• 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-07-21 颁布
  • 2021-02-01 实施
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T38866—2020

电子工业用二氯硅烷

Dichlorosilaneforelectronicindustry

2020-07-21发布2021-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T38866—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位湖北晶星科技股份有限公司湖北省标准化与质量研究院洛阳中硅高科技有限

:、、

公司唐山三孚电子材料有限公司湖北光谷标准创新科技有限公司广东华特气体股份有限公司浙江

、、、、

西亚特电子材料有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司上海市计量测试

、、、

技术研究院联雄投资上海有限公司随州市信息与标准化所达州市质量技术监督检验测试中心西

、()、、、

南化工研究设计院有限公司

。

本标准主要起草人丰雷叶家爱龚瑞杨剑刘畅万烨张园园王春英戴帅谢秋琪袁乐

:、、、、、、、、、、、

傅铸红禹金龙杨利于青玉方华曹作斌曲庆陈鹰李春华黄辉谭鹏程邓远方周鹏云李威

、、、、、、、、、、、、、、

方艾黎谭依玲

、。

Ⅰ

GB/T38866—2020

电子工业用二氯硅烷

1范围

本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求检验规则试验方法标志包装运输储存及安全

、、、、、、

的要求

。

本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T602

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

氩

GB/T4842

钢质无缝气瓶

GB/T5099

气瓶颜色标志

GB/T7144

气体中一氧化碳二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

GB/T8984、

电子级水

GB/T11446.1—2013

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

不锈钢焊接气瓶

GB/T32566

电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T34972

气瓶安全技术监察规程

TSGR0006

危险化学品安全管理条例年月日中华人民共和国国务院令第号公布年月

(2002126344,20112

日国务院第次常务会议修订通过

16144)

特种设备安全监察条例版中华人民共和国国务院令第号

(2009,549)

3技术要求

二氯硅烷的技术要求应符合表的规定

1。

表1技术要求

项目名称指标

二氯硅烷纯度体积分数-2

(SiH2Cl2)()/10

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