GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

ICS1304035

CCSC.70.

中华人民共和国国家标准

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

代替GB/T259158—2010

.

洁净室及相关受控环境

第8部分按化学物浓度划分空气洁净度

:

ACC等级

()

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part8ClassificationofaircleanlinessbchemicalconcentrationACC

:y()

ISO14644-82013IDT

(:,)

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

分级

4………………………3

合格性的证明

5……………5

附录资料性影响的因素

A()ACC………………………6

附录资料性常见污染物

B()……………9

附录资料性常用测量方法

C()…………12

附录资料性隔离装置的特殊要求

D()…………………15

参考文献

……………………16

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下部分

GB/T25915《》8。GB/T25915:

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

———1:;

第部分洁净室空气粒子浓度的监测

———2:;

第部分检测方法

———3:;

第部分设计建造启动

———4:、、;

第部分运行

———5:;

第部分词汇

———6:;

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境

———7:(、、、);

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级

———8:(ACC);

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级

———9:;

第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级

———10:;

第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

———12:。

本文件代替洁净室及相关受控环境第部分空气分子污染分级与

GB/T25915.8—2010《8:》,

相比主要技术变化如下

GB/T25915.8—2010,:

增加了按化学物浓度划分空气洁净度按化学物浓度划分表面洁净度和按化学物浓度划

a)“”“”“

分空气洁净度等级的术语和定义见

(ACC)”(3.1.2、3.1.4、3.1.8);

修改了术语分子污染为化学污染物空气分子污染为空气化学污染和表面分子污

b)“”“”、“”“”“

染为表面化学污染物见年版的

”“”(3.1.1、3.1.3、3.1.5,20103.1.1、3.1.2、3.1.3);

修改了描述符的形式为见年版的

c)“ISO-AMC”“ISO-ACC”(4.1、4.2、5.1、5.3,20104.1、4.2、

5.1、5.3);

增加了空白流转样本见

d)(5.2);

增加了影响的因素见

e)ACC(A.3.4、A.4.3、A.5.4、A.6、A.7、A.8、A.9);

增加了化学污染物氯三甲胺等删除了乙醇胺三氯乙基磷酸酯等见表年版的

f)、,、(B.1,2010

表

B.1);

增加了隔离装置关于检测方面的考虑见

g)(D.2.5~D.2.7)。

本文件等同采用洁净室及相关受控环境第部分按化学物浓度划分空气洁

ISO14644-8:2013《8:

净度等级

(ACC)》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC319)。

本文件起草单位中国电子工程设计院有限公司苏州市计量测试院苏州安泰空气技术有限公司

:、、、

江苏嘉合建设有限公司中国标准化协会中国合格评定国家认可中心烟台宝源净化有限公司爱美克

、、、、

空气过滤器苏州有限公司南京天加环境科技有限公司美埃中国环境科技股份有限公司贺氏苏

()、、()、(

州特殊材料有限公司吴江市华宇净化设备有限公司常州祥明智能动力股份有限公司中国计量科学

)、、、

研究院中电投工程研究检测评定中心有限公司深圳新科特种装饰工程有限公司

、、。

本文件主要起草人王尧娄宇张秀春王大千李启东朱兰金真孙玉澄王小兵叶伟强

:、、、、、、、、、、

耿新颜翟传明汪洪军吴小泉高正石小雷杨云涛张敏徐小浩袁月刘璐殷晓冬

、、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2010GB/T25915.2—2010;

本次为第一次修订

———。

Ⅱ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

引言

是采用系列国际标准各部分设置与国际标准保持一致拟由个部

GB/T25915ISO14644,,15

分构成

。

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级目的是区分粒子污染程度

———1:。。

第部分洁净室空气粒子浓度的监测目的是指导监测粒子污染以避免可能产生的污染

———2:。,

风险

。

第部分检测方法目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测

———3:。。

第部分设计建造启动目的是指导洁净室的设计建造启动

———4:、、。、、。

第部分运行目的是指导洁净室的运行

———5:。。

第部分词汇目的是统一规范技术术语

———6:。。

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境目的是提出洁净室用隔离装置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级目的是区分空气化学污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级目的是区分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级目的是区分表面化学污染程度

———10:。。

第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求目的是提出纳米级别的粒子污染的检测

———12:。

要求

。

第部分达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁目的是提出洁净室内表面的清洁要求以

———13:。

避免可能产生的粒子和化学污染的风险

。

第部分按粒子污染浓度评估设备适用性目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子

———14:。

污染的测试确定设备的适合性

,。

第部分按化学污染物浓度评定设备及材料的适合性目的是通过对相关设备可能在洁净

———15:。

室产生化学污染的测试确定设备的适合性

,。

第部分提高洁净室和空气净化装置能效目的是节约洁净室运行的能源消耗

———16:。。

还要注意洁净室及相关受控环境生物污染控制

GB/T25916《》:

第部分一般原理和方法

———1::

第部分生物污染报告的评估与分析

———2:。

本文件的空气化学污染分阶段第一阶段是产生即外部源工艺的泄漏建筑材料或人身上材

3,“”,、、

料的气体释放第二阶段是空气化学污染的传播第三阶段是敏感表面的吸附此阶段的表面化学

;“”;“”,

污染可以量化

。

除了实际空气污染外能释放出气体的材料及有吸附能力的表面对产生和吸附个阶段也有

,“”“”2

很大的影响因此对于这两个阶段不仅需明确污染物还需明确所涉及的材料和表面为了制定适

。,,,。

用于各类洁净室及相关受控环境的通用标准决定按化学物浓度划分空气洁净度等级

,(ACC)。

在洁净室及相关受控环境中有空气化学污染危害产品或工艺的情况本文件所确定的等级可

,ISO

用来规定其中的浓度水平

ACC。

为分级的目的本文件限于规定的浓度范围并考虑到化合物检测和分析方法时间加权系

,ACC,、、

数等因素给出了说明浓度的标准方法

,。

本文件包含下述资料性附录

:

附录影响的因素

———A:ACC;

Ⅲ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

附录常见污染物

———B:;

附录常用测量方法

———C:;

附录隔离装置的特殊要求

———D:。

本文件是有关洁净室及相关受控环境的的个部分除外洁净室及相关受控

GB/T259151,ACC,

环境的设计技术要求运行和控制中尚有许多其他需要考虑的因素它们包含在编制

、、,,SAC/TC319

的其他国家标准中要特别注意的所有部分有些情况下相关管理机构可能会规定某

。GB/T25915。,

些补充政策或限制此时可能需要对本文件进行适当修改

,。

Ⅳ

GB/T259158—2021/ISO14644-82013

.:

洁净室及相关受控环境

第8部分按化学物浓度划分空气洁净度

:

ACC等级

()

1范围

本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质种组或类的浓度对空气化学污染进行

(、),

分级同时本文件分级技术要求给出了包括检测方法分析方法和时间加权系数在内的规程

。,,、。

本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中03-123的化学污染物浓度

10g/m~10g/m。

本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在但不认为对产品或工艺有危害风险的行业工艺和

、、

生产

。

本文件无意探讨空气化学污染物的特性

。

本文件不包含对表面化学污染的分级

。

2规范性引用文件