PCB流程介紹教程

1、聯 能 科 技 有 限 公 司WORLD WISER TECHNOLOGY INCPWB 製造流程簡介講 師 :黃 志 明2022/9/130多次埋孔Multiple Blinded Via徐 振 連JOHNNY HSU流 程 圖 PWB Mfg. FLOW CHARTUPDATED: 1999,04,16顧 客 (CUSTOMER)工 程 製 前 (FRONT-END DEP.)裁 板 (LAMINATE SHEAR) 內 層 乾 膜 (INNERLAYER IMAGE)預 疊 板 及 疊 板 (LAY- UP )通 孔 電 鍍 (P . T . H .)液 態 防 焊 (LIQUID S/

2、M )外 觀 檢 查 (VISUAL INSPECTION )成 型 (FINAL SHAPING)業 務 (SALES DEPARTMENT) 生 產 管 理 (P&M CONTROL)蝕 銅 (I/L ETCHING)鑽 孔 (PTH DRILLING)壓 合 (LAMINATION)外 層 乾 膜 (OUTERLAYERIMAGE)二次銅及錫鉛電鍍 (PATTERN PLATING)蝕 銅 (O/L ETCHING)檢 查 (INSPECTION) 噴 錫 (HOT AIR LEVELING)電 測 (ELECTRICAL TEST )出 貨 前 檢 查 (O Q C )包 裝 出 貨

3、(PACKING&SHIPPING )曝 光 (EXPOSURE) 壓 膜 (LAMINATION)前處理(PRELIMINARY TREATMENT)顯 影 (DEVELOPIG) 蝕 銅 (ETCHING)去 膜 (STRIPPING)黑 化 處 理 (BLACK OXIDE) 烘 烤 (BAKING)預 疊 板 及 疊 板 (LAY- UP ) 壓 合 (LAMINATION)後處理 (POSTTREATMENT) 曝 光 (EXPOSURE) 壓 膜(LAMINATION)二次銅電鍍 (PATTERNPLATING)錫 鉛 電 鍍 (T/L PLATING)去 膜 (STRIPPING

4、)蝕 銅 (ETCHING)剝 錫 鉛 (T/L STRIPPING) 塗 佈 印 刷 (S/M COATING)預 乾 燥 (PRE-CURE) 曝 光 (EXPOSURE)顯 影 (DEVELOPING)後 烘 烤 (POST CURE)MLB全 板 電 鍍 (PANEL PLATING)銅 面 防 氧 化 處 理 (O S P (Entek Cu 106A) 外 層 製 作 (OUTER-LAYER)TENTINGPROCESS鍍 金 手指 (G/F PLATING)鍍 化 學 鎳 金 (E-less Ni/Au)For O. S. P. 選 擇 性 鍍 鎳 鍍 金 (SELECTIVE

5、 GOLD)印 文 字 (SCREEN LEGEND ) 網 版 製 作 (STENCIL) 圖 面 (DRAWING) 工 作 底 片 (WORKING A/W) 製 作 規 範 (RUN CARD)程 式 帶 (PROGRAM)鑽 孔 , 成 型 機 (D. N. C.) 底 片 (MASTER A/W)磁 片, 磁 帶 (DISK , M/T)藍 圖 (DRAWING)資 料 傳 送 (MODEM , FTP) A O I 檢 查 (AOI INSPECTION)除 膠 渣 (DESMER) 通 孔 電 鍍 (E-LESS CU)DOUBLE SIDE前處理(PRELIMINARY TR

6、EATMENT)前處理(PRELIMINARY TREATMENT)前處理(PRELIMINARY TREATMENT)全面鍍鎳金 (S/G PLATING)雷 射 鑽 孔 (LASER ABLATION)Blinded Via埋 孔鑽 孔 (IVH DRILLING)埋 孔電鍍(IVH PLATING)埋孔多層板內層流程 (INNER LAYER PRODUCT)2022/9/131一. 前言 1.1 PWB扮演的角色PWB的功能為提供完成第一層級構裝的元件與其它必須的電子電路零件接合的基地，以組成一個具特定功能的模組或成品。所以PWB在整個電子產品中，扮演了整合連結總其成所有功能的角色。圖

7、1.1是電子構裝層級區分示意。圖1.1晶圓第0層次第1層次(Module)第2層次(Card)第3層次(Board)第4層次(Gate)2022/9/1321.2 PWB種類及製法依材料、層次、製程上的不同歸納一些通用的區別辦法, 來簡單介紹PWB的分類以及它的製造方法。 1.2.1 PWB種類A. 以材質分類 a. 有機材質 酚醛樹脂、玻璃纖維/環氧樹脂、Polyimide、BT/Epoxy等皆屬 之。 b. 無機材質 鋁、Copper-invar-copper、ceramic等皆屬之。主要取其散熱 功能 2022/9/133圖1.3圖1.4B. 以成品軟硬區分 a. 硬板 Rigid PW

8、B b. 軟板 Flexible PWB 見圖1.3 c. 軟硬板 Rigid-Flex PWB 見圖1.4 C. 以結構分 a. 單面板 見圖1.5 b. 雙面板 見圖1.6 c. 多層板 見圖1.7 圖1.5圖1.6圖1.72022/9/134D. 依用途分：通信/耗用性電子/軍用/電腦/半導體/電測板,見圖 1.8 BGA Substrate.1.2.2製造方法介紹A. 減除法，其流程見圖1.9 B. 加成法，又可分半加成與全加成法，見圖1.10 1.11C. 尚有其它因應IC封裝的變革延伸而出的一些先進製程，圖1.82022/9/135圖 1.9減除法銅箔基板鑽 孔化銅+鍍銅影像轉移蝕

9、 刻防 焊圖 1.11銅箔基板鑽 孔化銅+鍍銅影像轉移蝕 刻鍍銅,錫鉛防 焊圖 1.10全加成法樹脂積層板(不含銅箔)鑽 孔樹脂表面活化印阻劑(抗鍍也抗焊)化學銅析鍍防 焊半加成法2022/9/136二.製前準備2.1.前言近年由於電子產品日趨輕薄短小，PWB的製造面臨了幾個挑戰:1薄板2高密度3高性能4高速 (5) 產品週期縮短6降低本钱等。以往以燈桌、筆刀、貼圖及照相機做為製前工具，現在己被電腦、工作軟體及鐳射繪圖機所取代。過去，以手工排版，或者還需要Micro-Modifier來修正尺寸等費時耗工的作業，今天只要在CAM(Computer Aided Manufacturing)工作人員

10、取得客戶的設計資料，可能幾小時內，就可以依設計規則或DFM(Design For Manufacturing)自動排版並變化不同的生產條件。同時可以output如鑽孔、成型、測試治具等資料。2022/9/1372.2.製前設計流程： 2.2.1客戶必須提供的資料：電子廠或裝配工廠，委託PWB SHOP生產空板Bare Board時，必須提供以下資料以供製作。見表料號資料表-供製前設計使用. 上表資料是必備項目，有時客戶會提供一片樣品,一份零件圖，一份保證書保證製程中使用之原物料、耗料等不含某些有毒物質等。2022/9/138料 號 資 料 表項 目 內 容 格 式1.料號資料 (Part Nu

11、mber)包含此料號的版別,更改歷史,日期以及發行資訊.和Drawing一起或另有一Text檔.2.工程圖 (Drawing)A.料號工程圖: 包括一些特殊需求,如原物料需求,特性阻抗控 制,防焊,文字種類,顏色,尺寸容差,層次等.HPGL 及 Post Script.B.鑽孔圖: 此圖通常標示孔位及孔號.HPGL 及 Post Script.HPGL 及 Post Script.HPGL 及 Post Script.C.連片工程圖: 包含每一小片的位置,尺寸,折斷邊,工具孔相關 規格,特殊符號以及特定製作流程和容差.D.疊合結構圖: 包含各導體層,絕緣層厚度,阻抗要求,總厚度等.3.底片資料

12、 (Artwork Data)A:線路層 B:防焊層 C:文字層Gerber (RS-274D,X),ODB+4.Aperture List定義:各種pad的形狀,一些特別的如thermal pad並須特別定義construction方法.Text file文字檔5.鑽孔資料Excellon Format定義:A:孔位置, B:孔號, C:PTH & NPTH D: 盲孔或埋孔層6.鑽孔工具檔定義:A:孔徑, B:電鍍狀態, C:盲埋孔 D: 檔名Text file文字檔7.Netlist資料定義線路的連通IPC-356 or 其它從CAD輸出之各種 格式(Mentor)8.製作規範1.指明依

13、據之國際規格,如IPC,MIL2.客戶自己PWB進料規範3.特殊產品必須meet的規格如PCMCIAText file文字檔2022/9/1392.2.2 .資料審查面對這麼多的資料，製前設計工程師接下來所要進行的工作程序與重點，如下所述。A. 審查客戶的產品規格，是否PWB廠製程能力可及.B. CAD/CAM作業 a. 將Gerber Data 輸入所使用的CAM系統，此時須將apertures 和shapes定義好。目前，己有很多PWB CAM系統可接受IPC- 350的格式或是ODB+格式。配合CAM系統可產生外型NC Routing 檔,可設定參數直接輸出程式. Shapes 種類有圓

14、、正方、長方,亦有較複雜形狀，如內層之 thermal pad等。著手設計時，Aperture code和shapes的關 連要先定義清楚，否則無法進行後面一系列的設計。 但如果是提供ODB+格式,就不需提供Aperture files.2022/9/1310ODB+格式 (Prefered)ODB+是一種可擴充的ASCII格式，它可在單一數據庫中保存PCB生產和裝配所必需的全部工程數據。單一文件即可包含圖形、鑽孔資訊、佈線、元件、網表、規格、繪圖、工程處理定義、報表功能、ECO和DFM結果等。作業人員可改進和改正DFM來更新他們的原始CAD數據庫，並設法在設計達到裝配階段之前識別出所有的佈線

15、問題。ODB+是一種雙向格式，允許數據上行和下傳。數據庫類似於大多數CAD系統的數據庫。一旦數據以ASCII形式到達電路板車間，生產者就可實施增值的流程作業，如蝕刻補償、面板成像及輸出鑽孔、佈線和照相等。2022/9/1311b. 設計時的Check list 依據check list審查後，當可知道該製作料號可能的良率以及 本钱的預估。c. Working Panel排版注意事項： 排版的尺寸選擇將影響該料號的獲利率。因為基板是主要原 料本钱排版最正确化，可減少板材浪費；而適當排版可提 高生產力並降低不良率。一般製作本钱，直、間接原物料約佔總本钱3060%，包含了基板、膠片、銅箔、防焊、乾膜

16、、鑽頭、重金屬銅、鍚、鉛、金，化學耗品等。而這些原物料的耗用，直接和排版尺寸恰當與否有關係。大部份電子廠做線路Layout時，會做連片設計，以使裝配時能有最高的生產力。因此，PWB工廠之製前設計人員，應和客戶密切溝通，以使連片Layout的尺寸能在排版成工作PANEL時可有最正确的利用率。要計算最恰當的排版，須考慮以下幾個因素。2022/9/13121.基材裁切最少刀數與最大使用率裁切方式與磨邊處理須考慮進 去。 2.銅箔、膠片與乾膜的使用尺寸與工作PANEL的尺寸須搭配良好,以 免浪費。3.連片時，piece間最小尺寸，以及板邊留做工具或對位系統的最小 尺寸。4.各製程可能的最大尺寸限制或有

17、效工作區尺寸. 5.不同產品結構有不同製作流程，及不同的排版限制，例如，金手 指板，其排版間距須較大且有方向的考量，其測試治具或測試次 序規定也不一樣。 原物料基板尺寸36“ 48 (實 際 上 為 36.5“ 48.5)40“ 48 (實 際 上 為 40.5“ 48.5) 42 48 (實 際 上 為 42.5 48.5) 2022/9/1313d. 底片與程式：底片Artwork 在CAM系統編輯排版完成後，配合D-Code檔案，而由雷射繪圖機Laser Plotter繪出底片。所須繪製的底片有內外層之線路，外層之防焊，以及文字底片。由於線路密度愈來愈高，容差要求越來越嚴謹，因此底片尺寸

18、控制，是目前很多PWB廠的一大課題。目前已經有LDI(Laser Direct Imaging)設備,所以只要Download資料到LDI設備即可生產.2022/9/1314根本材料與阻抗控制 要做阻抗控制的產品時，必需要注意且需解決的問題。 其中影響出貨板子阻抗值最大的幾項因素有： 介質的厚度，Dielectric Thickness。 蝕刻後線路本身的寬度，Etched Line Width。 銅的厚度(含銅皮及電鍍銅),Copper Thickness 底材的介質常數，Dielectric Constant。 防焊厚度, Solder Mask Thickness 工作頻率(影響rise

19、 time) 傳輸線之長度 ( 造成propagation delay ) 所以工作頻率越高,傳輸線過長需考慮作阻 抗控制. 所以工作頻率越高,傳輸線過長需考慮作阻 抗控制. 阻抗控制需求決定條件2022/9/1315三. 基板印刷電路板是以銅箔基板Copper-clad Laminate 簡稱CCL做為原料而製造的電器或電子的重要機構元件,.表3.1簡單列出不同基板的適用場合. PWB 種類層數 應用領域紙質酚醛樹脂單、雙面板 電視、顯示器、電源供應器、音響、影印機(FR&FR2) 錄放影機、計算機,電話機、遊樂器、鍵盤 環氧樹脂複合基材單、雙面板 電視,顯示器、電源供應器、高級音響、電話機

20、 (CEM1 , CEM3) 遊戲機、汽車用電子產品、滑鼠、電子計事簿 玻纖布環氧樹脂單、雙面板 介面卡、電腦周邊設備、通訊設備、無線電話機 手錶、文書處理玻纖布環氧樹脂多層板 桌上型電腦、筆記型電腦、掌上型電腦、硬蝶機, 文書處理機、呼叫器,行動電話、 IC卡、數位電視音響 傳真機、軍用設備、汽車工業等.PE軟板 儀表板、印表機PI軟板 照相機、硬蝶、印表機、筆記型電腦、攝錄放影機軟硬板 LCD模組、 CCD攝影機、硬蝶機、筆記型電腦TEFLON Base PWB 通訊設備、軍用設備、航太設備表一、PWB種類及應用領域2022/9/1316 基板工業是一種材料的基礎工業，是由介電層樹脂 Re

21、sin，玻璃纖維 Glass fiber)，及高純度的導體(銅箔 Copper foil)二者所構成的複合材料Composite material.3.1介電層 3.1.1樹脂 Resin 前言 目前已使用於線路板之樹脂類別很多,如酚醛樹脂 Phenolic 、環氧樹脂Epoxy、聚亞醯胺樹脂Polyimide、聚四氟乙烯Polytetrafluorethylene，簡稱PTFE或稱TEFLON，B一三氮樹脂Bismaleimide Triazine 簡稱 BT等皆為熱固型的樹脂Thermosetted Plastic Resin。2022/9/1317常用的基板材質如下: 常用基板材質為FR

22、-4(94V-0): CCL (Core and Prepreg) (FR-4:玻璃纖維+環氧樹脂) HDI(高密度互連板)層膠片RCC (build-up layer) (RCC : Resin coated Copper foil背膠銅箔) HDI(高密度互連板)層膠片TCD (build-up layer) (TCD: Thermal curable Dielectric) HDI(高密度互連板)層膠片LD (build-up layer) (LD: Laser drillable Prepreg) 2022/9/1318D. Tg 玻璃態轉化溫度 高分子聚合物因溫度之逐漸上升導致其物理

23、性質漸起變化，由常溫時之無定形或部份結晶之堅硬及脆性如玻璃一般的物質而轉成為一種黏滯度非常高,柔軟如橡皮一般的另一種狀態。傳統FR4 之 Tg 約在115-120之間，近年來由於電子產品各種性能要求愈來愈高,所以對材料的特性也要求日益嚴苛，如抗濕性、抗化性、抗溶劑性、抗熱性 ,尺寸安定性等都要求改進,以適應更廣泛的用途,而這些性質都與樹脂的Tg有關,Tg 提高之後上述各種性質也都自然變好。例如 Tg 提高後, a.其耐熱性增強，使基板在 X 及 Y 方向的膨脹減少，使得板子在 受熱後銅線路與基材之間附著力不致減弱太多，使線路有較好的 附著力。 b.在Z方向的膨脹減小後，使得通孔之孔壁受熱後不易

24、被底材所拉斷。c.Tg 增高後，其樹脂中架橋之密度必定提高很多使其有更好的抗 水性及防溶劑性，使板子受熱後不易發生白點或織紋顯露，而有 更好的強度及介電性.至於尺寸的安定性,由於自動插裝或外表裝 配之嚴格要求就更為重要了。因而近年來如何提高環氧樹脂之 Tg 是基板材所追求的要務。2022/9/1319E. FR-4 難燃性環氧樹脂 傳統的環氧樹脂遇到高溫著火後假设無外在因素予以撲滅時，會不停的一直燃燒下去直到分子中的碳氫氧或氮燃燒完畢為止。假设在其分子中以溴(約20%重量比的“溴素)取代了氫的位置，使可燃的碳氫鍵化合物一部份改換成不可燃的碳溴鍵化合物則可大大的降低其可燃性。此種加溴之樹脂難燃性

25、自然增強很多，但卻降低了樹脂與銅皮以及玻璃間的黏著力，而且萬一著火後更會放出劇毒的溴氣(在700-900燃燒中，溴化樹指會釋放出戴奧辛類Dioxins)，會帶來的不良後果。2022/9/13203.1.2玻璃纖維 前言 玻璃纖維(Fiberglass)在PWB基板中的功用，是作為補強材料。基板的補強材料尚有其它種，如紙質基板的紙材，Kelvar(Polyamide聚醯胺)纖維，以及石英(Quartz)纖維。 玻璃(Glass)本身是一種混合物，其組成見表它是一些無機物經高溫融熔合而成，再經抽絲冷卻而成一種非結晶結構的堅硬物體。 玻璃纖維布 玻璃纖維的製成可分兩種，一種是連續式(Continuo

26、us)的纖維另一種則是不連續式(discontinuous)的纖維前者即用於織成玻璃布(Fabric)，後者則做成片狀之玻璃蓆(Mat)。FR4等基材，即是使用前者，CEM3基材，則採用後者玻璃蓆。 2022/9/13213.2 銅箔(copper foil) 早期線路的設計粗粗寬寬的,厚度要求亦不挑剔,但演變至今日線寬3,4mil,甚至更細(現已有工廠開發1 mil線寬),電阻要求嚴苛.抗撕強度,外表Profile等也都詳加規定.3.2.1傳統銅箔 輾軋法 (Rolled-or Wrought Method) 是將銅塊經屡次輾軋製作而成，其所輾出之寬度受到技術限制很難達到標準尺寸基板的要求(

27、3呎*4呎) ,而且很容易在輾製過程中造成報廢，因外表粗糙度不夠,所以與樹脂之結合能力比較不好，而且製造過程中所受應力需要做熱處理之回火軔化(Heat treatment or Annealing),故其本钱較高。 2022/9/1322 電鍍法 (Electrodeposited Method) 最常使用於基板上的銅箔就是ED銅.利用各種廢棄之電線電纜熔解成硫酸銅鍍液，在殊特深入地下的大型鍍槽中，陰陽極距非常短,以非常高的速度沖動鍍液，以600ASF之高電流密度，將柱狀 (Columnar) 結晶的銅層鍍在外表非常光滑又經鈍化的 (passivated) 不銹鋼大桶狀之轉胴輪上(Drum)，

28、因鈍化處理過的不銹鋼胴輪上對銅層之附著力並不好，故鍍面可自轉輪上撕下，如此所鍍得的連續銅層,可由轉輪速度，電流密度而得不同厚度之銅箔，貼在轉胴之光滑銅箔外表稱為光面(Drum side), 另一面對鍍液之粗糙結晶外表稱為毛面 (Matte side) .此種銅箔: 2022/9/1323 厚度單位一般生產銅箔業者為計算本钱, 方便訂價，多以每平方呎之重量做為厚度之計算單位，如1.0 Ounce (oz)的定義是一平方呎面積單面覆蓋銅箔重量1 oz (28.35g)的銅層厚度.經單位換算 35 微米 (micron)或1.35 mil. 一般厚度1 oz 及1/2 oz而超薄銅箔可達 1/4 o

29、z,或更低. 3.2.2 新式銅箔介紹及研發方向 超薄銅箔 一般所說的薄銅箔是指 0.5 oz (17.5 micron ) 以下，1.0 oz 或稱為 35 micron 1/2 oz 或稱為 17.5 micron1/3 oz 或稱為 12 micron2022/9/13243.3.3 銅箔的分類按 IPC-CF-150 將銅箔分為兩個類型，TYPE E 表電鍍銅箔，TYPE W 表輾軋銅箔,再將之分成八個等級，class 1 到 class 4 是電鍍銅箔，class 5 到 class 8 是輾軋銅箔.現將其型級及代號分列於表class Type 名 稱 代號 1 E Standard

30、 Electrodeposited STD - TypeE 2 E High Ductility Electrodeposited HD - TypeE 3 E High Temperature Elongation HTE TypeE Electrodeposited4 E Annealed Electrodeposited ANN - TypeE5 W As Rolled -wrought AR TypeW6 W Light Cold Rolled -Wrought LCR TypeW7 W Anneal-Wrought ANN TypeW8 W As Rolled -Wrought lo

31、w - temperature ARLT TypeW annealable2022/9/13253.4 PP(膠片 Prepreg)的製作 Prepreg是preimpregnated的縮寫，意指玻璃纖維或其它纖維浸含樹脂，並經部份聚合而稱之。其樹脂此時是B-stage。Prepreg又有人稱之為Bonding sheet 膠片製作流程3.4.2製程品管 製造過程中，須定距離做Gel time, Resin flow, Resin Content的測試，也須做Volatile成份及Dicy成份之分析，以確保品質之穩定。 3.4.3 儲放條件與壽命 大部份EPOXY系統之儲放溫度要求在5以下，其

32、壽命約在36個月，儲放超出此時間後須取出再做3.3.2的各種分析以判定是否可再使用。而各廠牌prepreg可參照其提供之Data sheet做為作業時的依據。 (Solvent Removal)玻璃布CoatingDryingB-StagingPrepregVarnish(Chemical Advancement)2022/9/13263.4.4膠片種類，其膠含量及Cruing後厚度關係，見表3.4基板的現在與未來 趨使基板不斷演進的兩大趨動力(Driving Force)，一是極小化(Miniaturization)，一是高速化(或高頻化)。 。 Prepreg 種類 膠合量(%) 硬化後厚

33、度in(m/m)1040106010802116762875 +72 7563 6 550 5535 45 0.0012 (0.03mm) 0.0018 (0.046mm) 0.0026 (0.066mm) 0.004 (0.10mm) 0.0065 (0.17mm)2022/9/13272022/9/13282022/9/1329四.內層製作與檢驗 4.1 製程目的 三層板以上產品即稱多層板,傳統之雙面板為配合零件之密集裝配，在有限的板面上無法安置這麼多的零組件以及其所衍生出來的大量線路，因而有多層板之發展。加上美國聯邦通訊委員會(FCC)宣佈自1984年10月以後，所有上市的電器產品假设有

34、涉及電傳通訊者，或有參與網路連線者，皆必須要做“接地以消除干擾的影響。但因板面面積不夠,因此PWB lay-out就將“接地與“電壓二功能之大銅面移入內層，造成四層板的瞬間大量興起,也延伸了阻抗控制的要求。而原有四層板則多升級為六層板，當然高層次多層板也因高密度裝配而日見增多. 2022/9/13304.2 製作流程 依產品的不同現有三種流程 A. Print and Etch 發料對位孔銅面處理影像轉移蝕刻剝膜 B. Post-etch Punch 發料銅面處理影像轉移蝕刻剝膜工具孔 C. Drill and Panel-plate 發料鑽孔通孔電鍍影像轉移蝕刻剝膜 上述三種製程中,第三種是

35、有埋孔(buried hole)設計時的流程,2022/9/13314.2.0發料 發料就是依製前設計所規劃的工作尺寸，依BOM來裁切基材，是一 很單純的步驟，但以下幾點須注意： A. 裁切方式-會影響下料尺寸 B. 磨邊與圓角的考量-影響影像轉移良率製程 C. 方向要一致-即經向對經向，緯向對緯向 基板材料尺寸:1. 36.0“ * 48.0 (914.40 * 1219.20 mm)2. 40.0“ * 48.0 (1016.00 * 1219.20 mm)3. 42.0“ * 48.0 (1066.80 * 1219.20 mm)2022/9/13324.2.1 銅面處理 在印刷電路板製

36、程中，不管那一個step，銅面的清潔與粗化的效果，關係著下一製程的成敗，所以看似簡單，其實裡面的學問頗大。 A. 須要銅面處理的製程有以下幾個 a. 乾膜壓膜 b. 內層氧化處理前 c. 鉆孔後(化學銅前) d. 綠漆前 e. 噴錫(或其它焊墊處理流程)前 f. 金手指鍍鎳前 2022/9/1333B. 處理方法 現行銅面處理方式可分三種： a. 刷磨法(Brush) b. 噴砂法(Pumice) c. 化學法(Microetch) 表4.1刷輪材質 Mesh數 控制方式 其它特殊設計Deburr Bristle #180 or #240 (1) 電壓,電流 高壓後噴水洗去巴里 緊毛刷 Gri

37、ts (2) 板厚 前超音波水洗內層壓膜前處理 Bristle #600 Grits (1) 電壓,電流 後面可加去脂 Nylon (2) 板厚 或微蝕處理外層壓膜前處理 Bristle #320 Grits (1) 電壓,電流 後面可加去脂 Nylon (2) 板厚 或微蝕處理S/M前表面處理 Bristle #600 Grits (1) 電壓,電流 有捨刷磨而 Nylon #1200Grits (2) 板厚 以氧化處理的表4.1 銅面機械式處理 (此表僅供參考)2022/9/13344.2.2 影像轉移印刷法 A. 前言 電路板自其起源到目前之高密度設計,一直都與絲網印刷(Silk Scr

38、een Printing)或網版印刷有直接密切之關係，故稱之為“印刷電路板。目前除了最大量的應用在電路板之外，其他電子工業尚有厚膜(Thick Film)的混成電路(Hybrid Circuit)、晶片電阻(Chip Resist )、及外表黏裝(Surface Mounting)之錫膏印刷等也都優有應用。 以下是目前尚可以印刷法cover的製程: a.單面板之碳墨或銀膠 b.文字 c.可剝膠(Peelable ink) 2022/9/1335乾膜法 更詳細製程解說請參讀外層製作.本節就幾個內層製作上應注意事項加以分析. A. 一般壓膜機(Laminator)對於0.1mm厚以上的薄板還不成問

39、 題,只是膜皺要多注意 B. 曝光時注意真空度 C. 曝光機臺的平坦度 D. 顯影時Break point 維持5070% ,溫度30+_2,須 auto dosing. 2022/9/13364.2.3 蝕刻 現業界用於蝕刻的化學藥液種類，常見者有兩種，一是酸性氯化銅(CaCl2)、蝕刻液，一種是鹼性氨水蝕刻液。 兩種藥液的選擇，視影像轉移製程中，Resist是抗電鍍之用或抗蝕刻之用。在內層製程中D/F或油墨是作為抗蝕刻之用，因此大部份選擇酸性蝕刻。外層製程中，假设為傳統負片流程，D/F僅是抗電鍍，在蝕刻前會被剝除。其抗蝕刻層是鍚鉛合金或純鍚，故一定要用鹼性蝕刻液，以免傷及抗蝕刻金屬層。 B

40、阻劑銅線路DAC基板Undercut/Side=(B-A)/2Etching Factor=D/C2022/9/13374.3 內層檢測 AOI(簡單線路採目視) 電測(修補)確認 內層板線路成完後,必須保證通路及絕緣的完整性(integrity),即如同單面板一樣先要仔細檢查。因一旦完成壓合後,不幸仍有缺陷時,則已為時太晚,對於高層次板子而言更是必須先逐一保證其各層品質之良好,始能進行壓合,由於高層板漸多,內層板的負擔加重,且線路愈來愈細,萬一有漏失將會造成壓合後的昂貴損失.傳統目視外,自動光學檢查(AOI)之使用在大廠中已非常普遍,利用電腦將原圖案牢記,再配合特殊波長光線的掃瞄,而快速完美

41、對各層板詳作檢查。但AOI有其極限,例如細斷路及漏電(Leakage)很難找出,故各廠漸增加短、斷路電性測試。AOI及測試後面有專題,在此不詳述. 2022/9/1338五.壓合5.1. 製程目的:將銅箔(Copper Foil),膠片(Prepreg)與氧化處理(Oxidation)後的內層線路板,壓合成多層基板. 5.2.壓合流程,如下圖5.1:5.3. 各製程說明內層氧化處理疊板壓合後 處 理圖5.12022/9/1339三、疊合之自動化半自動化指單冊的疊置(Lay up)，與多層的疊合(Pile up)，均採人工疊準操作。至於各種散材及工具板的供應，則以自動機械或手動輸送。全自動化是指

42、將各面積大重量輕的散材及較重的鏡板，利用吸起方式騰空運輸。按疊置的先後順序，從四面八方的立體交通航路中，逐一及時送到疊合中心的正確位置，再輕輕放落進行疊置。這種猶如高速公路多方交會立體匝道一般，讓各種物料準時準點的依序進退，重複往返，其軟硬體的良好設計，及現場的順利操作又是何其不易。 2022/9/13405.3.1 內層氧化處理(Black/Brown Oxide Treatment) 氧化反應 A. 增加與樹脂接觸的外表積,加強二者之間的附著力(Adhesion).B. 增加銅面對流動樹脂之潤濕性,使樹脂能流入各死角而在硬化後 有更強的抓地力。C. 在裸銅外表產生一層緻密的鈍化層(Pass

43、ivation)以阻絕高溫下 液態樹脂中胺類(Amine)對銅面的影響。黑氧化處理之物性 氧化處理製程已被廣泛應用在多層板壓合前的內層處理。其主要原因即在於，氧化處理可增加內層板銅面的外表粗糙度，進而增加了環氧樹脂與銅皮之間面的結合力。粉紅圈經常會發生在電路板的導通孔(Via Hole)內層平環與孔壁啣接之邊緣。其發生的原因是由於酸性溶液側向侵蝕內層銅面上的氧化層，而將之洗掉造成粉紅圈。其形狀與大小更會受氧化處理製程、鑽孔製程、電鍍製程的影響。2022/9/13415.3.2 疊板 進壓合機之前,需將各多層板使用原料準備好,以便疊板(Lay-up)作業.除已氧化處理之內層外,尚需膠片(Prep

44、reg),銅箔(Copper foil),以下就敘述其規格種類及作業: P/P(Prepreg)之規格P/P的選用要考慮以下事項: 絕緣層厚度 內層銅厚 樹脂含量 內層各層殘留銅面積 對稱 最重要還是要替客戶節省本钱 Glass Style Resin Flow Resin Content Pressed Thickness VolatilePH78 325% 483% 0.00865” 0.50%7628 214% 423% 0.00745” 0.75%1506 285% 483% 0.00619” 0.60%2116 315% 523% 0.00459” 0.75%1080 405% 62

45、3% 0.00277” 1.00%106 505% 723% 0.00210” 15 5 4.5 4.5厚度(mil)重量(oz)抗張力(KLb/in2)伸率 (%)Class 1NormalH.T.E.NormalH.T.E.1/2 OZ/ft2 0.70.15 5% 15 15 4.5 4.51 OZ/ft2 1.40.2 5% 30 20 6.0 102 OZ/ft2 2.80.3 5% 30 20 10 10. 壓合流程品質管制重點: a. 板厚、板薄、板翹 b. 銅箔皺折、 c. 異物,pits & dentsd. 內層氣泡 e. 織紋顯露f. 內層偏移 2022/9/1343疊合之

46、操作一、有銷壓板法之疊合所謂有銷疊合，就是指多層板的散材及疊合所用的各種工具；如內層板、外層板(此處是指雙面薄板，一面已做內層，另一面則當外層；或僅用單面薄基板當外層)、膠片、隔板、脫模紙等，需分別在其特定的位置處，先行鑽出或沖出插銷孔，以便逐一套疊在可上下鉚合的厚鋁板中，然後送入壓合機進行熱壓。壓合完畢後，還要逐一拆下定位銷，才能取出多層板半成品，可謂相當費事。此種早期有銷的做法，不但事先事後的瑣碎工作太多，而且所壓合之面積不大，所疊落多層板散材之冊數也不多，自然在產量上，與大面積多冊數的無銷法不能相比。雖然此種無銷式大型大量的Mass Lamination，對於四、六層板確是極其方便，八層

47、板也還可以免為其難；但面對10層以上的高層數多層板，每因層間對準度不佳；造成良品率低落，於此情況下在徒呼負負之餘，也只好走回原來有銷的路子。不過，此種高層數的有銷套疊做法，其插銷多已改用挫圓銷(Flatted Round Pin)，或與圓銷合用，使多量的散材能在同一基礎上進行套疊，以增加對準度及減少因膨脹與流膠而產生的應力。2022/9/1344二. 無銷大型壓板法之疊合無銷法雖較簡單，但上下散材如何對準，為其成敗的關鍵。各散材做好內層板面匹配及上下對齊，是正確施力的主旨，更是造成偏滑與否的重要原因。不僅每兩片鏡板間，其單一散冊本身之中必須要上下落齊；而且各鏡板間的散冊也絕對要垂直對準。甚至整

48、部壓機各開口中所整體堆放的板材，也都要對準在中心的位置，如此方能使力量集中防止偏滑。無銷對準的疊置方式有很多種，其中有兩法在業界較為流行： 影燈式 靠邊對齊式2022/9/13455.3.4 後處理作業 .後處理之流程: A. 銑靶,打靶-完成壓合後板上的三個箭靶會明顯的出現浮雕(Relief), a.手動作業:將之置於普通的單軸鑽床下用既定深度的平頭銑刀銑出 箭靶及去掉原貼的耐熱膠帶,再置於有投影燈的單軸鑽床或由下向 上沖的沖床上沖出靶心的定位孔,再用此定位孔定在鑽床上即行鑽 孔作業。 b.X-Ray透視打靶:有單軸及雙軸,雙軸可自動補償取均值,減少公差.B. 剪邊(CNC裁板)-完成壓合的

49、板子其邊緣都會有溢膠,必須用剪床裁掉 以便在後續製程中作業方便及防止造成人員的傷害,剪邊最好沿著邊 緣直線內1公分處切下,切太多會造成電鍍夾點的困擾,最好再用磨邊 機將四個角落磨圓及邊緣毛頭磨掉,以減少板子互相間的刮傷及對槽 液的污染。或者現在很普遍直接以CNC成型機做裁邊的作業 2022/9/1346六、鑽孔 6.1 製程目的 單面或雙面板的製作都是在下料之後直接進行非導通孔或導通孔的鑽孔,多層板則是在完成壓板之後才去鑽孔。傳統孔的種類除以導通與否簡單的區分外,以功能的不同尚可分:零件孔,工具孔,通孔(Via),盲孔(Blind hole),埋孔(Buried hole)(後二者亦為via

50、hole的一種).近年電子產品輕.薄.短.小.快.的發展趨勢,使得鑽孔技術一日千里,機鑽,雷射燒孔,感光成孔等,不同設備技術應用於不同層次板子.現僅就機鑽局部加以介紹,其他新技術會在20章中有所討論. 6.2 流程 上PIN鑽孔檢查2022/9/1347鑽孔概談 鑽孔在印刷電路板的流程中為重要製程之一，鑽孔的品質好壞，對後製程有著相當的影響，因此，鑽孔品質的控制非常重要。在鑽孔作業中，轉速與進刀速的搭配對孔壁品質有決定的因素，甚至影響到鑽頭的使用壽命與鑽軸spindle的使用壽命，因此如何找出轉速與進刀速的最正确搭配條件，實為鑽孔室一大責任。一般而言，從孔壁的切片情況，可約略看出轉速與進刀速搭

51、配的好與壞，倘假设二者搭配不好，則孔壁就會產生孔壁粗糙(roughness)，膠渣(smear)、毛頭(burr)、釘頭(nail-head)。 2022/9/1348鑽孔技術之探討 隨著SMT板之廣泛使用及高線路密度板子之製造，對於小直徑鑽針鑽孔的需要也年年增加 。然而小直徑之鑽孔仍有許多技術上的困難仍需解決。從鑽孔的觀點來看，一般孔徑在雙排插腳I C孔著重於解決膠渣( Smear )、孔壁的外表粗糙度、刀具壽命等問題；對於小孔徑之鑽孔則著重於以下幾點： 鑽針需不易折斷 孔位準確度要良好 孔內壁之外表要十分平滑 刀具壽命時間長 減少膠渣產生的程度 進刀 / 出刀口處的毛頭(Burrs)要減少

52、由於小孔徑孔的縱橫比(Aspect Ratio)較一般孔徑增加許多，因此斷針及孔位準確度也由於鑽針撓性強度的降低及因退屑槽(Flute)減小，排屑困難而變得更加重要。2022/9/13496.6 檢查及品質重點 6.6.1 品質重點 1. 少鑽 2. 漏鑽 3. 偏位 (上述以底片check) 4. 孔壁粗糙 5. 釘頭 (切片) 6. 巴里(burr) 鑽孔結束板邊coupon設計(見圖6.5) 板邊設計coupon的用意如下: 1. 檢查各孔徑是否正確 2. 檢查有否斷針漏孔 3. 可設定每1000,2000,3000 hit鑽一孔來檢查孔壁品質. 孔徑大小依序圖6.5成型線2022/9/

53、1350七鍍通孔 7.1製程目的 雙面板以上完成鑽孔後即進行鍍通孔(Plated Through Hole ,PTH)步驟，其目的使孔壁上之非導體部份之樹脂及玻纖束進行金屬化( metalization ),以進行後來之電鍍銅製程,完成足夠導電及焊接之金屬孔壁。 7.2製造流程 去毛頭除膠渣PTH & 一次銅 7.2.1. 去巴里 (deburr) 鑽完孔後,假设是鑽孔條件不適當,孔邊緣有1.未切斷銅絲2.未切斷玻纖的殘留,稱為burr.因其要斷不斷,而且粗糙,假设不將之去除,可能造成通孔不良及孔小,因此鑽孔後會有de-burr製程.也有de-burr是放在Desmear之後才作業.一般de-

54、burr是用機器刷磨,且會参加超音涉及高壓沖洗的應用.可參考表4.1. 2022/9/1351高錳酸鹽之除膠渣在多層板製造中，鑽孔時所產生的摩擦熱使得樹脂熔融，冷卻後會附著在孔壁上而成為膠糊渣(Smear)。假设是出現在內層銅導體斷面上，將會產生斷路或導電障礙等不良現象，發生在樹脂及玻璃面上，會發鍍層與底材之附著力不強等缺點。為了確保此處電鍍層導通的信賴度，有必要做desmear 或etchback的處理。其他除膠渣方法：一.鉻酸法二.硫酸法三.電漿法2022/9/13527.3 高密度細線路技桁 電路板的密度以往主要受限於鑽孔的尺寸，因此似乎線路密度成長的迫切性也就沒有那麼高。細線路由於鑽孔

55、技術的進步及MCM-L技術的需求，近來備受重視。而運用傳統的Tenting & Etching技術，想作到小於1OOm的線路走十分困難的。Additive process能降低甚至防止蝕刻的問題，只是必須使用特定的物料與流程，因此在電子封裝領域較少被運用。A. Additive Process其銅線路是用電鍍光阻定義出線路區，以電鍍方式填入銅來達形成線路。此類製程分為Semi Additive與Fully Additive兩類，Semi Additive 利用壓合薄銅於各類樹脂上，再以電鍍及蝕刻達到形成線路的目的。Fully Additive則是利用樹脂外表粗化，其後塗布加強黏合層以改善無電銅

56、與板面連結強度，之後以無電解銅長出線路。典型的線形式Subtractive/Semi Additive/Fully Additive示意如下圖：圖8.7 圖8.72022/9/13537.4 小孔或深孔鍍銅 電路板的裝配日趨緊密，其好處不外減少最後產品的體積及增加資訊處理的容量及速度。對板子而言細線及小孔是必然要面對的問題。就小孔而言，受衝擊最大的就是鍍銅技術，要在孔的Aspect Ratio很高時，既要得到mil厚的孔壁，又不發生狗骨現象，而且鍍層的各種物性又要通過現有的各種規範，其中種種需待突破的困難實在不少。7.5水平電鍍水平電鍍方式加上脈波整流器應是徹底克服小孔,高縱橫比,細線等極高密

57、度板子電鍍瓶頸,panel plating已不是問題反脈波電鍍(InPulse Plating)法，以減少面銅與孔銅之間的差異，並增加銅層的延展性，。2022/9/1354八 外層 8.1 製程目的 經鑽孔及通孔電鍍後,內外層已連通,本製程在製作外層線路,以達電性的完整. 8.2 製作流程 銅面處理壓膜曝光顯像 8.2.1 銅面處理 詳細資料請參考4.內層製作. 8.2.2 壓膜 2022/9/1355乾膜介紹 乾膜(dry film)的構造見圖8.1 壓膜(Lamination)作業 A. 壓膜機壓膜機可分手動及自動兩種,有收集聚烯類隔層的捲輪，乾膜主輪，加熱輪，抽風設備等四主要部份,進行連

58、續作業,其示意見圖8.2 圖8.2圖8.12022/9/13568.2.3 曝光 Exposure 曝光機種類 手動與自動 平行光與非平行光 LDI雷射直接暴光 A. 手動曝光機，是將將欲曝板子上下底片以手動定PIN對位後， 送入機台面，吸真空後曝光。 B. 自動曝機一般含Loading/unloading，須於板子外框先做好工 具孔，做初步定位再由機台上之CCD，Check底片與孔的對位 狀況，並做微調後入曝光區曝光。依目前的精密須求程度， 不以視覺機器自動對位，恐怕做不到好品質的板子。 2022/9/1357 圖8.5C. 非平行光與平行光的差異，平行光可降低Under-Cut。其差異 點

59、，可見圖8.5，顯影後的比較。做細線路(4mil以下)非得用 平行光之曝光機。 D. 另有一種LDI(Laser Direct Imaging)鐳射直接感光之設備與 感光方式。是利用特殊之感光膜coating在板面，不須底片直 接利用鐳射掃描曝光。其細線可做到2mil以內，利用多beam 方式18in24in的板子，已有號稱曝光時間僅30 秒。 2022/9/13588.2.4. 顯像Developing作業注意事項 A. 顯像是把尚未發生聚合反應的區域用顯像液將之沖洗掉，已 感光部份則因已發生聚合反應而洗不掉仍留在銅面上成為蝕 刻或電鍍之阻劑膜。注意在顯像前不可忘記把外表玻璃紙撕 掉。 B.

60、 顯像點Break point (從設備透明外罩看到已經完全顯現出圖 樣的該點的距離稱之)應落於5070%間，不及,銅面有scun殘 留,太過,則線邊有膜屑或undercut過大.最好有自動添加系統 (auto-dosing).另外噴灑系統設計良否也會影響顯像點.C. 顯像良好的側壁應為直壁式者，顯像缺乏時容易發生膜渣 (Scum)造成蝕刻板的短路、銅碎、及鋸齒突出之線邊，顯像 機噴液系統之過濾不良時也會造成此種缺點。檢查Scum的方 法可用之氯化銅溶液(Cupric Chloride CuCl 2)或氯化 銨溶液浸泡，假设銅面上仍有鮮亮的銅色時，即可判斷有 Scum 殘留. D. 顯像完成板