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文档简介

LECO不同材料分析对辉光激发光源及工作模式的最佳选择

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2006年10月15日辉光应用DepthProfilingBulkAnalysisLECOWeight%Depth(Micrometers)CrCrNiNPx5Fe辉光激发原理

Anode-Cathode

Vacuum

HVAppliedArIonization

IonicBombardmentSampleSputteringAtomsEjectedAtomsExcitationLightEmissionWavelengthLECO++PumpArgonPumpAnodeAnodeCathodeSample

Cathode=Sample

ArgonFilling辉蓄光瘦激滑发骑原席理激奴发泽原患子朴由余基鲁态扭只朽跃崇迁辨至董激臂发壮态丽(1级尘)台再疲回锋到扬基棋态辉旱光抛只晨检选测续元得素持的妙特普征专光蓝谱利吹用敏这霞些湾发逮射昌光裳谱轧的亿波津长朋和径强饲度观可须进证行婶定籍性亮和或定亮量恩分劳析样网品辅表恩面屿物粉质矩均脱匀勿逐铃层档溅炭射框,羽因澡此发可绑进柜行义表榨面革逐都层廉分慰析在深表兆面乞含帅量每分猫析顽、虽浓毅度晕-偏深抄度只关盐系厌应神用父方耻面快织速逝,便准庙确赚、怕分变析掘成偷本捧低辉握光谢应努用熊-哀镀僻锌线(盛铝职)镰板镀阿层明成骆份主命量开元旋素微仰量类及夹痕桂量胀元脊素镀债层纳厚孤度基坝体责成燃份%镀孝层铜重都量LECOW示e贝i肚g绞h雪t卵%D盖e旦p络t洽h拦(墙M兆i机c猾r微o虾m剩e减t劣e厕r戚s因)F柔e损x焰1药0债0Z腐nA璃lS朝iP孤bM捞nCF共eG子a倒l婆v住a洁l势u戴m甚e辉进光半应间用啄-晓镀抛锌币(木铝炮)汇板E挺C卖I五S括S惰/报T辰C瞒2石0锐(欧牙洲限钢腰铁谜标毫准散化滔委麦员改会)I蜘S菠O奴/析T妨C丢2锐0喊1欧选盟票标巩准赛(E冶N钻1公0突3崇1线8罩:号2拢0筋0雹2日)I好S赖O傍1筒4溜7辨0料7彩:培2攻0怜0灵0辉岁光脏应坊用望-沫镀丝式锌蔬(勾铝抛)膨板G失r盐i区m恳m型烧辉巴光疑光戏源罗烫兰哥圆俗(R金o来w廊l餐a线n列d评C梳i绿r叛c尚l买e)坡分河光茄系狱统真姐空芬型妖分肢光坦室葱用雷于亮用谷于窄紫卫外裁波药长源元勺素帆的始检酱测椒(V淋a拢c族u姨u磁m指c咬h齿a喜m赖b叨e蒜r穗f必o灿r营U虫V示S总p援e拴c滑t凯r律a)原跃因轧:项在债工央业甩环浩境恳条止件铅下猛可莲满粗足美快余速胳、狱多潜元葡素挽、拖定乐量葵和民表碰面蛙粗啊糙堂试旗样届分绵析点的惨要悠求嘉。辉仙光炼仪纠器卧设货计P歉H雀O绣T匹O左M驴U辣L出T歼I颜P贫L局I违E型RT供U幼B逮ES婆L监I滔T水A萄S夺S太E锤M衡B毕L骨YP姜R钉E拳-牢E供T顽C纹H蚕E腥DE坏X油I伟T正S移L影I漠TE那N脸T孤R状A盒N槽C馋ES致L氧I鞭TF惜O泪C沿U递S衬I贩N棚GL狠E残N映SG尤L悬O昆W仍D店I渴S姐C哨H侮A喇R烟G宿E棕S昏O距U却R贺C促ES崭A据M吊P虏L冷ER僵O旦W标L判A败N涨D蔽C钩I阻R送C那L仰EC厦O延N兽C傅A返V匀E弄H量O妈L窗O猴G四R罚A慨P盏H疲I僵CG荐R疲A带T周I键N旬GLECOG磁D窄S极5险0职0弦A似/鸭G畏D基S言8皱5手0多AB神u哑l贸k闸A饶n颈a扮l汽y厦s泻i咬sQ播u庆a蜻n把t畜i介t钉a适t盛i醉v敲e县D禾e撤p穴t果h缩慧P姓r补o冲f轧i雨l短eS坡i列n情g宜l钻e牧o惰r林D裙u芹a震l幻玉D赏C异/篇R海f答S堵o蹲u看r婶c栗eF岛o蓄r竟R劲&搂DF绪o再r等P靠r乡丰o财d面u嫌c轿t夏i猜o碍n妥C娇o猜n妨t尿r捞o述lF笼o从r尼Q经u严a掀l体i滩t妨y词C亏h叫e正c晌kLECOF姨e稀a无t博u总r毫i管n少g催:T阀r峰u螺e待P萝l宜a租s狱m硬a欲P纹o洪w绑e蜻rT雅M(玻T萍P次P产)C侧o泻n前t裂r趴o君l点P逢a稼r忌a塔m庭e伐t之e罢r壮s直诱流巨(D似C)G袍R姜I闷M温M型天辉轿光仍光企源LECOG煮D睡S筹8更5罪0叙A射岔频乒(R别F)G尘R仪I革M舅M型门辉躬光坛光落源G股R风I和M鲜M型辉叨光样光挠源元根素册间杆的疤影思响促较冠低值、曾可稠进怠行运快套速狡、只多功元铺素累同鼠时室测疤定俗、炊可灰进躲行抛深车度稍轮门廓置分贡辨杜分拦析违。工井作填时渗电承流蹦、钻电怨压侍直问接浪加假载衰在及试闷样守的液分威析累面帜,扔其葡加育载瞒的会电扬压率、戏电科流砌在稠传贵导堵过死程染中管不判会圈受朗到辅样钥品动形微状怀、旧大锤小担等宵物今理梯因疾素俊影懂响员,爪因愈此倍不煤同档试局样我间油分马析嫌结诊果充的仅重俘现趴性昆良誉好贝。不雹同卵材阔料跪分煤析甲进声行极辉治光味放部电删光聋谱系分券析恭,吨要用获饰得手准摇确逃稳闲定棍的均结楚果否,过光既源泡的宇稳吼定乒是东一骆个怀首德要颠的勺因片素颈,拒恒壶定举的番激减发音强炒度团(C少o碰n咱s轻t斗a六n若t毒E吹m兄i壮s菠s乞i奶o笑n叔Y洁i退e完l类d)辛是军准怒确截定劫量窗分锣析拨的委前旬提抢条色件,G厌r总i烛m窃m型捧的创光汽源焰设冈计苹为府光修源丹稳哪定共提稀供透了定硬带件坦的爽保养障敲。G从R姜I猎M砍M型辉慰光礼光前源欧彩盟君标悉准改(E岗N慎1杏0瓶3转1落8字:遭2馒0农0黄2)小中升均价采托用羡上承述G见r戚i责m买m光川源庙及钞恒免定灯电错压煮-左电幕流交的紧控衬制嫌模桶式犹进杆行凯镀法锌荒、煮铝怠板字的除定诱量纳表腰面汉逐俭层刃分扬析雀。采紫用附电腿压盘-绞电互流宫的悼光帝源之激互发普工阁作掏模酬式永保吓证敬了朋恒谎定他的织激哲发洋强匪度愧的由实存现渗(懒真挎实分等渗离侧子怕体膏激保发T树P郑P)文,文从纪而贞可蹲建办立枪真锹正华的舰多极基馋体太校完正析曲辩线姥(M漫u斑l便t趁i旅M浑a意t经r奶i此x盯C屯a休l养i糊b淹r悟a踏t里i剑o君n)振,书进喘行赴准彻确骨定熟量辆分约析慎。建胜立傲的搭校中正美曲送线厦,味可缎消盐除章基预体惧效登应塔(F调a她m谁i捧l径y额E展f衰f猴e罗c况t)摘,葡提逃供建可拥靠厕的丛多包基暮体退校死正漏工振作僚曲英线级,冷最中终扫保而证粒准铁确欠的质逐腥层挪定赠量赤分罩析轧。LECOC据u散/限A杂l趴S锤t述a旦n诉d勿a倡r萝d捡sA距l摘S杯t鹿a虚n狮d秤a等r水d轻sP菌u蜡r耀e湾F寒e笨a借n睁d镇C爽u迅S夹t岔a较n符d旅a类r凶d原sZ拨n满S匙t禽a酒n期d键a爸r赔dC匹a诵l缘瑞c富u滋l迹a突t雷e粒d喉c够u浸r绕v储eI趋n通t状e蛙n瘦s乏i榆t皂yC刘o乐n裕c行e番n躁t吵r凉a达t筛i珠o山n境.暂S虫RA恶l绍M席u召l风t值i健m颂a芝t谨r煮i伪c锅e均s枪C插a仍l写i旋b奏r霞a半t缺i兵o置nC品o禽n所s极t补a应n再tP召o承w两e辛rC语o秒n奔s呀t寻a袜n食tP吨r冠e伯s存s融u狼r巷eLECOC酿u弹/够A着l顾S豪t竿a特n坑d纹a扔r滔d全sA孟l哀S赌t袜a妇n思d元a杠r怎d恢sP绸u堵r早e槽F童e买a丢n男d满C燥u垃S稀t俱a华n腹d础a饼r依d贩sZ努n楚S搭t窄a迹n耐d暑a午r悲dC圈a辰l梨c友u柳l挑a屑t铅e择d箩c幻玉u丛r在v最eI超n计t姑e喉n玻s枕i逐t考yC颈o时n抛c录e贷n涌t鞠r既a威t姨i贪o医n急.帜S粒RA等l运M乳u漫l捧t铁i捎m府a前t聪r丙i好c袖e吗s咽C两a倦l稿i刚b绕r闲a缎t洗i终o难nC躺o娘n蔬s佛t晴a访n比tC钳o如n藏s喇t饶a认n敬tV藏o债l裳t按a炮g乏eC膨u跟r项r运e已n妈t直阳流鸽(D确C)G慰R衬I粱M包M型辉朴光情光唇源目哥前狂材姓料仔分锄析花应纲用辜朝海多策样译化印发沉展蜂,窜美呢国L赵E邀C结O公载司扫的G堵D郑S乡丰-灶8阻5岸0陵A荷/拔G桨D押S鸣5舟0秤0系零列节辉仇光踪蝶放冻电驼光叙谱草仪机提饺供夫直擦流裂(D体C)俭、锤射猪频惜(R映F)G节r气i绸m依m型居两岸种些光止源卸选滑择亩或做组洽合下,烘以箩适摔应虹不连同宣材杯料银的担分怀析怕要络求制。对乔于栽金勺属滨材幕料颤的主总福量旬分嘉析柿,钢达基继(祖低良、代高什合肤金茫钢乒等的)慰、恒铁增基芬(钢生亚铸牌、啄灰到铸沉、病球讽墨誉铸猛铁险等玻)尽、稼铝族基辩(签高尼硅湖组诸成僻等严)拿、倡铜委基极(献黄缩慧铜提、兆紫左铜突、垄铜繁铅标合究金揭等宜)拼、望镍萍基翠、搂钴策基粘、浩钛谦基屈、银钨冲基矩(蓄碳匙化沙钨伴等伶)俗、奸镁枕基幼、妹锌萄基屈、商粉家末及金仔属弄、胜低挥熔坏点尝金朗属乐等薯。直戴流厘(D蜻C)G格R需I具M阿M型辉佛光债光吩源金瘦属鞋材龙料莫的谣表闸面宣分早析煎(委尤快其宪是嗓镀吧锌蜡、冒镀张铝骡板地的配表朋面现分槐析菊)嘴,侧配衬置助直牢流岸(D近C)G涌r做i满m上m型僵光舱源煤,陶操极作区简乌单以、齐具崖有络成糕熟虾的锡欧托盟裙标撒准用(E害N咽1乞0丧3艺1夫8唉:真2歇0烤0膜2)薯,亩分缩慧析储结衫果弟可铃依里据增相浮应和的挑具耐体坛标振准赛进逼行纸结垦果俗比摩对的,错判啦定磁、貌指扎导洽生诞产竟质浑量月控残制喷具留有努实貌际蛮意蚀义项。直的流妖(D齐C)G贩r留i跨m柜m型清光刃源捐的臣其宣他果分抵析互应插用裹还慢有匙:金污属辣镀使层蚀(凳镀挪锡罚、找铬钩、鼠镍梨、膛铜德、烈镉盛等辣)表许面是热旗处塑理伙(客渗堂碳居、概渗循氮询、薯碳顾氮哲共慨渗烟等帖)表含面撤复现合夕铝御板P遮V险D、C夸V酸D、哗离炉子琴喷做涂攻、司单湖一昆或冬复暑合辫涂织层直沸流讨(D琴C)G炊R焦I狱M辨M型辉刊光耍光势源Depth(Micrometers)Weight%TiNAlOWCCCCoNCoBTiP例V亿D沃/碰C皱V隶D复膨合冶涂讯层-直绿流(麻D岂C瞧)光挥源直全流搞(D勺C)G虎R轰I焰M时M型辉峡光挤光元源近煤年趟来世国克外标正筛逐狱渐继开足展还纳然米生(n盟m)嫂级碧薄镇膜续和堡复具合才表答面涌层鸣的舰分晨析邀。直丸流岭(D芒C)G至r否i雹m影m型秩光矿源则由邪于只其桐可快快祖速韵稳料定岭辉的光摄等风离毅子唐体读的琴优蜡势智特述点龄,芝稳踢定朱时脊间机小牧于<裳2厌0毫裕秒诞,时可折进剃行2爹n议m薄钉膜咐的汉定底量封表魄面垫逐民层好分疮析深。直制流严(D亏C)G曾R垒I居M析M-甲不锣锈箭钢暑表胖层G送D腔-活O谈E筒S周:舍S纷w速e凡d徒i纪s状h守I示n氏s撤t蹲i景t捕u扬t浓e帆f正o谜r宣M窑e席t结a滥l乘s苗R蚕e眼s胀e皱a祝r扯c吗h泊S过a密m跨p缸l虫e紧:贼H京i仿g盯h盒P软u该r窄i过t辫y预,临C境o言l浆d淋-惧f控o刻r启m病e捎d喂s线t追a盗i粥n饰l政e季s家s宽s愿t延e腐e岸l昨P拖r庆o佛p撇r慎i壶e净t影a且r尿y睛c煮l肺e丈a讲n仪i编n靠g水a破n减d族p穗a泉s尤s志i隆v取a飞t诵i祸o枣n饭G肠W终A狱B列S采y麻n警e法c显t陕L持L器C瑞划典剧金挪属撞研部究矛院直雄流辱(D蝇C)G丢R跳I小M世M-小额于3叠n连m的疾复铜合汗表报层直漠流蜻(D掠C)G劈燕R进I票M太M型辉可光乎光瓣源1歪8暮0层辱碳穷化批硼余-杂钛吉复箱合毅层迅,悄每振层7牲n稳m厚直顺流粱(D工C)G仇R店I听M顶M型辉施光念光迎源2院5层耗氮灰化底钛副-代氮泥化脆铝岩复思合余层射胡频没(R悔F)G蜻R贱I浮M帝M型辉经光毙光迟源美伐国致力自可数公渣司G堤D耐S仁8害5粗0缸A的稼射贿频逮(R抄F)惑型G刚r饿i户m篮m光油源停的丘真姻实肃等查离看子犯体队功绣率斗(T彼P田P:T军u瓜r题e才P亩l忙a羽s秒m秆a哗P堵o阿w抵e段r)积专锋利巩设伟计痰,肆消城除怖了简射铲频给功塘率栋损提耗造的束各枯种昏因肉素舍,唐为符该冲类卡材筛料啦的袖准椅确泳定占量灯分徒析钢提巩供蛇了培保右证查。金腔属鞭材缘瑞料孕表服面模的弱有晋机税涂火层五、幼半尼导服体聋材线料性表煮面疤、摧玻逃璃辜、碰陶府瓷篇材睁料协的殖发茄展炉、颈有艰机锈镀拆层帖的诸应网用射由频假(R墨F)G捐R导I似M宋M型辉生光留光坐源美育国员力梯可宜公移司G锋D性S贷8蚂5侮0肺A的改射杯频山(R羞F)只型G凳r临i垮m心m光耀源袭的门真歌实正等纽奉离迁子血体徐功待率盖(T槐P狠P:T亩u拆r膝e戚P漫l状a绵s袍m陈a呜P佣o翠w煮e世r)伏专瓶利诱设冷计转,班消颤除赢了防射扶频扣功译率阶损逼耗届的搅各锻种讯因畅素策,夕为柔该舰类扒材乡丰料饥的受准蛾确民定松量诱分勉析呈提书供笔了屈保框证齐。金积属滩材杜料膊表煌面耳的见有安机子涂炒层兰、榜半凭导袖体堆材萝料材表葵面类、殊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