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多晶硅还原炉电气系统还原炉电源系统工作原理还原炉电源系统首先启动高压击穿电源，提供0〜12kV高压击穿硅芯；待硅芯击穿恒流加热数秒后，切换到维持电源，提供0〜4kV中压加热硅芯，继续提高炉温；维持电源加热数分钟后，切换到还原电源，提供0〜1.6kV对硅芯加热，此时完成启动过程；接下来完全由还原电源加热进行化学气相沉积，在长达一周多的时间里完成还原生长，形成多晶硅三柿多■I 真空岷原器Lpmr~s~i,I涎琴殛i三柿多■I 真空岷原器Lpmr~s~i,I涎琴殛i厂;黄压劲率间二I[lc栩Jj1 1j打压调压虹380VI r

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