单晶技能操作试题

单晶技能操作测试题一:填空题引晶时拉速的最佳范围2-4mm。晶体发白或变色的原因有真空度不好、拉晶时断氩气、漏油。坩锅变形的原因有熔料功率太高、坩埚质量不好、拉晶时间过长装料过挤\装料方法。引晶时籽晶发黑的原因有漏水、真空度不好。表面棱转向的原因是料内有杂质（棱线偏移一般为晶向偏差较大，和籽晶质量有关）。温控时液面严重晃动（除气流、机械震动）的原因有连杆和底盘装偏摩擦、连杆下部有料、托身裂和加热器磨擦（伴随打火X坩埚变形、连杆没上紧（机械部分为磁流体老化或传动皮带损伤\伺服电机损坏等。放肩时出现晶体断棱，而且形状不规则是晶转和埚转转向相同的原因。造成晶体变形的原因有拉速过快、液面和导流筒的位置太远、拉第二段时长度没加、转肩时温度没控制好。等经过程中影响晶体外观直径因素有PID值设定、导流筒尺寸、拉速、温控（埚随比调校）等因素引起。等经过程中发现埚升无反应是连杆中心轴有杂物卡住，埚升限位到底，控制锅升驱动器造故障等因素引起。等经过程中发现晶体晃动是氩气流量太大，埚拉太近，气体方向不对，埚转快，机器水平度不好等因素引起。在料少的情况下，为了防止收尾结晶，需注意补温度不能太快，拉速也不能太快。二：问答题：造成漏料的原因有哪些？如何避免？一：坩埚质量的问题。二：装料时操作不当。三：熔料时操作不当。四：其它额外因素。在装料前需仔细检查坩埚，如有较大的气泡及凹点都不能使用。装料时应把较大料装在中下部（装料大小位置均匀避免翻料），坩埚弧度处也应装表面光滑或有弧度的一些料。熔料时料下去后坩埚能升起尽量的升起，还有不要长时间的把功率开到很高，料一熔玩立马把功率降下来!长时间会倒至坩埚变形，晰晶等等。拆炉时以现炉内氧化严重，是何原因引起的？1：吊渣换气时没换好（挡板密封圈烫坏而引起密封性不好）2：管道密封圈密封效果不好，漏速快所造成。3：下排气口堵塞造成排气不畅。4：真空泵出现故障（大部分为充气式电磁阀损坏、皮带受损、真空泵老化）。拆炉时托身和托底有硅料粘牢是何原因？1：坩埚内剩的料太多（淅晶）。2：熔料或回熔时功率过高，导致硅蒸气散发。5.料熔完后因吊渣换气，6.物体或仔晶无法熔化，发生液面漂浮一层无法熔化的是何原因？1：炉盖上清炉时氧化物没清理干净。2：换气时副室密封圈上可能有杂物（或密封圈损坏）导致不密封。或者换气时操作不当。3：籽晶上没擦干净。如何合理控制转肩的温度和拉速？1：要看放肩时的快慢，一般转肩时降3格温度左右，拉速在2.5左右。2：放肩快，转肩时要加点温度和拉速。放肩慢要减点温度和拉速。3：如果放得比较快的话比原先要早点收肩，反之，如果放得慢的话就比原先慢点收肩（100由于面密度较大，放肩时避免过快）。保证晶体无位错生长，人为操作方面需做哪些工作？1：清炉时，须按规定操作，尤其是炉盖和炉筒部份。2：装料时一定要注意工艺卫生，不要沾污料。3：拉制过程中一定要按照工艺要求来做。拉制N型单晶时，为保证电阻率的准确性，需注意哪些方面？为避免电阻率偏移，要求：为避免电阻率偏移，要求：首先确定掺杂剂材料并确定材料特性，一般掺p和母合金投放位置在底部，料特性，一般掺p和母合金投放位置在底部，挥发可忽略。但拉制时避免回熔次数，每增加一次回熔偏移增大！但拉制时避免回熔次数，每增加一次回熔偏移增大！sb或As则料化完后投掺杂剂则料化完后投掺杂剂，掺sb或As则料化完后投掺杂剂，而且随成晶时间长短需定时补掺！关于电阻率梯度和p型一样。时补掺！关于电阻率梯度和p型一样。拉晶数据为0时，如何处理及操作？瞬间关闭CPU，然后打开电脑重新启动，把氩气设定为45ML在检查下陆游器的电源线和CPU及电脑上的连线是否接触不好。如发现有漏料情况，需如何处理及操作？1.投料前确保单晶炉防爆阀状态良好！投料前确保单晶炉防爆阀状态良好！2.据漏硅速度，迅速停加热，氩气、真空不要停！如果坩埚可升降据漏硅速度，迅速停加热，氩气、真空不要停！则迅速升至量高限，同时停止埚转。则迅速升至量高限，同时停止埚转。3,准备灭火器至炉台下方，确保烧穿波纹管后不能引起火灾。准备灭火器至炉台下方，确保烧穿波纹管后不能引起火灾。4.如果漏硅速度很快，则停加热后紧急疏散。如果漏硅速度很快，则停加热后紧急疏散。漏硅时万不可向炉内观望!防止事故引起人身伤害.5.漏硅时万不可向炉内观望!防止事故引起人身伤害.三：计算题1.等经过程中，如何计算埚升行程的准确性，写出计算公式？答：设拉速为L,晶体密度为M,液体密度为m,坩埚内径为D，晶体直径为d.公式：3J4x（—）'Kin品长x 若 x£+原锅位2.80KG投料，6〃与8〃等经长度如何计算？（头尾与埚底料去除8KG，单位mm）答：6〃 2.33入3」4戏号卜 —X圈I-8)X1/=946mm3计算引晶埚位，需记录哪些数据？如何计算？（引晶埚位定为液面至导流筒20mm）答:设平口锅位:105mm导流筒进加热器:75mm液面至坩埚口的距离：130mm坩埚高出托身1