扩散工艺目的原理

太阳电池发电原理、结构与分类扩散工艺原理扩散工艺目的扩散工艺定义课程引入1.前清洗生产流程（仿真）主要流程有哪些？2.请描述扩散工艺加工的对象？1.前清洗生产流程（仿真）主要流程有哪些？作答正常使用主观题需2.0以上版本雨课堂主观题10分2.请描述扩散工艺加工的对象？作答正常使用主观题需2.0以上版本雨课堂主观题10分扩散工艺定义速读教材（3分钟）P55-56问题：1.掺杂是什么？2.常见的施主杂质和受主杂质分别有哪些？扩散工艺是晶体硅太阳电池制造的第二道工序，P型硅片采用磷扩散，N型硅片采用硼扩散。以目前行业中主流的P型硅片为例，将P型硅片放在一个石英管，加热到一定温度，并引入含磷的化合物在硅片表面分解出磷，覆盖在硅片表面，并向硅片内部渗透扩散。在有磷渗透的一面就形成了N型，在没有渗透的一面是原始的P型，硅片内部就形成了p-n结，这就是一般所说的扩散。因此扩散也称扩散制结。无尘车间等级——扩散：万级扩散的目的

目的：制作p-n结。

经典晶体硅太阳电池结构工艺前工艺后外观上基本没变化……扩散工艺原理扩散原理详见教材P56-58液态POCl3管式扩散法优势：1.适用于主流的P型硅片衬底扩散技术。2.p-n结均匀性较好。3.不受硅片尺寸影响，适合制造高方阻浅结的太阳电池，适合大量生产。液态POCl3管式扩散法POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源。无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。扩散装置示意图炉内石英管携带小氮（N2)大氮+氧气液态三氯氧磷（POCl3)扩散硅片磷扩散工艺运行过程中，用到的气体有N2和O2，纯度为99.999%。1.小N2：小流量氮气，携带磷源进入炉管。2.大N2：大流量氮气，净化炉管，为扩散创造净化环境。3.O2：参与化学反应，形成PSG（磷硅玻璃）层。磷扩散原理1、POCl3在高温下（>600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式：

2、生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应方程式：通入氧气的原因

由上一页的反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式：

生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。磷扩散原理（过量氧）

在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：

POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃（PSG），然后磷原子再向硅中进行扩散。P型硅片应选择含（）元素的源来进行扩散工艺磷硼碳ABC提交单选题1分扩散工艺无尘车间的洁净度为（）100级1000级万级10万级ABCD提交单选题1分扩散工艺的目的是（）清洗硅片制作p-n结均匀在硅片衬底中分布掺杂原子做金属电极ABCD提交单选题1分小氮的作用是携带磷源进入炉管。净化炉管，为扩散创造净化环境。参与化学反应，形成PSG（磷硅玻璃）层。ABC提交单选题1分大氮的作用是携带磷源进入炉管。净化炉管，为扩散创造净化环境。参与化学反应，形成PSG（磷硅玻璃）层。ABC提交单