- 现行
- 正在执行有效
- 2015-04-30 颁布
- 2015-10-01 实施
文档简介
ICS7704030
H17..
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1060—2015
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的
测定气相色谱法
Determinationofotherchlorosilaneintrichlorosilaneforsiliconeqitaxy—
Gaschromatographicmethod
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T1060—2015
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC243)。
本标准起草单位中锗科技有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司昆明冶研新材料股份有限
:、、
公司
。
本标准主要起草人刘新军刘英杰郑华荣柯尊斌赵建为孔令群伍永胜张云晖杨红燕
:、、、、、、、、。
Ⅰ
YS/T1060—2015
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的
测定气相色谱法
1范围
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷包括二氯二氢硅四氯化硅含量的气相色谱测定
(、)
方法
。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷包括二氯二氢硅四氯化硅含量的测定测定下
(、)。
限为
0.002%。
2方法提要
三氯氢硅样品在惰性气体氮气或氩气保护下注入气相色谱仪各组分经色谱柱分离后用热导池
(),,
检测器检测用峰面积归一化法计算
,。
3试剂
31载气氢气体积分数
.,≥99.999%。
32惰性气体体积分数
.,≥99.999%。
4仪器
41气相色谱仪配有热导池检测器和相应的色谱工作站检测限为
.:(TCD),0.001%。
42色谱柱不锈钢填充柱固定液为规格为ϕ或其他等效色谱柱
.:,25%DC-550,3mm×2.5m,。
43微量注射器
.:10μL。
5干扰因素
51样品宜置于冰箱中冷冻保存防止样品挥发损失
.,。
52室内湿度应控制在以下防止环境湿度对样品的影响
.40%,。
53惰性气体操作箱内的空气应用干燥高纯惰性气体如氮气置换干净否则样品水解影响测试
.();,
结果
。
6分析步骤
警告移取三氯氢硅样品时要防止样品泄露建议在惰性气体保护下转移样品并佩戴好防护
:,。,
用品
。
61准备
.
按照仪器操作规程开启气相色谱仪并设定仪器工作参数待基线平稳后开始进样分析
温馨提示
- 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。
- 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本(可阅读打印),因数字商品的特殊性,一经售出,不提供退换货服务。
- 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致,所以下载的文档中可能包含空白页,非文档质量问题。
最新文档
- Muscle-homing-peptide-M12-生命科学试剂-MCE
- Listening I (21级 创新班)学习通超星期末考试答案章节答案2024年
- MitoE10-生命科学试剂-MCE
- 耳背墙工技术方案
- 活动方案之驾驶员岗前培训方案
- 设施选址课程设计日志
- 危险品押运合同模板(2篇)
- 沥青路面施工课程设计
- 劳务协议书(2篇)
- 一年级数学期末评价方案
- smt外发加工厂评估报告
- (完整版)俄语动词命令式的构成及用法
- GB/Z 43281-2023即时检验(POCT)设备监督员和操作员指南
- (完整)痔疮手术知情同意书
- 古典诗词之词律课件
- 物流企业运营管理第五章 物流企业业务模式
- 手术麻醉科腰椎穿刺术考核试题
- 大陈岛垦荒精神介绍
- 写作与沟通智慧树知到课后章节答案2023年下杭州师范大学
- 农村原民办代课教师教龄补助申请表
- 临边作业安全防护课件
评论
0/150
提交评论