用公式（A.4）进行温度修正：=0.00007x(T0Ts)……………………(A.4)式中：ΔnT——折射率温度修正值；T0——环境温度，单位为摄氏度(℃);Ts——样品实际温度，单位为摄氏度(℃)。A.6.2记录测试时的气压P，用公式（A.5）ps式中：Δnp——折射率气压修正值；进行气压修正：x0.000293xP1P0…………………ns——折射率测量值；P1——测量时