标准解读

《GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》是一项国家标准，旨在规定使用电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）技术对电子工业中使用的气体里所含有的金属杂质进行定量分析的方法。该标准适用于检测氩气、氦气、氮气、氧气等常见电子工业气体中的多种金属元素，如钠、镁、铝、铁等。

在执行过程中，首先需要准备样品，即从待测气体中收集足够量的样本用于后续测试。采样方法和容器的选择需遵循特定要求以避免污染或损失。接着，通过适当的预处理步骤将目标金属元素转化为适合ICP-MS分析的形式。这可能包括但不限于溶解、稀释或其他化学转化过程。

对于仪器操作而言，《GB/T 34972-2017》详细描述了如何设置ICP-MS设备参数来确保准确度与灵敏度达到最佳状态。此外，还提供了关于校准曲线建立、背景扣除以及干扰校正等方面的指导原则。这些措施有助于提高测量结果的可靠性和重复性。

该标准也强调了质量控制的重要性，建议采用空白试验、加标回收率测试及使用已知浓度的标准物质来进行验证实验。这样不仅可以评估方法的有效性，还能及时发现并纠正潜在的问题。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-11-01 颁布
  • 2018-02-01 实施
©正版授权
GB/T 34972-2017电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法_第1页
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文档简介

ICS7104040

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T34972—2017

电子工业用气体中金属含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Determinationofmetalcontentingases—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometrymethod

2017-11-01发布2018-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34972—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位上海市计量测试技术研究院西南化工研究设计院有限公司高麦仪器公司广东

:、、、

华特气体股份有限公司北京华宇同方化工科技开发有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海华爱

、、、

色谱分析技术有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司

、。

本标准主要起草人陈鹰姜阳周鹏云牛艳东傅铸红杜汉盛江罗许军洲方华常侠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34972—2017

电子工业用气体中金属含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

1范围

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法金属元

。

素测定范围见表

1。

本标准适用的电子工业用气体种类氧氮氩氦氢氨氯化氢硅烷高纯氯六氟化硫三氯化

:、、、、、、、、、、

硼三氟化氮氧化亚氮六氟乙烷六氟丁二烯等气体

、、、、。

本标准适用的电子工业用气体取样状态气态

:。

表1金属元素测定范围

元素测定范围元素测定范围

/(μg/L)/(μg/L)

Li0.0001~100.0Ce0.0005~100.0

Be0.0005~100.0Pr0.0005~100.0

Na0.0001~100.0Nd0.0005~100.0

Mg0.0005~100.0Pm0.0005~100.0

Al0.001~100.0Sm0.0005~100.0

K0.001~100.0Eu0.0005~100.0

Ca0.001~100.0Gd0.0005~100.0

Sc0.001~100.0Tb0.0005~100.0

Ti0.0001~100.0Dy0.0005~100.0

V0.0001~100.0Ho0.0005~100.0

Cr0.0005~100.0Er0.0005~100.0

Mn0.0001~100.0Tm0.0005~100.0

Fe0.001~100.0Yb0.0005~100.0

Co0.0005~100.0Lu0.0005~100.0

Ni0.001~100.0Hf0.0005~100.0

Cu0.0005~100.0Ta0.0005~100.0

Zn0.0001~100.0W0.001~100.0

Ga0.001~100.0Re0.0005~100.0

Ge0.001~100.0Os0.0005~100.0

Rb0.0005~100.0Ir0.0001~100.0

Sr0.0001~100.0Pt0.001~100.0

Y0.0001~100.0

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