等离子体清洗

镀膜工艺及相关理论一抛光工艺：1抛光理论：机械磨削理论，化学作用理论和流变理论。作为抛光所需要达到的效果，它能把玻璃和其他材料表面凸出的部分被切削掉，并通过摩擦生热，水解过程等作用抚平凹陷的部分，是抛光尺寸减少。2抛光材料：氧化铈，氧化铁等3处理结果：0.1mm基底的损耗（高耗），2/3*0.1mm（低耗）4检验标准：牛顿环显示一组同心等距的同心圆光洁度：擦净6倍放大镜后灯光下检测，无划痕，5级光洁度，无麻点。光圈N=15，AN^5外表面无霉，水迹外表面直径Re125.076不允许有膜层5工艺流程：上盘抛光一一抛光一一冷却下盘一一航空油去除保护漆二镀膜工艺1真空预抽 1*10-1Pa离子轰击电流80ma轰击时间20分钟高抽W1*10-3Pa加温280±5°C2流程罩体装入夹具，安装镀膜机内开启转动系统，检查转动是否平稳抽真空，镀膜加温250C，保持15分钟镀膜结束，待温度下降到30C，取下三等离子体清洗1定义：等离子体是物质的一种存在状态，主要有处于高速运动状态的电子，处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反应的分子、原子等组成，但物质在总体上仍保持电中性状态。2如何人工制备电弧放电，辉光放电激光火焰或者冲击等；如在高频电场中处于低气压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子在辉光放电的情况下，可以分解出加速运动的原子和分子；3等离子体与物体表面的作用处于激发状态的自由基具有较高的能量，易于物体表面分子结合是会形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很可能发生分解反应，在编程较小分子同时生成新的自由基，最后分解成水，二氧化碳之类的简单分子。另一些情况下自由基与物体法表面分子结合的同时，会释放出大量的结合能，这种能量有成为引发新的表面反应推动力，从而引发物体表面的物质发生化学反应而被去除。电子对物体表面的撞击作用，可促使媳妇在物体表面的气体分子发生分解和解析，同时大量的电子撞击有力引发化学反应。带正电荷的阳离子有加速冲向带负电荷表面的的倾向，此时是物体表面获得相当大的动能，足以撞击去除表面附着的颗粒性物质，同时离子的冲击作用可极大的错金物体表面化学反应发生的机率。紫外线最有极强的光能，可使附着在物体表面物质的分子键发生断离而分解，而且具有很强的穿透能力，可透过物体的表面很深入达数微米而产生作用。综上所述，等离子清洗是利用等离子体内的各种具有高能量的物质和活化作用将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除，使膜品质高优化。充分发挥化学键结合和过渡、界面层理论，可以在各种基体上实现薄膜的超薄、致密、无针孔、均匀、结合强度高的薄膜4等离子体清洗设备一般装置可有真空室、真空泵、高频电源、电极、气体倒入系统、共建传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵使旋转油泵，高频电源通常用13.56MHZ的无线电波。过程如下：被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排起，使真空室内真空成都达到10Pa左右的标准真空度。耗时2〜3min.向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100Pa。根据清洗材质的不同分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，并使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件，开始清洗作业。持续约几十秒到几分钟。清洗完毕后切断高频电压并使气体和气化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压。摘自《电子工业专用设备》5设备参考北京五洲东方 参考价位30万四超声波清洗一超声波清洗原理超声波清洗属物理清洗，把清洗液放入槽内，在槽内作用超声波。由于超声波与声波一样是一种疏密的振动波，在传播过程中，介质的压力作交替变化。在负压区域，液体中产生撕裂的力，并形成真空的气泡。当声压达到一定值时，气泡迅速增长，在正压区域气泡由于受到压力挤破灭、闭合。此时，液体间相互碰撞产生强大的冲击波。虽然位移、速度都非常小，但加速度却非常大，局部压力可达几千个大气压，这就是所谓的空化效应。二影响清洗效果的几个因素1、 与频率的关系：一般频率越低空化效果越明显，但噪音相对较高，适用于物体面相对平正的物体。频率越高，空化效果越差，但噪音相对较低，适用于微孔盲孔效多的物体及电子晶体等。2、 与温度有关：一般30°C—50。的介质温度清洗效果最好。3、 与声强有关：根据频率不同，声强一般选在1—2w/cm2左右。4、 与清洗液有关：一般来说，清洗液的粘度越低含气量越高，清洗效果越好。5、 与清洗液的深度及被清洗物的位置有关。三超声波清洗在各种领域的应用由于超声波清洗本身具有其它物理清洗或化学清洗无可比拟的优越性，因此广泛应用于服务业、电子业、医药业、实验室、机械业、硬质合金业、化学工业等诸多领域。四设备参考天津奥特赛恩斯仪器有限公司AS系列超声波清洗器，功率从60W至2500W，容量由2升至160升，超声频率有20KHZ、40KHZ、60KHZ三种频率。五椭偏仪1优点精确的膜厚测量，范围从几十埃至几十个微米可测量单层薄膜和多层复杂结构的膜系复杂材料，递变及各向异性膜系的全光谱（远紫外