生产管理之坩埚生产工艺

feigeoer1、目的规范26吋及22S分体炭/炭坩埚生产过程，为生产人员提供技术指导。2、适用范围本工艺适用所有26吋及22S分体炭/炭坩埚。作业程序3.1.预计生产周期预沉积（1周期） 化学气相沉积（约2周期）粗机加浸渍碳化（约2周期）高温处理精机加表面涂层（约1周期）包装运输3.2.生产流程3.2.1预制体预制体采用日本东邦或东丽公司生产的T700系列12K碳纤维束织物网胎和碳布1：1交替铺层，Z向针刺成型。预制体经检验合格后，进行预沉积。若不合格的用专用芯模矫正，矫形后仍然不合格的，通知经营部处理，并填写《物料异常报告单》。按照《产品监视和测量管理程序》执行。3.2.2预沉积预沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装，用石墨芯模定型。装炉时，必须轻拿轻放且单个沉积室内中心轴线要一致。预定工艺参数：⑴升温制度①RT～940OC12h②940OC～940OC2h③940OC沉积50h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.7m3/h单个气路氮气流量：0.9m3/h⑶真空度≤-0.094Mpa检验项目：外观无碳黑结壳、密度（不作判定）、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于3mm,大于3mm需进行工艺判定)检验合格后转下道工序。3.2.3化学气相沉积1化学气相沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装,产品依次对齐摞起，产品之间垫两层碳毡。预定工艺参数：⑴升温制度①RT～940OC12h②940OC～940OC2h③940OC沉积200h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.8m3/h单个气路氮气流量：1.0m3/h⑶真空度≤-0.094Mpa检验项目：外观无碳黑结壳、密度不小于0.75g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于3mm,大于3mm需进行工艺判定）检验合格后转下道工序。3.2.4化学气相沉积2化学气相沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装,产品依次对齐摞起，产品之间垫两层碳毡。预定工艺参数：⑴升温制度①RT～940OC12h②940OC～940OC2h③940OC沉积200h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.8m3/h单个气路氮气流量：1.0m3/h⑶真空度≤-0.094Mpa检验项目：外观无碳黑结壳、密度不小于1.05g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于3mm,大于3mm需进行工艺判定）检验合格后转下道工序。3.2.5粗机加内型面和外型面加工至80%以上纤维清晰可见，保证机加时中心轴线和实际中心轴线吻合。检验合格后转下道工序。3.2.6浸渍碳化1使用糠酮FA-2树脂和工业级磷酸树脂体系浸渍增密，在碳化炉内碳化。浸渍预定工艺参数：浸渍罐升温制度：①RT～80OC1h②80OC～80OC1.5h③60OC2min④60OC～60OC3.5h⑤60OC～120OC1h⑥120OC～180OC2h⑦180OC～180OC2h（2）预热罐升温制度：①RT～180OC1h②180OC～180OC3h（20min搅拌一次，温度达到60OC约30min后开始对浸渍罐抽真空，真空度≤-0.097Mpa）（3）浸渍压力：2Mpa；固化压力：1Mpa。（4）浸渍剂:树脂：磷酸=100:7树脂量=71×=Kg（树脂具体重量由工艺人员根据实际情况进行计算）碳化预定工艺参数：（1）升温制度：①RT～600OC20h②600OC～980OC7.5h③980OC～980OC2h（2）N2流量：1m3/h检验项目：外观无树脂碳残渣、密度不小于1.45g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于1mm,大于1mm需进行工艺判定）检验合格后转下道工序。3.2.7浸渍碳化2使用糠酮FA-2树脂和工业级磷酸树脂体系浸渍增密，在碳化炉内碳化。浸渍预定工艺参数：浸渍罐升温制度：①RT～80OC1h②80OC～80OC1.5h③60OC2min④60OC～60OC3.5h⑤60OC～120OC1h⑥120OC～180OC2h⑦180OC～180OC2h预热罐升温制度：①RT～180OC1h②180OC～180OC3h（20min搅拌一次，温度达到60OC约30min后开始对浸渍罐抽真空，真空度≤-0.097Mpa）（3）浸渍压力：2Mpa；固化压力：1Mpa。（4）浸渍剂:树脂：磷酸=100:7树脂量=71×=Kg（树脂具体重量由工艺人员根据实际情况进行计算）碳化预定工艺参数：升温制度：①RT～600OC20h②600OC～980OC7.5h③980OC～980OC2h（2）N2流量：1m3/h检验项目：外观树脂碳残渣、密度不小于1.6g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于1mm,大于1mm需进行工艺判定）检验合格后转下道工序。3.2.8高温处理保证炉底平整，产品对齐摞起，内部可套装螺栓板材，所有产品中心轴线和设备中心轴线吻合。预定工艺参数：⑴升温制度:①RT～1200OC7h②1200OC～1200OC2h,温度升至1200OC后开始通入Ar。③1200OC～1600OC3.5h④1600OC～1600OC1h⑤1600OC～2000OC4h⑥2000OC～2000OC2h=7\*GB3⑦2000OC～2300OC3h=8\*GB3⑧2300OC～2300OC4h⑵气体流量：单个气路N2流量为1m3/h单个气路Ar流量为0.7m3/h（1200OC以上）检验项目：外观无树脂碳残渣、密度不小于1.60g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于1mm,大于1mm需工艺判定）。检验合格后转下道工序。3.2.9精机加按照成品图加工，严格按照成品图纸要求执行。检验项目：外观无碳黑结壳、无污染，密度不小于1.60g/cm3，所有外形尺寸均符合成品图纸要求。3.2.10表面涂层产品依次对齐摞起，产品之间用硬碳毡垫起。预定工艺参数：⑴升温制度①RT～960OC12h②960OC～960OC2h③960OC沉积80h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.3m3/h单个气路氮气流量：0.36m3/h⑶真空度≤-0.096Mpa检验项目：外观无碳黑结壳、无污染，密度不小于1.60g/cm3、所有外形尺寸均符合成品图纸要求。