材料与薄膜相关资料

第一章1真空度与压强的关系，粗，低，高，超高真空如何划分。托、大气压之间的关系答：压强越低意味着单位体积中气体分子数愈少，真空度愈高，反之真空度越低则压强就越高。粗真空：（1X105~1X102Pa）低真空（1X102~1X10-1Pa）高真空（1X10-1~1X10-6Pa）超高真空（<1X10-6Pa）1托＝1/760大气压2为气体临界温度。气体与蒸气区别、平均自由程、余弦散射定律答：气体临界温度：对于每种气体都有一个特定的温度．高于此温度时．气体无论如何压缩都不会液化，这个温度称为该气体的临界温度。气体与蒸气区别：温度高于临界温度的气态物质称气体，低于临界温度的气态物质称为蒸气平均自由程：每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为“自由程”，这是一个描述气体性质的微观参量，其统计平均值称为“平均自由程”。余弦散射定律：碰撞于固体表面的分子，它们飞离表面的方向与原入射方向无关．并按与表面法线方向所成角度θ的余弦进行分布。3简述旋片机械泵、扩散泵、分子泵原理及真空范围使用时是否需配前级泵答：旋片机械泵原理：通过悬片的转动将待抽真空的容器中的气体吸入并压缩排出机械泵，通过此原理不断循环，从而使容器达到真空。真空范围：1大气压——10-2pa不需要使用前级泵扩散泵：扩散泵是利用被抽气体向蒸气流扩散的现象来实现排起作用的。真空范围：1——10-6Pa需要前级泵分子泵：靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口，由前级泵抽走，而使被抽容器获得超高真空。真空范围：1——10-8Pa需要前级泵4简述热阻、热偶、热阴极电离真空计原理及测量原理网答：协热阻陡真空中计诵原理部：拍通过殃测量将热晚阻丝拍的电挺阻趴随温院度变孤化，兴建立阶电阻皇与压暂强的涨关系后，间攀接确混定压忌强，北从而亏实现忘对真围空的岭测量痰。挂铁1浴0顿4伸P参a碗——则10脖-2舟Pa高热偶宜真空撇计栏原理你：殿低压炼强下蓝气体很热传窝导与秩压强惊有关仇，用荡热电疲偶测赚量热塑丝温欣度，馆建立汽气体坛压强式与热啦偶电大动势球之间霉的关却系，依从而煤确定龙真空辣室压膏强。葵元窜灰10饺2够P旗a顿——低10践-1宴Pa封热阴困极磁电离拐真空翁计原眯理仇：电娃子在狂加速箭电场店中获骨得能置量，黎参与再气体使分子信碰撞律将发喇生电蝶离，淡产生辈正离哈子和怀次级乎电子抛，正菌离子抽数正隙比于气气体振密度瓜，坦即在匹一定燃温度朋下正俩比于辱气体曾压强怠，榆根据器离子根电流宪大小挤，来芒测压睛强。申拥余10刷-1饰Pa晋——搅10恨-6询Pa量5孔典型空止系统涉组成周是什才么？话何为念极限禽真空钥及抽南气速勉率迟答：凳典型灰真空拉系统趴组成滩：待否抽空荡的容花器盐(芝真空震室台)域、获纯得真俊空设丽备虏(更真空秆泵搁)础、测霞量真亩空的证器具越(钱真空副汁港)回以及丰必要私的管扩道、仗阀门坡和其绪他附殿属设苍备。倚极限贡真空雄：系臭统所忠能达衫到的臂最低量压强杆。粉抽气荒速率炒：在翼规定挺压强腔下单逼位时伯间所予抽出炊气体悉的体扬积。创第二醒章浮1牲、痒真空茎蒸发止系统且组成茧。镀讽膜基似本过杀程是单什么痛，何促为蒸耐发温迹度、错饱和跟蒸气辣压与里温度都关系宫、蒸快发速仍率与此何因潜子有快关。匙如何栏减小往蒸发蜘分子甚碰撞权几率矿答：映真空决蒸发瘦系统帝组成皮：胖1荷真空拒室悠2揪蒸发鸣源或株蒸发传加热坡器狠3若基板助4奏基板懂加热蒸器和舰测温兵器投镀膜养基本促过程还：冒1享加热锈蒸发焦过程展2肌气化醋原子忙或分脊子在赵蒸发艘源与爸基片鞋之间判的输衰运陡3油蒸发浆原子私或分舰子在千基片污表面蛋上淀序积过脖程经蒸发夸温度智：物壮质在帝饱和本蒸气催压为拆10心-2桑托掘时的而温度弃，叫椅该物哑质的勇蒸发技温度剖饱和屿蒸气主压与击温度酬关系荷：替物冻质的吵饱和课蒸汽信压随价温度攀的上孙升而怪增大减，在耳一定堤温度圈下，帜各种显物质缠的饱剧和蒸陆汽苍压不液相同稠，且剧具有客恒定收的数位值。诵克拉糖伯龙迟-克默劳修长斯方何程式魔：元蒸发引速率井因子模：羊蒸发雹速率碑除与惯蒸发猾物质赏的分屑子量头，绝映对温余度和施蒸发观物质仿在温锡度T陈时的障饱和余蒸汽鞋压外较，还腐与材餐料答表面辨清洁让度有构关。骑特别院是蒸奋发源玩温度走的变报化对特蒸发蚂速率围影响稍极大招。天如何凉减小甜蒸发些分子所碰撞讨几率灿：平并均自容由程仇比源绵——陆基距纹大得更多的带情况书下。储3宋简述唉点源虽、小垮平面幕源的捕蒸发世特点枯并比级较两算者相浓对厚截度分引布曲脑线。司两种坚点源核与基熄板相婶对位陵置如违何配盖置蝴P2生5冻-号27膀骆答：盯点源拥（点未蒸发劈源）渠：湿以相针同的隔蒸发把速率毛向各哄个方怖向蒸班发。壳小平咏面（震小平州面蒸脉发源孤）裙：具那有方芹向性除，遵除从余喂弦角冰度分制布规孩律胡厚度瑞曲线盟比较唯：两帖种源障在基造片上触所沉痰淀的长膜厚炼度，乏虽然载很近侍似，破但是率由于勾蒸发继源不住同，秒在给卫定蒸盆发料走，蒸锤发源蒸和几顽班距杀离的块情况质下，位平面己蒸发诱源的厚最大妻厚度礼可为鱼点蒸某发源旺的4钻倍左愤右。鹿对基践板位唱置配张置貌：都点源猎：厕为了挤获得燕均匀爱膜厚耗，言点源支必须才配置名在基沉板所棕围成脂的球滩状中纪心诵小平按面源甘：溜当小咬平面良蒸发奋源为栗球形耗工件绵架的解一部饿分时配，该程小平文面蒸帜发源千蒸发回时，纤在内伶球体秧表面峡上的秆膜度默分布习是均宗匀的惹。钳4倡何为性电阻厉加款热周蒸发著法。磁何为毯电子牺束蒸钞发法姓和优偿点文P3自5沿39绍4英2~锡47联答：展电阻忌加溉热烫蒸发寄法嚼：采粱用种钽姨、铜慧、钨拨等高裤熔点刃金属雹，做废成适忽当形粒状的己蒸发火源，歪其上弃装入古待蒸坑发材莲料料奸．让暗电流裙通过由．对无蒸发兰材料采进行茄直接纷加热裙蒸发兽，或揭者把貌待蒸凑发材歉料放嗽入嫌A1纠2膏O咬3兔，违Be虫O恰等坩内锅中赛进行毕间接洞加热变蒸发炮电子说束蒸型发法万:皆将蒸猾发材睡料放供入水浑冷铜翼坩锅弊中，碌直接指利用湾电子槐束加你热，稍使蒸勺发材肠料气梅化蒸醉发后歌凝结手在基岁板表以面成社膜悟优点萝：排（亮1渣）梁电子名束轰指击热显源的常束流感密度警高，后能获叙得远废比电酿阻加添热源宫更大托的能强量密衣度摊（谜2钢）浆由于占被蒸副发材箩料是刊置于没水冷忆坩锅歇内，疗因而其可避耐免容码器材功料的皆蒸发吸，以缓及容裁器材股料与拜蒸发圈材料斗之间痛的反槽应，跑这对鲜提高层镀膜袖的纯焰度极机为重查要述（革3贩）眠热量垃可直弱接加叫到蒸找发材先料的滴表面构，因姨而热党效率繁高。括热传跨导和快热辐符射的衔损失睛少蜜5斯为何碍合金味，化徐合物破蒸发鹊镀膜在时不欠易得奖到原留成分踏化学顽计量设比，盟简述市采用寸什么两方法质可得散原合告金化亦学计择量比却。荷原因阵：由供于各早成分堵的饱顺和蒸擦汽压麦不同保，使急得其研蒸发语速率穿也不脑同，宜会发毛生分岔解和界分馏例从而钉引起衡薄膜灭成分溜的偏精离丽合金娃：可咐采用避瞬间猾蒸发搂法和粒双源农或多射源蒸捕发法沿瞬间重蒸发眯法：耗将细遇小的令合金乖颗粒季，逐房次送乎到非奇常炽谊热的须蒸发醒器或亏坩埚举中，总使一蜘个一府个的够颗粒惭实现估瞬间忌完全暗蒸发拣。妹双源宽或多诵源蒸母发法编：将锋要形伞成合密金的项每一柱个部臂分，积分别泊装入理各自府的蒸施发源纠中，毙然后耽独立涨地控裙制各抗蒸发闷源的提蒸发束速率聪，使导到达疾基板当的各驱种原赢子与免所需终合金找薄膜便的组章成相衣对应狸。停化合挽物稍：可晓采用匠反应背蒸发煌法，啦电阻送加热阳法，缴双源猎或多让源蒸责发法这6街分子铺束外牌延镀画膜法悟原理饺及特等点蔑P4公6恩答：见原理腿：它老是在瓦超高槐真空烘条件兔下，虹将薄慢膜诸葵组分黄元素壤的分磁子束敌流，缎直接既喷到逆衬底赏表面徒，从坟而在幼其上鸟形成股外延皆层昏的技雷术剃。兼特点渣：割（1泥）M霉BE劲虽然绳一是师一个顶以气际体分焰子论匙为基妥础的构蒸发苹过程省，但蓄它并钢不是苦以蒸广发温僵度为关控制嘉参数胀，而堡是以雾系统珍中的延四级帐质谱乡仪，喇原子伙吸收能光谱鬼等近终代分狱析仪英器，摄精密挑地监裕控分遭子束嗽的种友类和胜强度疲，从得而严盗格控标制生蛮长过遭程与赔生长蹦速率困。（撤2）瓣MB叶E是奇一个杂超高位真空净的物岁理电堵极过末程，些既不稍需要削考虑陕中间丈化学赏反应伍，又胁不受朗质量品传输耻的影黎响，嘱并且皂利用秃快门绑可对叶生长坐和中根断进寒行瞬抹时控供制。钳（3桨）M立BE逃沉底劫温度谈低，停因此哀降低锻了界建面上嗓热膨锡胀引证入的斑晶格阶失陪喉效应下和沉币底杂被质对束外延色层的晓自掺键杂扩欠散影鬼响。努（4尸）M解BE葱是一抵个动盐力学绒过程撕。瓶（5逝）M谅BE苍生长乞速率游低，猴有利徐于实寒现精叶确控咸制厚凡度，咸结构盐与成肠分和茶形成幕陡峭夏抑制伍结等刻。住也MB问E适陈合生苦长超饼晶格书材料竿。（态6）昌MB万E在锦超高遥真空枣环境赖中进贝行的递而且窄衬底轿和分她子束扑源相修隔较设远，森因此池可用彼多种也表面乖分析狭仪器否实时灰观察抬生长荣面上甚的成沃分，狮结构牺及生押长过腰程。柴7别简述福石英碑晶体习法与祥等厚扇干涉椒法测异膜原兄理犹P5种8雀答：宿石英尿晶体但法除：消这是膨一种视利用躁改变最石英塘品体闯电极胃的微野小厚莫度．跌来调卷整坦晶体朗振荡链器的北固有牢振荡围颁率粗的览方法洲。帅利用诱这一河原理蔑，在权石英郊晶片民电极副上淀秋积薄苹膜，薄然后李测其用固有衣频率献的变鞭化就踏可求贸出质福量膜嘱厚屡。合等厚汤干涉照法测尾膜草：如参果在京楔形吧薄膜臂上产配生单适色干城涉光扶，在戴一定孤厚度捕下就螺能满酿足最茅大和觉最小鼻的干坑涉条厦件。惨因此负，能曾观察欺到明奖暗相计间的暮平行读条纹余。如血果厚钩度不纯规则庭．则眯干涉保条纹槽也呈微现不岔规则姥的形叫状。萄第三梦章斥1夸简述狮二级比溅射姻、偏够压溅途射、概三级蔽溅射士、射共频、姐磁控散、离灰子束嗽，反盾应原苗理及逆特点环答：咏二级贩溅射允：原庸理：联被溅岛射的炼靶（谨阴极若）和文成膜错的羁堡绊及进其固叙定架灰（阳史极）稼构成削了溅柄射装次置的景两个闸极。间工作泳时，段先将矛真空赔室预卸抽到厅高真指空情(罩如饱10税-3环Pa场)财，然乏后．练通入之氩气母使真莲空室秃内压密力维遵持在宗l谣一令10盖Pa裂时，话接通歇电源扇使在舰阴极共和阳娘极间矩产生玩异常植辉光麦放电沉，并料建立哪起等根离子锁区，登其中极带正文电的鸭氩离跨子受鄙到电所场加欧速而托轰击铸阴极赚靶。轧从而握使靶盒材产床生溅抱射。摇特点竖：构怠造筒愿单，脖在大完面积吹基板绸上可嘴制取场均匀棚薄膜杜。蠢偏压效溅射皮：原预理：继在基执片上逐施加汁以固编定直外流偏称压，毁若施赢加的君是负傲偏压眉，则进在薄伐膜电胀极过续程中快，基凉片表幕面都驾将受棚到气润体离唯子的除稳定佩轰击腥，随烛时清牌除可符能进础入薄执膜表映面的框气体拥，有塑利于咽提高抄薄膜简纯度抽。并螺且也奋可除展掉粘撤附力咬弱的长淀积酷粒子到，加绪之在画淀积炸之前靠可对考基片边进行梳轰击露清洗换，使唤表面锐净化赢，从爷而提另高了镇薄膜柔的附漆着力棋。犹特点片：镀陡膜过观程中粪同时蚊清除腔基片悄上轻巨质量发的带族电粒丛子，故从而顿使基继板中芝不含模有不简纯气究体裁(钞残余突H2柱O民、阁N2筐等乖)内三级嫁溅射鸭：在葬二级责溅射米基础首上，肝在真衬空室绕内附拖加一激个热塔阴极名，由糕它发史射电骆子并察和阳历极产邪生等胜离子肌体。劈同时票使靶于相对梯于该叛等离抬子体亿为负惭电位仓，用槐等离聪子体颗中的竞正离投子轰责击靶必材而篮进行哥溅射镇。钥特点突：可摩实现迁低气皆压、歼低电杜压溅祖射，贝可独绒立控惩制放斑电电雹流和获袭击律靶的羡离于群能量君。可其控制开靶电贩流．著也可苏进行须射频陶溅射便射频概溅射姿：在捡靶上策施加威射频泻电压祖，当松溅射酷靶处巩于上葡半周伙时．匀由于永电子甩的质现量比顽离子京的质猜量小翼得多市．故笨其迁丛移率杏很高椅仅用胖很短领时间策就可启以飞破向靶索面，爷中和轮其表椒面积续累的污正电膀荷，廊从面度实现河对绝钱缘材差科的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