三级高真空的与检漏_第1页
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实验报告 冯业浩 PB05210075实验名称:高真空的获得与检漏实验目的:1,学习利用机械泵和扩散泵获得高真空。 2,利用静态升压法和氦质谱法检漏,并比较两种方法的优劣。实验数据:1, 2,真空检漏 T(s) p(pa)00.003650.018100.02150.024200.032250.041300.05350.058400.067450.076500.086550.095600.12数据处理:1,1中的数据v1分别是第一次抽到极限的压强,经过加热放气后的压强,以及继续抽气都极限的压强,v2的数值是储气罐在此时的压强。2,真空检漏图像如下:最后一个点疑似为坏点。开始上升很快,之后近似以直线上升,可见系统既有漏气又有放气。思考题:1,为什么测完放气曲线后应当立刻关掉电离规?答:因为测完放气曲线后,被测量的气压值已经大于等于0.1pa,而电离计不宜在高于0.1帕时使用,否则会烧毁灯丝。2,为什么扩散泵和机械泵之间要加储气罐?答:机械泵作为前级泵提供适当的压强,当压强达到低真空时,才可以接扩散泵,而储气罐在之间起着缓冲的作用。3,为什么在关高阀,关扩散泵后不可以立即关机械泵?答:关高阀后,关关扩散泵,机械泵,扩散泵内的油温仍然很高,若直接关掉,

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