- 现行
- 正在执行有效
- 2017-05-31 颁布
- 2017-12-01 实施
文档简介
ICS77040
H25.
中华人民共和国国家标准
GB/T33763—2017
蓝宝石单晶位错密度测量方法
Testmethodfordislocationdensityofsapphiresinglecrystal
2017-05-31发布2017-12-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
蓝宝石单晶位错密度测量方法
GB/T33763—2017
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号
2(100029)
北京市西城区三里河北街号
16(100045)
网址
:
服务热线
:400-168-0010
年月第一版
20176
*
书号
:155066·1-56240
版权专有侵权必究
GB/T33763—2017
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准
(SAC/TC203)
化技术委员会材料分会共同提出并归口
(SAC/TC203/SC2)。
本标准起草单位江苏协鑫软控设备科技发展有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所深
:、、
圳市中安测标准技术有限公司
。
本标准主要起草人薛抗美黄修康杭寅尹继刚田野张永波张毅
:、、、、、、。
Ⅰ
GB/T33763—2017
蓝宝石单晶位错密度测量方法
1范围
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法
。
本标准适用于抛光加工后位错密度为个2个2的蓝宝石单晶位错密度的测量
0/cm~100000/cm,
检测面为面
{0001}、{1120}、{1012}、{1010}。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
半导体材料术语
GB/T14264
3术语和定义
界定的术语和定义适用于本文件
GB/T14264。
4方法提要
本方法采用择优化学腐蚀技术显示位错当用某些化学腐蚀剂腐蚀晶体表面时在晶体表面上的
。,
位错线露头处腐蚀速度较快因而容易形成由某些低指数面组成带棱角的具有特定形状的腐蚀坑可
,,。
用单位面积上的腐蚀坑数目标识位错密度N按式计算
d,(1):
n
N=
dS…………(1)
式中
:
N位错密度单位为个每平方厘米个2
d———,(/cm);
n穿过视场面积S的位错线数目单位为个
———,;
S视场面积单位为平方厘米2
———,(cm)。
5化学试剂
51氢氧化钾ρ3分析纯
.(≈2.04g/cm),。
52氢氧化钠ρ3分析纯
.(≈2.13g/cm),。
53二氧化硅ρ3分析纯
.(≈2.2g/cm),。
54稀盐酸
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