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文档简介
精品整理精品整理1、真空的定义
真空的定义真空常用名词术语真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。2、真空度好的意思,真空度低表示真空度差的意思。3、真空度单位通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位。1托=1/760大气压=1毫米汞柱4、托与帕的转换1托=133.322帕或1帕=7.510-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号λ表示。6、流量单位时间流过任意截面的气体量QPaL/或托升(TorrL/7、流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/量除以管道两端压强差。符号记作U。U=Q/(P2-P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用P表示。9、标准大气压压强为每平方厘米101325At10、极限真空真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10值为极限真空值。11、抽气速率在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即Sp=Q/(P-P0)12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关真空度的真空计。13、电离真空计(又收热阴极电离计)电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。15、冷阴极电离计板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。16、电阻真空计利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。17、麦克劳真空计(压缩式真空计)将待测的气体用汞(或油)压缩到一极小体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。18、B-A规栅网外面,因而减少软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空。19、水环真空泵进行抽气的机械真空泵。20、往复真空泵利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。21、油封机械真空泵用油来保持密封的机械真空泵,可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。22、罗茨真空泵具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。23、涡轮分子真空泵泵抽除。24、油扩散真空泵带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。25、低温真空泵20K26、冷阱(水冷挡板)置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。27、气镇阀气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。28、真空冷冻干燥空下使冰升华而达到干燥目的。29、真空蒸镀在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。30、真空干燥利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。31、真空系统常用名称膜机中的油扩散泵就是主泵。的旋片或滑阀泵就是前级泵。粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中
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