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文档简介
电镜的样品制备目录扫描电子显微镜(SEM)的样品制备透射电子显微镜(TEM)的样品制备一、扫描电子显微镜的样品制备样品的要求镀膜样品的制备:1)块状样品2)粉末样品3)截面样品样品的要求——基于原理
为了满足电镜观察的需要,样品应该具备以下条件:
1)导电性能好
2)热稳定性好
3)二次电子和背散射电子产率高
样品的要求——基于实际1)样品尺寸:现在的扫描电镜一般对尺寸限制不大,取决于不同型号的扫描电镜的仓室大小和样品台的大小。2)样品形状:要求不高,主要是块状样品的底部和上端观察面要较为平整,观察面要注意处理时保持原有形貌,尽量减少破坏。3)样品清洁:样品表面经常会有沾污,如油污、高分子溶剂、碎屑等,可用吸耳球吹拂,有的需要用超声清洗。
镀膜样品可以分为导电和不导电样品。对于不导电的样品还需要进行导电处理,一般是在样品的表面蒸镀一层导电金属膜或者碳膜,金属膜可选用金、铂、镉、钯、铂金合金等。由于现在扫描电镜的分辨率提高,镀膜会造成一些假象,需要注意蒸镀膜的厚度,蒸镀颗粒的大小,在保证导电的情况下,蒸镀的膜越薄越好,颗粒越小约好。样品的制备一:块状样品
1)导电样品:将样品用导电胶带粘在样品台上,粘牢即可。
2)不导电样品:
a)用导电胶带粘牢,在用导电胶带从样品表面跟样品台粘连,形成导电通路。
b)用导电银浆粘牢,亦要从样品表面连到样品台形成导电通路。样品的制备二:粉末样品
1)干法:适用于微米级颗粒。先将样品台粘上导电胶带,然后将样品用药匙取少许撒落在导电胶带上,再将样品台轻磕除去多余的样品,最后用吸耳球吹拂。
2)湿法:适用于亚微米级和纳米级颗粒。将样品取少许用乙醇或丙酮中,超声分散,然后用吸液管吸出,滴在剪好的铜片或者硅片或者铜网上,待干燥即可。样品的制备三:截面样品1)直接掰断
2)用玻璃刀具划断
3)用液氮脆断
4)机械切割后,进行抛光处理
5)特殊需要时用离子束减薄仪抛光直接掰断
二、透射电子显微镜样品制备样品制备的目的金属网支持膜样品的制备:1)粉末样品2)超薄切片样品3)薄膜样品
样品制备的目的
1)供透射电镜观察的样品既小又薄,可观察的最大尺度不超过1mm左右。2)在常用的50~100kv加速电压下,样品厚度一般应小于100nm,较厚的样品会产生严重的非弹性散射,过薄的样品没有足够的衬度也不行。金属网定义:是直径只有2~3mm,厚度为20~100um的圆形薄板。分类:根据抗化学性等特殊有Cu、NI、Au、Be等。
金属网的材质一般是铜,因而也称为铜网。网眼:形状有方形、长方、六方或圆形;孔径从50目~400目不等。注意:大多数铜网从外观上看一面有光泽而另一面无光泽,为了得到最大的附着力,将样品或支持膜放在粗糙的一面上。
支持膜纤维、薄膜、切片等可直接安放在铜网上,对于很小的切片、颗粒、高分子单晶、乳胶粒等细小的材料就不能直接安放,而必须有支持膜支撑。对支持膜有以下要求:1)电子透明性好2)有较高的热稳定性和化学稳定性3)制作和使用简便样品的制备1、粉末样品承载粉末样品必须有易于电子束穿透的支持膜,常用支持膜由如下三种材料:1)碳膜:导电、导热,不溶于任何溶剂;2)硝化纤维素(CelluloseNitrate),火棉胶:可溶于乙酸异戊脂,丙酮,乙酸异戊脂;3)聚乙烯醇缩甲醛(PolyyvinylFormal):方华,Formvar,可溶于二氯乙烯,氯仿,二氯乙烷;
将粉末与水、甘油、乙醇或丙酮等溶剂的一种,在超声波振动下作成悬浮液,滴在铜网支持膜上干燥待用。2、超薄切片样品1)适用于切制软材料薄片,如塑料、橡胶、合成纤维、薄膜材料等;2)制备程序:浸透包埋固化聚合修块切片捞摸2、超薄切片样品3)TEM常用的切片厚度为60nm,分辨率可达2.5nm。
根据切片颜色可确定切片的厚度,根据样品性质选择是否对切片染色。据报道颜色与厚度有如下关系:
染色定义:是指给特定的结构域引入重原子而改变衬度的方法。分类:正染色:感兴趣的区域被染色而在电镜下成为黑色。负染色:让颗粒以外的基底染色变黑。3、薄膜样品薄膜样品分为两类:1、通过物理化学方法进行沉积或外延制备的透射电镜薄膜试样;2、块状样品通过物理化学方法减薄的透射电镜
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