D制程与技术发展

第10章PDP製程與技術發展前言電漿顯示器(PlasmaDisplay)基本原理是利用氣體放電的物理現象又稱為氣體放電顯示器(GasDischargeDisplay)電漿面板顯示器分類與原理(1)電漿面板顯示器(PlasmaDisplayPanel，PDP)利用氣體放電產生發光的顯示器發光原理基本上是與螢光燈的原理相同在真空玻璃管中注入惰性氣體或水銀氣體，利用加電壓方式，使氣體產生電漿效應，放出可見光與紫外線，藉由紫外線照射到塗佈在玻璃管壁表面上之螢光粉時，螢光粉就會被激發出可見光，可見光的顏色由螢光粉的種類所決定電漿面板顯示器分類與原理(2)彩色PDP可想像成被縮小化的螢光燈，有許多個以陣列方式聚集在一起放電每一個放電空間稱為一個胞(Cell)放電空間中封入的氣體為氖(Ne)與氙(Xe)，或氦(He)與氙(Xe)等惰性混合氣體氣體經施以高電壓後，產生氣體放電現象放電現象所釋放出來的紫外線波長以147nm為主電漿面板顯示器分類與原理(3)彩色PDP的螢光粉種類，包括可發出紅(R)、藍(B)、綠(G)三原色光的三種不同螢光粉非單一種發白色光的螢光粉電漿面板顯示器分類與原理(4)PDPDC-PDP記憶型非記憶型Nixie-NationalElectronicsSegment-BeckmanBurroughsCherryDaleDisplayInc.DotMatrix-BeckmanDaleDisplayInc.MatsushitaOkayaOkiShift-BurroughsAC-PDP記憶型DotMatrix-Electro-PlasmaFujitsuIBMNordenPhotonicsThomson-CSFShift-Fujitsu非記憶型DotMatrix-NBCSegment-FujitsuNCRNECPDP製程資料來源：中華映管資料來源：中華映管資料來源：中華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管資料來源源：中華華映管PDP製製程不論是上上板製程程或下板板製程，，一定由由空白的的平面透透明玻璃璃基板開開始玻璃基板板要能承承受熱處處理溫度度(450至600ºC)，不會會有收縮縮或彎曲曲變形過過大的問問題發生生產生收縮縮或彎曲曲變形過過大時，，將使得得上、下下板中的的對位記記號(AligmentMark)，及及其他各各層電路路圖案位位置產生生位移量產玻璃璃基板是是採用高高應力點點的玻璃璃基板來來解決熱熱處理應應力要求求AsahiPD200有直直接提供供鍍有ITO薄薄膜的玻玻璃基板板上板製程程1、透明明電極製製作透明電極極功能，，是作為為表面放放電維持持電極使使用透明目的的，是為為了避免免螢光粉粉被紫外外線激發發出之可可見光被被阻擋，，使面板板的亮度度降低目前量產產上所使使用的透透明電極極材料，，包括氧化銦錫錫(ITO，Tin-DopedIndiumOxide)氧化錫(SnO2，TinOxide)兩種種ITO膜膜的導電電度與透透光率較較SnO2膜為佳2、金屬屬輔助電電極製作作透明電極極的電阻阻值仍然然過高，，為避免免在放電電時電壓壓下降過過大，導導致應用用在大尺尺寸PDP時，，無法產產生均勻勻放電，，故在其其上方製製作較窄窄之金屬屬輔助電電極(BusElectrode)，以以增加其其導電度度目前量產產上所使使用之導導電電極極，包括括有鉻/銅/鉻銅導電率率高，但但製程中中亦被氧氧化增加加電阻，，且容易易被封合合膠浸蝕蝕產生斷斷線鉻抗氧化化及耐蝕蝕性均較較銅佳以濺鍍及及濕式蝕蝕刻製作作，精密密度佳銀-可用用直接圖圖案印刷刷，成本本低3、黑色色對比層層製作黑色對比比層功能能，是增增加面板板影像的的對比，，與減少少外界光光的反射射影響此層是形形成於每每個放電電胞中，，兩條透透明電極極的兩側側黑色對比比層製作作方式有有兩種直接圖案案印刷黃光濕式式蝕刻法法4、透明明介電層層製作透明介電電層功能能，是在在使用AC時作作為儲存存電荷之之電容，，及在驅驅動面板板時提供供壁電荷荷，以降降低驅動動電壓透明介電電層材料料主要成成份是玻玻璃粉，，是以厚厚膜製程程中的平平面印刷刷法為主主平面印刷刷是網版版上沒有有圖案(Pattern)，，印刷上上較有圖圖案的印印刷為簡簡單5、保護層層製作保護層目的的，包括有有在電漿環境境中耐離子子撞擊，以以保護其下下部的各層層材料較高的二次次電子發射射效率，以以降低產生生氣體放電電的最低啟啟動電壓保護層材料料以氧化鎂鎂(MgO)為主MgO保護護層製作方方法，包括括有漿料塗佈法法濺鍍法電子束蒸鍍鍍法離子電鍍法法等下板製程1、資料電電極製作資料(Data)電電極功能，，是作為寫寫入資料用用，亦稱定定址電極(AddressElectrode)資料電極層層所使用材材料，與上上板之金屬屬輔助電極極一樣的，，包括有銀銀電極、銀銀感光性膠膠膜或鉻/銅/鉻電電極，目前前主要以直直接印刷銀銀電極為主主要製程2、白色反反射層製作作增加白色反反射層目的的，包括有有提供一平坦坦表面，使使得後續阻阻隔壁製程程容易製作作保護資料電電極免受到到後續製程程的損傷增加螢光反反射，以提提高面板亮亮度製程有兩種種方式直接以平面面印刷法塗塗佈介電層層漿料壓合介電層層膠膜3、阻隔壁壁製作(1)阻隔壁(Rib)功功能主要有有二：當做上、下下玻璃板間間的支撐物物或間隔物物(Spacer防止螢光粉粉的混色隨著對PDP對比與與亮度要求求，目前阻阻隔壁已分分為上、下下層兩種顏顏色上層為黑色色，目的是是增加畫面面之對比下層為白色色可反射可可見光，以以增加畫面面之亮度3、阻隔壁壁製作(2)量產方式，，以噴砂法法為主流先在白色反反射層上，，以厚膜製製程方式，，各別地依依序塗佈一一定厚度的的白色層與與黑色層乾燥後進行行噴砂最後進行燒燒結4、螢光層層製作螢光層是塗塗佈在阻隔隔壁的兩側側與各阻隔隔壁之間，，且相鄰兩兩色間不可可有混色現現象一般多採用用印刷方式式，將不同同色之螢光光粉漿料分分別地填入入各阻隔壁壁之間，因因此RGB三色需要要印刷三次次5、封合層層製作封合層目的的，是為了了將兩片玻玻璃貼合在在一起，且且要能防止止填充氣體體的漏氣若有漏氣現現象則放電電氣體會有有污染問題題發生，且且造成每個個胞的啟動動電壓有很很大變化目前封合層層塗佈方式式，以點膠膠塗佈機製製作，當塗塗佈完成後後要先進行行預熔步驟驟，將有機機物質去除除封合和組裝裝製程當上板製程程與下板製製程分別完完成後，必必須進行上上、下兩片片玻璃基板板貼合工作作上板與下板板製程中，，分別已有有設計對位位記號，利利用自動對對位貼合機機將玻璃貼貼合在一起起將玻璃抽氣氣管固定貼貼合在背板板的抽氣口口上，再將將此組合面面板同時進進行烘烤與與抽氣製程程此製程是將將面板中的的空氣與烘烘烤中所產產生的有機機廢氣排除除，以避免免影響後續續所填充惰惰性氣體的的純度，而而導致各胞胞的啟動電電壓變高，，並降低面面板壽命PDP產品品特點1.大畫面面、重量輕輕、薄型化化，可作為為壁掛式顯顯示器，節節省使用空空間2.高亮度度、廣視野野角(上下下、左右皆皆160º以上)，且且為全平面面畫面3.影像不不會受磁場場與地磁影影響4.