志圣干刻故障维修手册

PlasmaPlasma專案組志聖工業竹科分公司PRS根本故障与排解1、PRS故障讯息2、故障缘由排解一、PRS故障讯息FAULTEXHAUSTFAIL ! 故障！排气失败！Fault:Totalprocesstimeislargethansettingtimeabout10seco10秒Fault:

漏 不合格!

故障:测漏 不合格!FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethansettingvalue“&_FF&反射功率大于设定值“设定内容“FAULT!,ICP_RF”sForwardpowerislargethansettingvalue“&P_FF&“输入功率大于设定值“设定内容“FAULT!,ICP_RF”sForwardpowerislessthansettingvalue&P_RF障频输入功率小于设定值“设定内容“FAULT!COMPRESSAIRFAIL!

故障！压缩空气(CDA供压)失败！FAULT!MFC(“&i&“)flowislargethansettingvalue“&P_GAS_质流掌握器(MFC)FAULT!MFC(“&i&“)flowislessthansettingvalue“&P_GAS_F&“质流掌握器(MFC)FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvalue&P_MKS_F&故障！压力(MKS)大于设定值！FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvalue“&P_MKS_F&故障！压力(MKS)小于设定值！FAULT!PUMPsystemfail!FAULT!WATERFLOWfail!Fault:CHAMBERLIDOPEN!Fault:ERROR_FLAGRISEFault:GASCONTROLERROR!Fault:I7000DIMODULE(“&(CH_LID\&H10000)&“)ERROR!Fault:I7000DOMODULE(“&(RV_VALVE\&H10000)&“)ERROR!

故障！帮浦系统失败！故障！腔体门盖开启！故障！错误讯号发生！故障！气体掌握错误！故障！I7000DI(数字输入)!故障！I7000DO(数字输出)!Fault:Fault:Fault:I7000(SMC)ERROR!ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!MACHINEINITALERROR!故障！I7000(SMC)!!!Fault:Fault:Fault:Fault:MKS-CLOSE--ERROR!MOTORBREAKERROR!MOTORSETERROR!PUMPDOWNTIMEOUT!故障！MKS(节流阀)关闭错误!故障！(旋转模块)马达损坏错误!故障！(旋转模块)!!Fault:Fault:Fault:Fault:Pumptobasepressurefailed,initialREADPRESSURE(MKS)--ERROR!“RFCONTROLERROR!RotorSpeedreaderror!timeout!“!故障！读取压力(MKSgauge)失败!!故障！转子(旋转模块)!Fault:SERVOPRESSUREERROR!“故障！伺服压力失败!Fault:SETICP_RFPOWEROFFERROR.故障！设定射频电源关闭失败！Fault:SETICP_RFREMOTEMODEERROR.故障！设定射频遥控模式失败！Fault:SETICP_RFSECHOOFFERROR.故障！设定射频回应关闭失败！Fault:SETMOTORSTOPERROR!故障！设定马达停顿失败！Fault:SYSTENINITALERROR!故障！系统初始化失败！Fault:THROTTLEVALVEOPEN(100%)--ERROR!故障！节流阀全开失败！故障缘由与排解FAULT!EXHAUSTFAIL!故障！排气失败！缘由PRSPUNPEXHAUST排气负背背压需小于-0.02trrPUMPSMCgauge上读取。目前该设置均已取消)EXHAUSTgaugegauge是否正常。进入计算机程序系统，最高权限中『组件组合』工程，确认EXHAUST单元是否被勾选。FaultTotalprocesstimeislargethansettingtime10秒。缘由BUG造成制程动作延迟。处理BUG。

aot1eod于设定时间约

:漏 不合格!缘由:进展系统测漏程序，其结果超出设定时发出。检查腔体内是否清洁，O-ring是否破损。FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethanst缘由:射频反射功率到达程序工程内设定之警告值。

射功率大于设定值处理:体污染，请清洁腔体。a.RFReflectivepwr百分比过低！b程序间延迟时(delaytie短！c子程序挨次错误Matcherboxmatchn常，Coi铜线松脱、断线、短路或氧化。缘由射频输入功率到达程序工程内设定之警告值。PlasmaPlasma專案組志聖工業竹科分公司确认射频产生器内输出功率调整差值是否变动。缘由射频输入功率到达程序工程内设定之警告值。确认射频产生器内输出功率调整差值是否变动。FAULT!COMPRESSAIRFAIL!故障！压缩空气(CDA供压)失败！处理:1.检查厂务供气是否正常。检查管路是否堵塞。检查CDA压力侦测器是否正常。FAULT!MFC(“&i&“)flowislargethansetnau流掌握器(MFC缘由:质流掌握器流量到达程序工程内设定之警告值。MFC。FAULT!MFC(“&i&“)flowislessthansetnau流掌握器(MFC缘由:质流掌握器流量到达程序工程内设定之警告值。处理:查厂务端供气是否正常。检查手动阀、气动阀、电控阀件是否动作正常。MFC。FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvle压力(MKS大于设定值！缘由CT1压力(MKSGauge)读值大于程序内部设定之警告值。2.PUMPPUMP底压。O-RINGGASKEY。FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvle压力(MKS)缘由CT1压力(MKSGauge)读值小于程序内部设定之警告值。处理:务端气体未开或供气缺乏。MFCCDA供气是否正常。MFC或腔体或气体管路堵塞，请检查管路。FAULT!PUMPsystemfail障！帮浦系统失败！处理:PUMP有无起动，冷却水是否开启，水流量传感器是否正常。检查真空开关是否归零，PUMP抽气是否到达设定值。FAULT!WATERFLOWfail故障！冷却水流量失败！缘由系统启动时冷却水流量未到达设定值处理:查厂务冷却水是否开启。PUMP或系统冷却水是否开启。检查水流量传感器是否正常。LIDOPEN故障！腔体门盖开启！缘由系统启动时腔体门未关闭。处理:查腔体门是否关闭。检查腔体上方两颗安全开关动作是否正常。Fault:ERROR_FLAGRISE故障！错误讯号发生！缘由系统发生错误讯号。处理:查错误讯号发生缘由。Fault:I7000DIMODULEERROR故障！I7000DI(数字输入)模块错误!缘由:DI(705)字掌握模块特别。检查数字模块(7053数字模块是否正常。Fault:I7000DOMODULEERROR!故障！I7000DO(数字输出)模块错误!检查数字模块(7043数字模块是否正常。Fault:I7000(SMC)ERROR障！I7000(SMC)错误!缘由:SMC数字掌握特别。处理:SMC掌握讯号是否正常。检查数字模块(7053数字模块是否正常。Fault:ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!!缘由:射频匹配器无法自行匹配。检查匹配器电源是否正常。检查匹配器掌握模块是否正常。Fault:MACHINEINITALERROR故障！匹配初始错误!缘由:射频匹配器无法连接。检查匹配器讯号线是否连接Fault:MKS-CLOSE--ERROR节流阀无法关闭

节流阀)关闭错误!处理:MKS(节流阀动作是否正常。Fault:MOTORBREAKERROR!故障！(旋转模块)马达损坏错误!缘由:(旋转模块)马达损坏！检查(旋转模块)马达动作是否正常。3.检查(旋转模块)掌握器讯号是否正常。Fault:MOTORSETERROR!故障！(旋转模块)马达设置错误!缘由:(旋转模块)马达设置错误！检查(旋转模块)马达动作是否正常。3.检查(旋转模块)掌握器讯号是否正常。Fault:PUMPDOWNTIMEOUT故障！抽气时间过长!故障！抽气时间过长!缘由:AUTORUN时腔体后SMC真空开关未达设定值(n2:-740mmh)处理:查腔体门板是否严密。SMC真空开关设定是否过低。PUMP抽气效能是否衰竭。Fault:Pumptobasepressurefailed,initaieot压力失败，初始时间过长!缘由:AUTORUNPUMP初始(INITIAL30分钟。处理:查腔体门板是否严密。MAINTENANCEPUMP初始(INITIAL抽气设定是否过低。检查腔体或产品是否漏气溢气)Fault:READPRESSURE(MKS)--ERROR!“故障！读取压力(MKSgauge)失败!缘由CT1真空计无读值。处理:CT1讯号线是否脱落。MKS掌握器是否正常。检查DI模块接点是否正常。Fault:RFCONTROLERROR故障！射频掌握失败!缘由:射频产生器无法掌握。将射频产生器关机后重开启。检查射频产生器通讯设定(9600)Fault:RotorSpeedread转子(旋转模块)速度读取失败!缘由:无法读取旋转模块转速。检查旋转模块掌握器是否正常。Fault:RotorSpeedread伺服压力失败!节流阀无法控压。(RFPOWERON气体解离，腔体压力会更大)MKS(节流阀LEARNING。确认腔体真空回压率是否正常，有无漏气。ICP_RFPOWEROFFERROR.故障！设定射频电源关闭失败！缘由:RF射频产生器电源无法关闭计算机上无法操作。处理:换至手动关闭。DO模块讯号接点是否正常。Fault:SETICP_RFREMOTEMODEERROR.故障！设定射频遥控模式失败！缘由:RF射频产生器无法摇控计算机上无法操作。RF电源关闭后重开启。检查射频产生器通讯设定(9600)Fault:SETICP_RFSECHOOFFERROR.故障！设定射频回应关闭失败！缘由RF频无法关闭响应。处理:换至手动关闭。DO模块讯号接点