电子陀螺仪原理与构造

MEMS陀螺仪传感器产业探究目录：一、MEMS陀螺仪市场现状2第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总2第二节、MEMS在我国的产业现状2二、MEMS陀螺仪介绍3第一节、什么是微机械（MEMS）？3第二节、微机械陀螺仪（MEMSgyroscope）的工作原理3第三节、微机械陀螺仪的结构4三、MEMS技术的加工工艺6第一节、体加工工艺6第二节、硅表面微机械加工技术7第三节、结合技术7第四节、逐次加工8第五节、LIGA工艺8第六节、THEMLA工艺流程9四、基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计9握第一冒节、凑ME罪MS歌陀螺扭仪信平号处盆理平布台的延硬件弯结构樱9回第二肝节、邀ME纱MS忘陀螺票仪信吵号处陪理平臭台系遥统任险务分诚析知10堆第三蔬节、侍ME富MS源信号棵处理归平台循软件肿设计驶方案膏11谦五、棕基于妇GP颂S悬的汽贿车导射航系粒统的纪设计忍与实稍现对12终第一陵节、勾主体溜控制密方案外12溉第二剖节、哲GP蝇S愈定位恒系统剖设计国13程第三搅节、雹车体轻部分瓣MC腐U哲主控撞模块喂设计匆14免第四堂节、宽系统踪软件仍设计知14庄一、扑ME沈MS哥陀螺吊仪市蔬场现剖状饶ME煤MS而陀螺方仪即蚂微机桨电系蜘统陀诱螺仪鸽，是优一种辨微型送传感轮器，贡主要徒用于匹诵及游斗戏机妹等领融域。邮与普返通芯漏片相梳比，星除计脏算功教能外代，此辩产品苍还具迫有感暂知功返能，六通过随内置铺的叛陀螺誉仪传统感器减可催以感芽知外吐界运鸡动，己并做油出相劫应反凑应。兆在具浑体应熊用上钥，M谦EM术S芯怀片可悟以用寇在消仇费类络电子录产品岂上，风比如行游戏织机中俊的动抢作控稍制；粗可以晨用在宫汽车决安全段领域味，在胞汽车附出现蔽紧急磨情况蜂时及物时作坦出反豪应；顿在军分事、四航海叹中，以陀螺扶仪被昌用来推导航配。艳此前夜全球喇针对辣消费晒电子厉产品另的尊陀螺忍仪厂甩商乳只有男意法偶半导面体（滩ST史）、驱飞思杂卡尔笑半导沉体（馒Fr摸ee姜sc欧al裁e）落两家拉，深蝇迪半船导体次（h停tt乓p:楼//烫ww妹w.回se团no槽di例a.畜co除m）碰成为朗第三杨家，舱打破拍了国共内众幸多消随费电狮子厂挑商陀耀螺仪弊全部涂依赖盈进口覆的局祖面。熊深迪筹半导薄体成符立于疾20票08燕年8其月，亿目前栽在国粥内还雅没有家竞争殊对手宿。猪根据患著名似市场情研究躁顾问廉机构狗Y递ol燥e负De稼ve蚊lo因pm痒en宏t净的最爪新预禽测，韵ME复MS肢陀宁螺仪爽、加例速度厘计和甘I诉MU斤的煎销售摄额在促20比13沟年将过达到既45愧亿美决元的岗规模愤，在解消费鄙类应般用市搂场的债年增漂长率篇达到邮了2玉7%竞，而好中国区未来位将是精消费稀类电累子、库汽车诵工业垄以及亏其产温业链逼的中佛心和饮全球绿最大雄的市源场。刘第一塔节、晒ME陈MS壮主要斑厂家塞产品差资料莲汇总之（嚷1）质In来ve谁nS榨en泰se俭：薯锄网侨上放赢出的弄目前犁只有丙2轴单的产涝品，呀加速禁度和垃陀螺节仪一掠体化燃，号傲称封误装尺植寸最进小。棉让2岭00播9年引，借玩助任项天堂温（日惰本最监著名摔的游仿戏制受作公觉司）懒的成数功，义In泥ve顶nS秀en府se兰在M懂EM颜S市萄场成令长速碌度位丑居第臂一。终（灾2）魄ST易：百ST戒的产歪品线馋比较脾长，各主打付3轴逃。陀症螺仪渡L举3G去系列陷和加档速度丸传感缎器L摆IS据属于或两个影不同口的系泄列。混（水3）姨EP倘SO乒N：微x,钻y2衡轴加尤速度拨传感毛器加拢单轴楚陀螺恩仪。末（驱4）梅飞思好卡尔不：蒜分的狡很细粘，根衰据加彻速度帆分成呀低/记中/涝高三棕类，板典型编应用角案例块是汽道车气闪囊。活没有造找到女陀螺蒜仪的纳介绍护。应搅该是委以工件业产我品为校主。剂（度5）朽村田醒（M书ur借at车a）学网上黄资料长很少林，最窑新的收也是劫20律09啦年5谦月的渔。提奏供2策款产辜品，困都是躁单轴蜂陀螺射仪。傍（防6）爪松下俘陪慌作为与20丘09填年M京EM晌S市驼场的株成长法速度症名列瞎第二步的松疗下，贩主要你面向胶车用美传感赢器市帮场。壶第二梅节、汇ME玩MS蚀在我再国的绒产业附现状等目前免国内善已有纳16盲88呆家企岩事业演从事笨传感拥器的小研制集、生蝇产和臣应用铺，其奏中从族事M缝EM的S研惹制生糟产的妙只有遍50捏多家忙，其载规模信和应业用领栏域都订较小伯。在晴国际遣市场吸上，插德国狐、日祸本、樱美国屋、俄睡罗斯互等老矩牌工宗业国瓣家的迹企业服主导骨了传削感器金市场很，许怪多厂携家的近生产者都实且现了桐规模宰化，株有些伶企业增的年矛生产京能力参达到协几千拔万只美甚至巡几亿泳只。晌相比污之下寨，中肉国传绿感器站的应处用范甘围较躲窄，很更多乔的应某用仍迹然停值留在是工业微测量江与控耽制等坦基础央应用垒领域供。起深迪清半导蜂体，肌发布秃了旗笨下第疤一款画陀螺漂仪产硬品以--把S唐SZ核03押0C扯G，凉这标竿志着我第一信款具司有中朱国自趟主知好识产榜权的劈商用阿父ME固MS轿陀省螺仪括诞生疑。往二、玩ME殿MS茄陀螺孔仪介秒绍封第一罢节、企什么办是微借机械口（M伐EM皇S）鱼？位微机软械M败EM蓄S是瞎英文矩Mi中cr筝o房El浩ec挤tr诞o想Me莲ch搬an滋ic蔽al盖s毁ys萄te怒ms产的缩库写，巩即微妙电子顷机械妄系统胃。微性电子犯机械郊系统泉(M蒜EM守S)愚技术股是建幕立在营微米针/纳掠米技元术（胃mi捞cr盖o/恶na欣no货te玉ch宪no示lo关gy坟）基析础上蹄的塘21达世纪竟前沿声技术姨，是远指对冲微米引/纳穷米材藏料进饰行设区计、喊加工歼、制竞造、郊测量滥和控冬制的稻技术护。它被可将治机械拢构件已、光顷学系蓬统、盈驱动典部件洽、电野控系史统集暂成为烂一个流整体姐单元奖的微棕型系颈统。敞这种扯微电缝子机黄械系微统不简仅能逮够采膜集、励处理遮与发肃送信占息或揭指令谷，还及能够碍按照胳所获灿取的消信息闻自主戴地或轰根据届外部叼的指渗令采妄取行鉴动。吗它用踪微电贝子技杂术和末微加映工技谈术(制包括薯硅体禾微加诉工、救硅表劈面微恰加工苗、L麦IG辨A和括晶片闲键合催等技暴术)演相结钟合的萝制造鸭工艺荷，制伯造出参各种伐性能州优异耀、价蹈格低样廉、搞微型评化的伶传感垫器、境执行赖器、呼驱动涌器和壳微系蔬统。贤微电拖子机筹械系杏统（椅ME怕MS食）是铃近年叮来发鹿展起提来的脱一种括新型抢多学骂科交叼叉的膜技术湾，该坡技术配将对颗未来赴人类倚生活框产生红革命顶性的淘影响梨。它速涉及姜机械刃、电浸子、掉化学采、物悬理、杂光学掏、生勉物、印材料弹等多惜学科让。遗第二茂节、弊微机股械陀要螺仪柳（M右EM历S锡gy击ro递sc叹op释e）渴的工纠作原课理妻传统渴的陀票螺仪雄主要汗是利痛用角榨动量凤守恒逝原理傻，因榨此它膀主要隐是一挑个不备停转萝动的赵物体虑，它堵的转渐轴指订向不挂随承幸载它证的支浇架的元旋转敬而变饶化。献但是绒微机宴械陀没螺仪悠的工阶作原胞理不全是这有样的录，因慨为要角用微数机械祝技术撤在硅奴片衬诚底上帜加工槽出一露个可望转动常的结浙构可除不是扒一件仪容易适的事顿。微剪机械慌陀螺槽仪利柴用科梁里奥谜利力瓦——竖旋转洁物体袭在有颂径向席运动字时所躬受到文的切泄向力旧。下敬面是球导出事科里懂奥利牌力的事方法叮。有政力学萝知识晨的读新者应友该不农难理穗解。睁在空炼间设弹立动映态坐幕标系贴。用施以下衫方程冶计算皂加速掏度可字以得愁到三到项，谎分别姜来自崇径向哥加速缎、科侦里奥轧利加盾速度臣和向属心加熊速度撤。证科里四奥利哲力腹动态葡坐标例系窝公式白推导村如果夜物体械在圆皆盘上遇没有乖径向堤运动抬，科辰里奥触利力侧就不瓦会产伙生。罪因此膛，在惠ME页MS竿陀螺嫂仪的株设计汉上，粉这个蒜物体绸被驱弟动，相不停粉地来宵回做谢径向帐运动刻或者骄震荡袄，与饱此对仇应的铃科里藏奥利件力就识是不搂停地度在横进向来跟回变着化，畜并有姻可能津使物样体在付横向禁作微病小震居荡，遮相位米正好汤与驱迎动力下差9捧0度颂。M乎EM尘S陀沃螺仪浑通常孕有两狼个方刃向的哥可移辆动电残容板斗。径烘向的裁电容酷板加棒震荡堤电压究迫使裳物体献作径挺向运摔动（费有点雁象加撤速度舍计中牧的自屯测试恭模式百），令横向胞的电案容板恋测量膏由于抄横向娇科里沃奥利俘运动跑带来晌的电生容变战化（丘就象侨加速午度计吴测量小加速故度）贸。因拣为科冶里奥椅利力祥正比玩于角绘速度纯，所救以由损电容牛的变聚化可杏以计讨算出认角速雄度。慢BO姐SC刃H

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