微电子洁净厂房运行与管理

微电子洁净厂房运行与管理2007年2月华卫群中国电子科技集团公司第五十八研究所微电子洁净厂房运行与管理

洁净厂房相关一般概念

工程建设与高质量的安装工程

洁净厂房管理及运行微电子技术的重要性和发展趋势目前、微电子工业的发展水平已成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志！自1958年世界上第一块集成电路问世以来，特别是近20年来，几乎每隔2~3年就有一代产品问世。我国的微电子行业的发展，近年也投入了大量的人力、物力、财力，先后建成多家有实力的公司。洁净厂房的一般概念常识气闸室、传递箱

7洁净区2人身净化用室

、物料净化用室3单向流、非单向流

6洁净度

5洁净室1悬浮粒子、粒径4净化厂房的“三态”

8洁净室---CLEANROOM空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

洁净区---Clean

zone空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

人身净化、物料净化用室人身净化用室—Roomforcleaninghumanbody洁净室工作人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。物料净化用室—Roomforcleaningmaterial

物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

悬浮粒子、粒径悬浮粒子—Airborneparticals用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在０.1um~5um的固体和液体粒子。粒径

–Particalsize

由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体半径。对离散粒子计数、光散射仪，采用当量光学直径。洁净度--Cleanliness按单位容积空气中某种粒子的数量来区分的洁净程度。单向流、非单向流单向流---Unidirectionalflow沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。非单向流—non-nidirectionalflow凡不符合单向流定义的气流。气闸室、传递箱气闸室—Airlock沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。传递箱—Passbox在洁净室隔墙上设置的传递另部件或小设备的开口,两侧装有不能同时开启的门扇并可设气闸。洁净厂房“三态”空态：asbuilt设施已建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。静态：atrest设施已建成，生产设备已经安装，并按用户及供应商同意的状态运行，但无人员。动态：operational设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。洁净厂房管理与运行随着我国电子工业的飞速发展、特别是微电子工业以及产品的供过于求，各项产品的竞争日趋激烈，打赢这场竞争的关键是产品的质量和价格。生产环境的洁净度水平是电子产品生产的前提条件，而厂房各项设施的低成本运行则是产品价格的基础。

洁净厂房管理与运行

洁净厂房的一般设计原则2洁净厂房的运行管理重点3洁净厂房的运行管理体会5洁净厂房的系统组成

1洁净厂房的节能改造及措施41、洁净厂房的系统组成。风机(Fan)：空气调节处理机组：过滤器(Filter)：自动控制系统(BA)：环境参数监控仪器仪表：2、洁净厂房的一般设计原则位置选择及平面布置：含尘低、无有害气体、远离铁路等，最大频率风向上风侧。工艺平面布置应合理、紧凑：只布置必要的工艺设备以及工序和工作室噪声的合理控制：洁净室必须≤65dB(A),维护结构良好隔声性能、采用低噪声产品、风管风速宜按规定选用。微震控制：建筑要求：1、建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。2、围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少尘等要求。3、管线需暗敷时，应设置技术竖井、技术夹道。2、洁班净厂虹房的横一般杀设计甲原则空气败净化研的一茶般设公计规哀定：1、空有气洁斧净度枪等级兆应满粉足工医艺的攻要求俗。2、不模同洁糊净度铺级别汁选用蔽不同夸气流雕流型艇。3、温肝度、匹湿度蚂宜根女据工挎艺要秧求合趁理确丸定。4、选专用高赛效真帖空吸奖尘器轿或集拐中式未真空骆吸尘惰系统域。5、压床差控鲜制应福不小遍于5P棚a。6、根搜据洁明净度垄要求恒合理鼓选用中空气雾处理代用过毅滤器略，2、洁义净厂攻房的梁一般但设计者原则给水弹排水氧一般净原则杯：1、给统排水垮干管街应敷折设在眉技术泛夹道雪或技句术夹旷层内耐。2、可乏能结蝴露的饺管道激应采浸取防吉护措境施。3、管浊道穿绪越墙给壁、醉楼板摸和吊侨顶时惊应设涌套管垂，并捞可靠享密封赏。4、超滑纯水误、冷顿却循扣环水校、自崖来水维等。5、排凳水系教统应扶根据放工艺串设备劲排出能的废蒸水性轧质、妹浓度厅和水种量等壁条件楼分别寨设置肥、达角标排辜放。2、洁植净厂筑房的并一般成设计杰原则气体发管路迅的一足般规婆定：1、气策体管桌道的述布置显干管根应敷方设在蹦上、追下技析术夹捷层或涉技术定夹道奋内宜土与水浓、电扑管线针共架信，并被应设赠在其预上部拾。2、高野纯气拉体管弊道应攻按流纹量、予压力卵或生演产需盲要确旦定管射径，舅最小流不宜最小于带∮6×欲1m梢m。3、穿涌越楼绿板或傲墙壁杰处不历应有糖焊缝缴。4、入哗口控锅制阀夏门、威过滤互器、此减压携装置船、压得力表乘、流主量计薄等宜盐集中总设置天在入命口室军。2、洁红净厂庄房的牌一般秧设计越原则5、管钳道材妄料和淹阀门坚的选凉用应剧满足干生产析工艺对对气高体纯杆度、巨露点臂的要稍求和处使用显特点泛。6、气夹体纯桂度≧99宋.9瓜99蹄%、露铸点＜-7涉6℃，应妨选用摸电化弓学抛葵光管卵（31君6L或30才4），帐隔膜分阀或缴波纹险管阀卵；纯宰度≧99秘.9昏9%、露卸点＜-6展0℃，应需选用括电化算学抛指光管炉（30捆4），雄阀门练可用藏球阀辣。7、管老道连德接除付镀锌落管外肯，应炮采用齿氩弧暖焊接秃，采些用对绍焊或财承插酒焊接修。8、阀肆门与愈管道软连接降密封迹材料乱宜采师用金屑属垫持或聚锤四氟裁乙烯瞎垫。3、洁桨净厂顽房的低运行拿管理笼重点厂房馋运行气安全辨：1、送扰、排受风系蚂统。2、特良气管秧路的拳监控呜及报扬警。3、各箱种压馅力管柱道的期定期痛巡视智。4、洁膀净室缸的温盲度、击湿度朽、洁沟净度滚和正瘦压的沈控制饲。设施闭稳定湾运行:定期词巡视谎，定语期保坊养，狼定期铲整固晨。高效络、低丘耗运铃行：恳根据胃现场您情况果和设背备工凶艺需群求制周定和次实施做节能威改造馅。4、洁找净厂港房的麦节能晒改造拾及措因施能源姨是国垮家建巷设、虹人们晒生活杠中必网不可畅少的璃，而党能源低利用场率是苏一个功国家损科技辽水平河的一爱个象估征，粮开甩发新境能源船，提侄高能先源的迟利用菠率是惹为保术证经绒济发悔展的坐首要伯任务言。中涌央空店调它敢是以执消耗裙电能模为动浙力，眼为人久们提话供舒浆适的眼工作恩环境身和生勒活环公境，驳但是流中央铸空调带耗电浪量在离整个犁单位旧平均拦占用层电量浑的40％装以上外，所钳以对月中央挽空调恐进行若节能报设计有与节爆能改峰造，尚对节弃约能龟源是雨十分酸重要嫩的。4、洁镜净厂税房的勒节能沙改造燥及措循施中央间空调块由制绣冷主族机、振冷却柜水泵杯机组肾、冷葵冻泵控机组劈燕等几或个部焦分组佣成，罚其作蛙用就诉是制别冷、甚热交循换为衬空调早室提躬供冷论空气努及新仓鲜空田气。对于呈中央药空调火来说经，按照照国盏家标廉准，确系统渗的最羡大负稿载能承力是润按照鸣气温于最高畏，负吊荷最的大的嘴工作国环境茂来设屿计的贫，就笼系统杰本身笋来说姻，存糠在着美很大对的储煌备空杨间，赢而实够际上穿系统众又很窄少在欲这些晴极限宣条件通下工戏作。根据染有关炼资料喜统计旗，中勺央空四调设狠备97蒙%的时齐间在70暂%负荷僻以下哪波动羽运行筐，所健以实责际负躺荷总宅不能必达到绞满负药荷（蒙即通享常所砌说的欲‘大坊马拉牢小车'）；挤特别逃是冷或气需支求量正较少鲁的情秧况下消，主川机负宋荷量使低。4、洁检净厂掀房的川节能菊改造其及措稍施节能季降耗树要体婚现合敏理使混用，忧保障低科研舞生产荣的基乔本需耀要。中央持空调历节能些的原披理、却方法听及节赠能的桂效果闻，重出点是跨变频鸭器在奖节能肉中的喇应用灭。对主秃机进绸行变套频控仙制，拢节能径效果口最佳姻。对冷液冻泵疑、冷烈却泵碎进行评变流魂量控扮制，持加装卧变频泊器后惠，节北能率掩可以死达到60领%，节棉能率慎最佳榜。4、洁华净厂问房的荡节能趣改造消及措环施送、醉排风绕风机腐工作较、值淡班变搂风量泊调节济。尽量短采用煤高效蒸、低蜘阻力眨末端田过滤肾器，么并且暂前级远保护臭过滤迹器配肾备适谨当。根据牺不同撑季节永，在毕保证征工艺泥要求详的前糕提下腐，适倒当调谱整房员间的阳温、差湿度元控制论指标齐。压差代控制受适当洽可以六降低湾标准2P起a左右赠。5、洁毙净厂案房的伞运行泰管理巷体会微电撤子行则业有执其显漆著的照特点低，在刻厂房慈的运交行管啦理方角面要胖求很凝高，洋必须滩保证采常年范连续及工作榜，持族续运有转，布任何足一次河短暂铺的停谊机都羞会带割来巨倾大的走损失划。运行贿、保第障的称压力探非常忙大。率机器词可以季人为译减少班故障妇率到才最少饰，但逼是不昌可能肯没有造故障菌发生抚，而浮且发弹生往套往是禾突如控其来香。树立施力争佳使设暮备故搅障率差最低哑的工级作思胖路。5、洁铺净厂珍房的漫运行序管理素体会加强剖现场率设备兵操作羊规程涨、应但急故渠障处次理的婆学习免和实鄙践。制定宴并且方严格速执行伙现场姓巡查退制度针。定期蓬做好沟设备漠的耗程件更滨换、晓保养秆，并辜做好阶设备鬼档案依维修找记录烛。工艺歇间定逆期进章行环肯境参排数测消试，片及时狐发现挺问题赚，及花时处筛理。落实存技术袜、维橡修人暗员快别速反耽应机妄制，冰现场取问题潜无论秩何时朝，必于须最胁短时添间到胶达并保着手崇处理工程扎建设失与高遭质量叶的安令装工堪程高质连量的厘建设借工程钱从蓝休图到熔工程修竣工帽，交民付使倍用，搅正常斥生产诞，都嫌离不色开高相质量悼的安志装做咏保证胞。前期液可行晃性研症究阶窗段开雨始，乖就要网做好究周密备的项成目进竖展计拘划和狂人员棋配备奔。工程吃安装皱阶段林，要璃成立板项目皆专案剑小组窗，落貌实施士工技姥术组钳织，宣协调耐网络截，专佛业施逐工方拘案。贤尽量纷花更趟多时赤间做泻好前碎期准熔备。工程用建设拣与高绳质量壁的安肃装工脾程对设简计图补纸上占的某崭些局馋部方茄案，膛不迷寨信，诵可以猾切实返依据悼现场免情况隙、安皇装使佛用的捕经验喂和使蔑用单偷位的准具体厌要求屿来提里出改主进意直见或耐建议滨，这负对建凭设单熔位来贺讲是点非常置值得进的。工程喉建设针与高裹质量零的安丢装工诵程安装己工程据施工遥中几贺点建挺议：1、清鸭洗工盘作不症够尼洁蜓净工怪程的碌施工题应在条建筑准施工逼基本泰完工,外门暴窗装悠好,地坪誉做好,吊架贱预留擦好,并且寺做了锈清扫备工作颤后才善能开交始。悲而且欠风管辨成型妥前必蚂须对幼板材灿进行丛清洗,去除影板面卡上的拆油污,风管序成型愁并揩扁试干纪净后镜再用剧吸尘奋器吸歼去浮首尘,然后蛾将风庭管的专开口枯处用麦塑料馒薄膜还包封徒好。掀有的小建设拳单位弟及施猛工单央位为嫁了赶熔进度,往往惊在条夹件未湖具备禁的情剩况下巾就开促始施宋工,还有斜的甚满至就酱干脆萌省去网了风俱管的判清洗麦工作,导致材风管向受污镰严重价。另代外,对高孩效过内滤器辫的安鸭装,施工桨规范栋中明厕确规桂定,必须冲在室饱内清医洁,系统层空吹12小以春上,然后侨再室辞内清鸽洁后午马上协安装问。然居而,在调赖试中文发现,有的概施工崭单位骡在室娃内很例脏,甚至朵空调归箱也貌很脏缝的情火况下,就安撇装了敌高效龟过滤懒器,这必俘将会遭降低陷高效吧过滤安器的俩使用功寿命洞。工程辞建设版与高亩质量昏的安紫装工渠程2、风槐管密辨封做渴得不插好鼠由兄于净举化空崖调系妙统的地特殊雁性,对风茂管严干密性罩和不缺易产眨尘有胆更高曾的要苹求。演净化鞋空调幼系统烟内因芝增加遵了三芹道过莫滤器,系统鸦的阻序力几马乎比乳一般慎空调灯系统甚的压炮头大违一倍,这就青导致里系统伐投入星运转突时，目风管污所经忘过的啄非洁统净区源中含奏尘浓绿度较挤高的唤空气炉就会抬渗入益系统叹而直灰接影角响室奶内洁称净度哨，因框此风的管的束严密枕性显陵得格吨外重缎要。罪风管友漏风敲主要攻存在艘于风落管咬宫口、箩法兰熄间和香法兰乓翻边挖处，包对这越些地南方如鼓不采碧取密送封措红施，挖漏风筹将相熄当严乡丰重。园调试买中发脂现，盈有些腹净化全系统谢机组疏总风铃管测厘得总铲风量乡丰与风泄口风尊量总杠和相病差很躬大，棕这主偶要就吗是由部于风对管漏读风引饼起的温，因权此施音工中拉务必税引起削重视跌，从躺而提蜜高施亿工质职量。工程适建设房诚与高姐质量值的安问装工雨程3、高盾效过弟滤器狂安装图不当钉高效臂过滤浅器是顺洁净竿空调孝系统估的主剃要设械备。越由于恰滤纸殿非常岩精细盆，易狱损坏桐，因扫此只强能在历安装乌现场愚安装棉时现简拆高颤效过络滤器链包装谊，应恨按说拐明书厘要求愤取出孟。高垄效过却滤器似安装位时，轿施工执人员盖除了递要避嫩免将项其损土伤外毫，还息要注腥意安垃装时步须将迫压紧梨螺栓致拧紧浸，而兵且施坊力要选均匀战