针对多晶硅项目洁净厂房通风空调施工技术总结

针对多晶硅项目洁净厂房施工技技术总结目录洁净技术的现状状及发展趋势势施工过程质量控控制要点洁净厂房给排水水管道安装洁净厂房通风空空调系统施工工围护结构施工技技术环氧自流坪施工工技术洁净厂房的系统统调试及综合合性能检测洁净技术的现状状及发展趋势势洁净室净化原理理洁净厂房内不允允许有存积灰灰尘的地方。净化程序气流流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→通风管道→高效过滤器→吹入房间→带走尘埃细细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化。重重复以上过程程，即可达到到净化目的。净化参数换气参数11000000≧15次，1000≧30次压差主主车间相邻房房间≧5Pa温度冬冬季﹥16℃±2℃夏季﹤26℃±2℃湿度445%～65%噪声≤65Dbb（A）新风补风量为总总风量的10%～30%洁净技术需要有有洁净厂房和和洁净设备来来支撑，洁净净室是洁净厂厂房的核心。洁净厂房是指生生产工艺有空空气洁净要求求的厂房。洁洁净厂房是一一个系统工程程，它由空调调机、供热、供供冷、送回风风管、过滤、自自控等系统组组成。洁净级级别要求高的的，还有风机机过滤单元（FFU）、局部层层流罩、墙板板、地面组成成。洁净技术的应用用领域主要应用领域：：电子、制药药、医疗、卫卫生、食品、化化妆品和军工工。中国电子信息产产业的高速发发展为洁净技技术在国内的的普及创造了了新机遇。蓬勃发展的中国国医药行业为为洁净行业拓拓宽了市场，GMP《药品生产产管理规范》是是药品生产的的质量保证，它它体现了对药药品生产的全全过程控制的的要求，对生生产中影响质质量的主要因因素提出了基基本控制要求求，产品的生生产质量是靠靠洁净技术来来保证的。医医疗卫生事业业的发展也要要求洁净手术术室的需求量量必须增加。洁净厂房的结构构材料净化厂房墙、顶顶板采用75mm厚的夹芯彩彩钢板制造，其其特点为美观观、刚性强。.圆弧墙角、门等等采用专用氧氧化铝型材制制造。地面采用环氧自自流坪，保证证洁净室洁净净度。送回风管采用热热镀锌钢板制制作。高效送风采用不不锈钢框架，美美观清洁；冲冲网板采用烤烤漆铝板，不不生锈、不产产尘、易清洁洁。洁净厂房发展趋趋势越来越多的工业业部门都必须须在洁净的环环境下实现某某些类型的生生产工艺，洁洁净技术的典典型应用开始始于化工，药药品生产，精精密机械制造造、光学、微微电子，现在在其它许多新新兴工业部门门应用，如微微系统技术、生生物技术、传传感器技术、仿仿生学，在所所有这些生产产领域，对产产品质量的要要求一直在增增加。对洁净净生产环境的的要求也是如如此，即使是是由各种不同同德因素造成成的最小污染染，也会导致致高比例的有有缺陷产品、废废品，因此，必必须将影响质质量的环境因因素降至最低低，保证优化化生产工艺成成本，同时使使合格产品的的产出达到最最大，废品最最少。洁净技术的发展展呈现如下明明显的趋势：：在已采用洁净室室技术的生产产中，各部分分对洁净技术术的要求在增增加。对越来越多的公公司、工业部部门和产品而而言，洁净厂厂房已成为其其一个组成部部分。洁净产品的生产产厂商将他们们对洁净度的的要求转移到到所有原材料料生产上，所所有供货商也也不得不采用用洁净生产技技术。技术要求的复杂杂性越来越高高，技术合作作应运而生。在技术保障中应应用洁净技术术。采用洁净厂房作作为生产技术术环境的质量量保障，已为为许多产品和和工艺所必须须的。质量越越来越成为高高技术产品竞竞争中的关键键因素，洁净净技术因此也也成为一项不不可缺的技术术。施工过程质量控控制要点施工质量控制的的主要方面重视施工工组织设计的的审查，重点审查风风管预制程序序及做法是否否符合施工规规范要求及工工程特点、洁洁净室细部做做法，空调机机安装实施方方案，初、中中、高效过滤滤器安装能否否保证洁净要要求，尤其是是高效过滤器器的安装程序序。其次就是是洁净厂房大大面积地坪施施工防裂措施施。施工过程质量控控制要点对进场材料设备备的验收程序序一定要严格格把关，这是是第一步；风风管材质要符符合设计要求求，对原材脱脱脂工序坚持持全检。地坪施工时防止止大面积地坪坪出现裂缝，导导致环氧自流流坪开裂，破破环洁净厂房房的洁净度及及美观。在大大面积回填夯夯实时严格保保证施工质量量，杜绝回填填质量失控。施施工时将新老老混凝土结构构层冲洗干净净，避免出现现局部空鼓、开开裂。风管预制主要注注意控制制作作环境、加工工储存的环境境和加工部件件的清洁及密密封。洁净厂房风管的的安装必须保保证有一个清清洁的环境，并并且在管道、电电气、风管及及土建施工必必须按照一个个合理的程序序进行施工，才才能保证风管管安装后的洁洁净性和严密密性。空调机组的试运运转要脱开风风管系统，漏漏风量测试。洁净室壁板除检检查平整度、垂垂直度外，主主要控制密封封状况，包括括门窗的密封封，水电气孔孔洞密封，以以及表面清洁洁要使用无脱脱落纤维织物物搽拭。交叉施工，主要要是自流坪施施工，洁净厂厂房一定要防防止施工过程程产生的二次次污染。自流流坪地面施工工，有对地坪坪打磨的工序序，要使用自自身带吸尘装装置的打磨机机。自流坪地地面面层施工工要掌握好时时机，做早了了交叉施工易易造成损伤。高效过滤器安装装。安装前风风管要先行吹吹扫，过滤器器必须进行检检漏试验，必必要时全面检检验，这是保保证洁净度的的关键工序。安安装过程要符符合规范要求求。施工过程中人员员流动、工器器具搬移和操操作人员着装装要实行严格格管制。第九九净化厂房地地面平整度要要求较高。FFU噪声是质量量控制的一个个难点，规范范规定房间噪噪音应小于等等于65分贝，主要要是要选好厂厂家，并重视视安装过程中中隔振措施。噪噪音过大操作作人员长时间间工作会造成成损伤。普通空调房间送送风口散流器器及回风口选选型也是重点点，质量差的的，风速大时时易引起振动动造成噪音。

净化厂房的风风管及各种管管线、桥架都都设置于技术术夹层内，由由于检查不便便，往往形成成死角，特别别要注意各种种管线的标高高，作业前先先进行图上复复核，然后实地复验验，以便及早发现管线线交叉打架。技术夹层及技术术夹道密封胶胶封闭，夹道道在封闭前将将杂物清理干干净。洁净厂房给排水水管道安装洁净厂房给排水水安装的一般般规定洁净厂房内的给给水及排水干干管应敷设在在夹层内，引引入洁净室的的支管应明敷敷。管道穿过结界室室吊顶时顶棚棚墙壁和楼板板处应设套管管，管道于夹夹套管之间采采用可靠的密密封措施。消防箱的安装与与洁净版施工工相互配合，才才能保证工期期，而且保证证消防箱安装装的美观，实实用。施工中的问题及及处理：管道的预留洞位位置被设备挡挡住及不合理理，需重新打打洞现场安装主管，避避免预制的管管道因不合适适而出现返工工的情况发生生。消防箱安装后，因因施工区域人人员复杂，造造成箱体损坏坏，部分箱体体生锈，进行行除锈刷油漆漆洁净厂房通风空空调系统施工工近年来，洁净空空调在科研、医医疗、高科技技产品生产、实实验室以及电电子产品、精精密仪器生产产领域的使用用已越来越广广泛。随着洁洁净空调使用用范围的不断断扩大，洁净净度的等级也也在提高。洁洁净空调系统统的技术要求求、施工质量量要求高，投投资大，一旦旦失败，无论论从财力、物物力、人力上上讲都会造成成浪费，因此此要搞好洁净净空调系统，除除完善的设计计图纸以外，还还要求高质量量高水平的施施工。洁净厂厂房广泛应用用于医药、食食品、生物工工程、电子、航航空、航天领领域。随着科科学技术的进进步、产品质质量的提高、电电子、航空、航航天产业对洁洁净厂房的需需求越来越多多，要求越来越高高。主要工艺流程及及主要操作要要点现场准备→→材料进场验验收→板材清洗→板材划线→裁剪下料→咬口成形→法兰铆接→风管对口堆堆放→风管安装前前擦洗→风管安装→现场安装后后保护。主要工序控制要要点现场准备净化风管的的制作，一般般可分为工厂厂集中制作和和施工现场制制作两种方式式。无论采取取那种预制方方式，制作场场地均要求封封闭、清洁，地地面为水泥地地面或铺设金金属钢板，面面积一般不小小于100mm2，且采光、照照明条件良好好，同时应有有足够的风管管堆放场所。大大群多晶硅项项目一期及一一期扩建均采采用在预制厂厂能制作风管管。材料进场检验净化系统风风管如采用镀镀锌钢板预制制时，镀锌层层为100号以上的经经检查镀锌板板表面应无明明显划痕和氧氧化、锈蚀斑斑点。板材表面清洗需要下料制制作风管的板板（卷）材，用用对材质表面面无损伤的清清洗液进行清清洗，去除材材质表面的油油污和积尘，用用清洁水清洗洗掉材质表面面的清洗液，并并用干净棉布布（纱）将水水液擦掉，待待其完全干燥燥后架空待用用。板材放样划线板材放样划划线时，要防防止损伤板材材表面，应使使用不生尘的的色笔划线，放放样前应考虑虑尽可能减少少风管的纵向向接缝，而且且风管横向不不得有接缝。对对在划线中无无法避免损坏坏板材表面的的，彩色涂层层钢板，应在在受损处涂环环氧树脂漆；；镀锌钢板，应应在受损处涂涂环氧锌黄漆漆进行保护。板材裁剪下料镀锌板裁剪剪下料时，尽尽可能采用机机械方法裁剪剪，这样可减减少对镀锌板板面的损伤。为为了能有效保保护板面，应应在剪板机台台面上铺一层层薄镀锌钢板板，这样可防防止板材下料料中推进拉出出磨损镀锌层层。空调洁净风管制制作采用机械械咬口，板材材的拼接采用用单咬口，矩矩形风管转角角采用联合角角。法兰铆接法兰与风管管铆接时，风风管应稍小于于法兰，且法法兰螺栓孔和和铆钉孔间距距不得大于100mmm，在排列法法兰螺栓孔时时矩形法兰尽尽可能四角设设有螺栓孔，这这样有利于安安装后连接紧紧密。法兰铆铆接后，风管管翻边要平整整，并紧贴法法兰平面，翻翻边的宽度应应≦7mm，且翻边处处的裂缝和法法兰与风管接接合部四角处处需涂抹密封封胶。外法兰兰与风管铆接接不得使用抽抽芯铆钉，应应使用镀锌铁铁铆钉。风管存放预制成形的风管管，暂不安装装，用塑料布布将各管口包包扎好，尽可可能按系统编编号在室内集集中堆放。在在室外堆放时时，风管下部部应放置垫木木，上部用彩彩条布进行遮遮盖风管，以以防雨、防风风沙及防暴晒晒。风管安装前清洗洗采购的钢板表面面涂有大量的的油脂，若不不清洗干净，则则会在运输、安安装及以后的的运行过程中中染尘，长期期使用过程中中可能导致一一次性的积尘尘飞扬，使过过滤器前的空空气含尘浓度度突然增大，这这对高效过滤滤器的使用很很不利，所以以必须对洁净净风管、静压压箱及系统部部件在安装前前应进行全面面清洗。清洗洗液应选用对对板材表面无无腐蚀，干燥燥后不产尘的的。清洗的目目的主要是除除尘和脱脂。除除尘可用清水水或纯水加中中性清洗剂，脱脱脂的方法可可用工业酒精精。现场采用用清水和工业业酒精清洗风风管清洗时先先用清洗液清清洗，然后用用清水清洗，最最后用干净白白布将水痕擦擦干，如暂时时不安装时，亦亦可自然风干干，但干燥后后需将风口封封闭好。用白白绸布检验。不不变色为合格格，合格以后后的风管立即即用塑料薄膜膜封口处理。用工业酒精清洗风管，清洗完的风管用塑料薄膜封口处理用工业酒精清洗风管，清洗完的风管用塑料薄膜封口处理风管及部件安装装（1）风管法兰兰连接处的垫垫料，应选择择不透气、不不产尘、弹性性好不易老化化的材料，采采用软橡胶板板等组成，垫垫料的厚度5～8mm，接头处应应加工成阶梯梯形或榫接，严严禁直接对接接。（2）洁净净室的送风采采用顶板送风风、底部回风风的方式。洁洁净风管安装装顺序:从主管根部部开始向前安安装，先安装装回风立管，在在安装水平风风管。技术夹夹层内风管在在地面组装后后，在未做保保温前应进行行漏光检查，根根据现场情况况可按内漏光光或外漏光检检查，在漏光光处需补密封封胶，直至无无漏光时方可可进行保温。（3）对于于等级较高的的净化系统的的送回风总管管和支干管，在在地面组对后后除做漏光检检查外，还应应做漏风量测测试。对于较较小的系统可可在风管安装装后测试，对对于较大的系系统尽可能在在地面分段组组装后进行，这这样便于发现现问题及时处处理。（4）洁净净风管的吊装装就位与普通通风管一样，所所使用的吊杆杆、横担、膨膨胀螺栓、保保温风管下部部垫木等符合合有关规范和和质量验收标标准。风管安装后的防防护风管安装后，对对暂不安装的的风管口、过过滤器口等敞敞口部位，要要及时用塑料料布妥善包扎扎，防止现场场灰尘进入已已清洗后的风风管内，从而而造成管内二二次污染。净化通风空调系系统风管的预预制与安装涉涉及过程较长长，环节较多多，所以无论论在哪个环节节控制不严，都都可能造成整整个系统洁净净度达不到设设计要求而返返工。通风、空调设备备安装本工程净化空调调系统采用“AHU+FFFU”，即组合式式空调机组和和风机过滤器器单元FFU是一种自带带动力、具有有过滤功效的的模块化的末末端送风装置置。FFU一般用于大大面积千级及及百级洁净区区域。原因是是在大面积区区域使用FFU，当某个设设备由于电机机、电路故障障无法正常工工作时，室内内仍可基本保保证洁净度，不不影响车间生生产。如果采采用洁净空调调机组，电机机坏了整个洁洁净厂房。所所以FFU适用与电子子类千级以上上连续生产洁洁净厂房使用用。由于FFU本本身只是通风风过滤设备，并并没有新风补补充及冷热源源，因此在使使用时必必须须由新风空调调机组供新风风。风管与FFU连连接时才有不不产尘材质的的柔性风管连连接。预先做做好尺寸准确确配接管，经经洁净处理验验收后封好两两端□，运到现场场启封安装，敞敞口时间不得得过长，并要要确保污物灰灰尘不侵入风风管或设备之之内。洁净厂房风淋室安装洁净厂房风淋室安装高效过滤器安装装①、高效过滤器器安装前必须须逐个检查，过过滤器滤纸应应无裂缝针孔孔及其他损坏坏(可用强光检检查)，其外型尺尺寸不允许超超过±1㎜，对角线线尺寸的误差差应不超过±1.5㎜。②、高效过滤器器必须待洁净净风管安装完完毕，并全面面洁扫、吹洗洗和试车达到到洁净要求，经经检查后立即即安装就位。③、过滤器与框框架之间密封封垫料应定位位粘贴在过滤滤器边框上，粘粘贴前先除净净过滤边框上上的污物。④、安装时应注注意外框上的的箭头要与气气流万向一致致，不得装反反，不得用头头、手或工具具等触摸滤纸纸，以防损坏坏。围护结构施工技技术围护结构采用775厚岩棉夹芯芯彩钢板壁板板，50厚夹芯彩钢钢顶板。总面面积约为6000平方，施工工依据为《洁洁净室施工及及验收规范》(JGJ771-90))。洁净板施工流程程彩钢夹芯板安装装材料进场洁洁净厂房构件件应按施工进进度计划要求求，运抵安装装现场，轻搬搬轻放，避免免划伤，并分分类整齐堆放放，严加保管管。测量放线严严格对照施工工图，现场测测定轴线，标标高尺寸，清清理安装现场场，准确放出出大样。壁板板安装前必须须严格放线，墙墙角应垂直交交接，防止累累积误差造成成壁板倾斜扭扭曲。壁板的的垂直度偏差差不大于0.2%。材料检验洁洁净室构配件件材料安装前前，严格检查查其规格性能能和完好程度度，不合格或或已损坏的构构配件材料严严禁安装。现场清理安安装现场必须须随时保持清清洁，无积尘尘，并在施土土过程中对零零部件和场地地随时清扫、擦擦净。结构连接在在施工安装时时，应首先进进行吊件、铆铆固件等主体体结构和楼面面、地面的连连接件的固定定。施工操作按施工程序和金金属壁板安装装工艺节点具具体要求进行行施工。地马槽与地坪的的连接必须牢牢固，不得松松动，用射钉钉间隔1000mm左右将将地马槽固定定在地面上。装装地马槽之间间的垂直连接接处应做好拼拼缝、拼角连连接或预留出出R球的位置。壁板与辟板连接接必须平整无无凹凸，缝隙隙均匀，注胶胶平整光滑。安安装时要用吊吊线锤控制壁壁板的垂直度度，安装好的的板材做好彼彼此之间的定定，以防止壁壁板整体倾倒倒。安装过程中不得得撕下壁板表表面塑料保护护膜，禁止撞撞击和踩踏板板面。壁板上固定密闭闭窗，窗框四四角铝合金处处理合缝、平平整，并且在在玻璃安装之之后用橡皮条条将玻璃压紧紧，还需将窗窗户上部和两两边橡皮条带带胶压实，以以防震动，橡橡皮条脱落。过滤器送风口、回回风口，在壁壁板安装时按按照设计图预预留孔要求预预留，避免施施工现场开孔孔对壁板结构构的破坏。根据设计要求，洁洁净区内壁板板与顶板相接接形成的各个个阴阳角均采采用铝合金圆圆弧型连接。密封胶应平直光光滑，不应有有间断、外露露、毛边等现现象。壁板安装同时要要配合好电工工，将接地扁扁铁与地面很很好接触，以以消除静电现现象。隐蔽验收在在净化室安装装的施工过程程中必须随时时清扫灰尘，对对掩蔽空间的的清扫应做好好清扫记录。成品保护加加强成品保护护教育，对已已安装的成品品或半成品严严加保护，防防止被污染及及损坏。严格格按顺序施工工，做到衔接接合理，避免免因返工造成成材料浪费、成成品受损。现场管理制制定净化区域域施工管理制制度，控制人人物流造成的的区域污染。509单元一楼硅芯炉处洁净板，通风管道施工完509单元一楼硅芯炉处洁净板，通风管道施工完环氧自流坪施工工技术环氧自流平采取取一道底漆，一一道中间层、一一道自流平面面漆的做法。施工准备基层检查及处理理基层检查包括混混凝土含水率率的测定、平平整度的测定定、强度的测测定。含水率测定及其其处理塑料薄膜法（AASTM42263）：把45cm××45cm塑料薄膜平平放在混凝土土表面，用胶胶带纸密封四四边16小时后，薄薄膜下出现水水珠或混凝土土表面变黑，说说明混凝土过过湿，不宜涂涂装。氯化钙测定法：：测定水分从从混凝土中逸逸出的速度，是是一种间接测测定混凝土含含水率的方法法。测定密封封容器中氯化化钙在72h后的增重，其其值应≤46.8gg/m2。混凝土含水率应应小于9%，否则应排排除水分后方方可进行涂装装。排除水分分的方法有以以下几种：通风：加强空气气循环，加速速空气流动，带带走水分，促促进混凝土中中水分进一步步挥发。加热：提高混凝凝土及空气的的温度，加快快混凝土中水水份迁移到表表层的速率，使使其迅速蒸发发，宜采用强强制空气加热热或辐射加热热。直接用火火源加热时生生成的燃烧产产物（包括水水），会提高高空气的雾点点温度，导致致水在混凝土土上凝结，不不宜采用。降低空气中的露露点温度：用用脱水减湿剂剂、除湿器或或引进室外空空气（引进室室外空气露点点低于混凝土土表面及上方方的温度）等等方法除去空空气中的水汽汽。采用工业吸尘机机进行地面的的吸尘，清除除表面的浮尘尘。采用高温火焰喷喷枪和溶剂清清洗的方式清清除表面的油油污。采用磨光机将表表面拉毛，尤尤其是玻璃条条的打磨处理理。环氧地面施工要要点地面清理，去除除地表面的松松动表层。环氧砂浆对地面面进行修补。底漆施工：根据据材料配比进进行配制，在在规定时间内内上涂。中涂施工：中涂涂施工比较关关键，将环氧氧色浆、固化化剂与适量混混合料径的石石英砂充分混混合搅拌均匀匀。中涂层固化化后用聚光灯灯进行地面检检查，发现不平整整时，打磨平平整，为面涂涂提供良好表表面。面涂施工：将环环氧色浆及固固化剂混合均均匀后，可镘镘涂、刷涂、辊辊涂或喷涂，使使其自流平，获获得平整均匀匀的表面涂层层。面漆施工12小时后方可可上人。施工验收：表面面平整光洁、色色彩一致、无无明显色差。施工面整体无缝缝、不起灰。产品不开裂、不不脱落、不起起皮，和基层层有良好的附附着力。产品表面无针眼眼、孔洞、旋旋涡等不良好好的现象。颜色均匀，光泽泽亮丽。产品表面硬化均均匀。自流平地板达到到产品说明书书所列的标准准。注意事项：避免免在低温高湿湿条件下施工工；双组份混混合后，应尽尽快在使用期期内用完；涂涂装完成后，应应充分保养后后，才能投入入使用；应根根据基材平整整度状况和使使用要求，确确定涂层厚度度。地面平整整度越差，应应采用越厚的的涂装系统，涂涂层载重越大大，涂层应越越厚，如涂层层过薄，使用用过程中易损损坏。后处理装置二楼硅芯炉处还氧自流坪施工完后处理装置二楼硅芯炉处还氧自流坪施工完洁净厂房的系统统调试及综合合性能检测为满满足甲方生产产工艺要求，达达到设计要求求的洁净度，对对洁净室进行行检测。检测测目的主要分分为两类，其其一是竣工验验收的检测，其其二是检查洁洁净室是否运运行正常的检检测。竣工验收检测在洁净室工程中中关于竣工验验收的检测分分两个阶段，即即竣工验收和和洁净室综合合性能检测。按按照《JGJ711-90洁净室施工工及验收规范范》中规定竣竣工验收需要要检测的项目目如下：通风机数量及转转速的检测风量测定及平衡衡室内静压检测及及调整自动调节系统的的联动运转高效过滤器的检检漏室内洁净度级别别总之，此时的检检测多重于调调整，而且可可能反复进行行多次。洁净室综合性能能评价检测是是在竣工验收收测定之后进进行，需建设设、设计、施施工单位均需需在现场配合合，检测均在在空态或静态态下进行的。具具体检测项目目如下：总送风量总总回风量新风量排风量洁净工作区的洁洁净度气压值室内温度湿湿度室内照度噪噪音主要检测项目分分析基本项目的重要要性：国标GB500073-20001中规定：洁洁净度、正压压、风速或风风量是三个基基本的必测项项目。洁净室需要密闭闭和维持正压压。作为洁净净室围护物的的密闭性是必必须的，而且且在洁净室内内必须维持正正压，也就是是说有不严密密处或开门时时，空气只能能由内往外流流，外界含尘尘空气不能向向洁净室内流流，很难保证证洁净度，所所以在系统调调试正确后，首首先检查正压压是否存在。通入洁净室的风风必须经过净净化，这是形形成洁净室的的最主要因素素。新风进入入洁净室需要要经过初效、中中效和高效三三级过滤，进进风基本不含含0.5um以上的粒子子。过滤器的的安装会发生生泄漏，过滤滤器在运输过过程中也会发发生不易察觉觉的损坏。所所以对过滤器器进行抽检是是必要的。净化空气必须换换