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文档简介

激光精密测量杨玉平激光长度测量干涉测量单波长干涉计量双波长干涉计量衍射测量脉冲测距短距测量相位法测量全息干涉计量单波长干涉测量M1移动距离与条纹变化为：

长度大，精度高

环境要求苛刻，测量时间长（移动速度慢）1M2MM1Laser日本：测长2m，精度达40nm的精密测长仪特点：具有很强的抗干涉性：单频激光干涉仪光强变化50%就不能作。而对双频激光干涉仪，即使光强损失95%，仪器仍能正常工作。测量范围大（>60m）。输出脉冲数：PM2移动距离Δf2：多普勒频移细丝的直径测量LX相邻两条纹的间距：衍射测量细丝的夫琅和费衍射和测径原理激光脉冲测距原理

原理:通过发射激光脉冲控制计时器开门，接收返回的激光脉冲控制计时器关门，测量出激光光束在待测距离上往返传播的时间完成测距的。其计算公式为：激光脉冲测距仪对光脉冲的要求光脉冲应具有足够的强度。光脉冲的方向性要好。光脉冲的单色性要好。光脉冲的宽度要窄。激光测卫td短距测量相关测量BBO晶体样品电光晶体样品取样测量相位法测距Nr.OfWavelengthslPhaseShiftdABd:测量位相的仪器λ/2：光尺全息干涉计量O干板LO干板L记录：光的干涉再现：光的衍射干涉条纹分析：CBGAPCB激光散斑法角度测量1.Sagnac效应和角速度测量环形干涉仪的不动时，顺时针和反时针传播一周所需时间相同，即当

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