《薄膜材料与制备技术》课程教学大纲（本科）

《薄膜材料与制备技术》课程教学大纲一、课程基本情况课程代码：1011239057课程名称（中/英文）:薄膜材料与制备技术/TinFilmterialandPreparationTecnology课程类别：专业选修课程学分：2总学时：32理论学时:32实验/实践学时：0/0适用专业：材料物理适用对象：本科先修课程：无机化学、物理化学教学环境：多媒体教室开课学院：材料科学与工程学院二、课程简介.课程任务与目的《薄膜材料与制备技术》是材料物理专业的一门专业选修课程。系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种薄膜材料进行了介绍、评述和展望。.对接培养的岗位能力通过本课程的学习使学生掌握一定的薄膜制备方法、成膜原理以及仪器设备的工作原理等，从而培养学生在与薄膜制备领域相关的技术岗位。三、课程教学目标总目标：通过本课程的学习，使学生掌握一些薄膜物理的基本知识，同时也能了解该领域内当前的一些前沿研究进展，为学生从事薄膜材料及相关领域的学习工作奠定基础。知识目标：通过本课程的学习，使学生掌握薄膜材料和制备技术的基本原理；掌握薄膜材料的各种制备方法及薄膜的表征方法，理解薄膜的形成和生长原理并了解薄膜领域内广泛研究和应用的几种薄膜。知识目标所涉及的内容支撑毕业要求1.2,2.3o能力目标：培养学生运用基本理论分析和解决薄膜制备过程中的技术问题。能力目标所涉及的内容支撑毕业要求225.1o素质目标：培养学生从事与薄膜制备相关工作的能力。素质目标所涉及的内容支撑毕业要求3.1,10.3o

四、教学课时安排（一）学时分配主题或知识点教学内容总学时学时完成课程教学目标讲课实验实践主题或知识点1绪论22001.2,10.3主题或知识点2真空技术基础44001.2,2.2,2.3,3.1主题或知识点3薄膜制备的化学方法66001.2,2.2,3.1,5.1主题或知识点4薄膜制备的物理方法66001.2,2.2,3.1主题或知识点5薄膜的形成与生长44001.2,2.2,3.1主题或知识点6薄膜表征66001.2,2.2,3.1,4.1主题或知识点7薄膜材料44001.2,2.2,5.1合计323200五、教学内容及教学设计主题或知识点1绪论.教学内容理解薄膜科学的重要性；掌握薄膜的定义、分类和特殊性；了解薄膜材料迅速发展的原因及课程的教学安排。.教学薄膜的定义、分类和特殊性。.教学难点无.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。主题或知识点2真空技术基础.教学内容真空的基本知识，包括真空区域的划分、气体的吸附脱附；真空的获得方法，理解常用真空泵如旋片式机械真空泵、复合分子泵及低温泵的原理及适用范围；真空度的测量，电阻真空计、热偶真空计和电离真空计的原理。.教学真空区域的划分，真空的获得和测试。.教学难点无.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。主题或知识点3薄膜制备的化学方法L教学内容常用的薄膜制备化学方法的基本原理及制备步骤，包括热生长法、化学气相沉积、电镀法、化学镀、阳极反应沉积法和LB技术；化学气相沉积法中的化学反应、分类及仪器设备。.教学薄膜制备所使用化学方法的原理及适用范围及化学气相沉积法的制备步骤。.教学难点无.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。主题或知识点4薄膜制备的物理方法.教学内容常用的薄膜制备物理方法的基本原理，包括真空蒸发、溅射、离子束和离子助、外延膜沉积技术及有机金属化学气相沉积法；理解真空蒸发、溅射及外延膜沉积技术的基本原理、特点、技术参数及设备装置。.教学真空蒸发和溅射技术的基本原理、特点和设备装置。.教学难点溅射技术的基本原理和设备装置。.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。主题或知识点5薄膜的形成与生长.教学内容薄膜形成与生长的过程；薄膜形核和生长的动力学过程及薄膜的生长模式并理解远离平衡态薄膜的生长机理。.教学薄膜形核和生长的动力学过程及其特点、分类。.教学难点薄膜形核和生长的动力学过程。.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。主题或知识点6薄膜表征L教学内容

薄膜的性能表征方法，包括厚度的控制及测量、组分表征、结构表征、原子化学键合表征及薄膜应力表征；各种表征方法的原理、特点及设备。.教学薄膜厚度、组分和结构的表征原理和特点。.教学难点无.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。主题或知识点7薄膜材料.教学内容薄膜材料种类；超硬薄膜、智能薄膜、纳米薄膜、三族元素氮化物薄膜、磁性氮化物薄膜及巨磁阻镜氧化物薄膜材料的特点、优缺点及应用领域。.教学薄膜的特点及优缺点。.教学难点无.教学方案设计（含教学方法、教学手段）采用互动式、讨论式等的教学方法；课堂讲授与课堂讨论相结合；多媒体与板书相结合。建议教材：郑伟涛主编.参考书：（1）田民波（2）戴达煌（3）张济忠课程网络资源:薄膜材料与薄膜技术（第2版）.化学工业,2007六、学生成绩评定本课程为材料物理专业的专业选修课。课程考核综合成绩由平时成绩建议教材：郑伟涛主编.参考书：（1）田民波（2）戴达煌（3）张济忠课程网络资源:薄膜材料与薄膜技术（第2版）.化学工业,2007学生成绩评定表七、教材、参考书目、重要文献以