乐山高新区3000ta多晶硅项目环境影响报告书

1、乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书PAGE -PAGE 17-北京京诚嘉宇环境科技有限公司1.总论论1.1概概述太阳能级级多晶硅硅能有效效利用太太阳能，太阳能能做为一一种清洁洁能源，对我国国可持续续发展意意义重大大，20005年年3月中中华人民民共和国国主席令令33号号正式颁颁布了中华人人民共和和国可再再生能源源法明明确指出出了国家家发展可可再生能能源，为为了鼓励励国家新新能源产产业的发发展，国国家发改改委高计计200055099号文件件要求组组织实施施可再生生能源和和新能源源高技术术产业化化，明确确要求解解决我国国太阳能能电池用用多晶硅硅原料生生产和光光伏产业业链发展展不平衡衡

2、的问题题。在世界各各国，尤尤其是美美、日、德等发发达国家家先后发发起的大大规模国国家光伏伏发展计计划和太太阳能屋屋顶计划划的刺激激和推动动下，世世界光伏伏工业近近年来保保持着年年均300以上上的高速速增长，全球目目前多晶晶硅缺口口在60000tt左右，专家预预测，光光伏发电电将在新新世纪前前半期超超过核电电成为最最重要的的基础能能源之一一。多晶晶硅是半半导体工工业、电电子信息息产业、太阳能能光伏电电池产业业的最主主要、最最基础的的功能性性材料，多晶硅硅太阳能能电池生生产需要要多晶硅硅材料，集成电电路用硅硅单晶生生产同样样需要多多晶硅，其重要要性不言言而喻。我国多晶晶硅无论论是技术术水平还还是生

3、产产规模上上均与世世界先进进水平有有很大的的差距，产量仅仅占世界界总产量量的0.3%0.44%，目目前主要要依赖进进口，在在缺少国国内竞争争的条件件下，进进口多晶晶硅价格格一直居居高不下下，严重重影响了了我国信信息产业业和太阳阳能利用用的发展展，因此此，本项项目建设设可提高高我国多多晶硅的的生产能能力，不不仅对企企业发展展起重要要作用，也对我我国信息息产业和和太阳能能利用的的发展起起到积极极的推动动作用。硅材料产产业是国国家鼓励励发展的的具有广广阔前景景的高新新技术产产业，是是各地战战略投资资者高度度关注和和争相抢抢占的竞竞争制高高点。乐乐山市硅硅材料产产业在省省委、省省政府的的大力关关心支持

4、持下，发发展势头头迅猛，20007年22月乐山山高新技技术产业业开发区区内的新新光硅业业公司110000吨多晶晶硅已试试车成功功。为在在乐山高高新技术术产业开开发区进进一步发发展多晶晶硅产业业，形成成乐山市市的“硅产业业链”，乐山山市计划划在高新新区抓紧紧推进330000t/aa的多晶晶硅项目目的实施施。乐山山市高新新区30000tt/a多多晶硅项项目，是是乐山培培育硅材材料产业业集群和和打造硅硅材料百百亿园区区的重大大项目，市委、市政府府对此高高度重视视，专门门成立了了硅材料料产业发发展工作作领导小小组，全全力做好好协调服服务工作作。根据中中华人民民共和国国环境保保护法、中中华人民民共和国国

5、环境影影响评价价法、国务院院199982533号令建设项项目环境境保护管管理条例例等有有关规定定，在项项目前期期可行性性研究阶阶段，需需进行环环境影响响评价工工作，为为此，乐乐山高新新区管委委会于220077年7月月委托国国家环境境保护总总局环境境发展中中心承担担该项目目的环境境影响评评价工作作。接受受委托后后，评价价单位详详细收集集和分析析与工程程项目有有关的基基础资料料，通过过大量调调查、监监测和模模拟，在在系统深深入的研研究基础础上，编编制了“乐山高高新区330000t/aa多晶硅硅项目环环境影响响报告书书”，提交交环境保保护主管管部门审审查。1.2编编制依据据1.2.1法律律、法规规（

6、1）中华人人民共和和国环境境保护法法，19989.12.26；（2）中华人人民共和和国大气气污染防防治法，20000.4.229；（3）中华人人民共和和国水污污染防治治法，19996.5.115；（4）中华人人民共和和国固体体废物污污染环境境防治法法，20005.4.11；（5）中华人人民共和和国环境境噪声污污染防治治法，19997.3.11；（6）中华人人民共和和国水土土保持法法，19991.6.229；（7）中华人人民共和和国清洁洁生产促促进法，20003.1.11；（8）中华人人民共和和国环境境影响评评价法，20002.10.28；（9）中华人人民共和和国节约约能源法法，19998.1.

7、11；（10）建设设项目环环境保护护管理条条例，国务院院19998第2553号令令，19998.11.29；（11）建设设项目环环境保护护分类管管理名录录，国家环环境保护护总局令令第144号； （12）国务务院关于于环境保保护若干干问题的的决定，国发19996331号，19996.88.6；（13）关于于加快推推行清洁洁生产的的意见，国家发发展改革革委等十十一部委委，20004.1；（14）关于于加强环环境影响响评价管管理防范范环境风风险的通通知，环发200051152号号；（15）关于于检查化化工石化化等新建建项目环环境奉献献的通知知，环环办200064号；（16）四川川省中中华人民民共和国

8、国水法实施办办法，20005.007.001；（17）四川省省中华人人民共和和国大气气污染防防治法实施办办法，20002.009.001；（18）四川川省环境境保护条条例，19991.007.229；（19）四川川省人民民政府关关于加强强环境保保护工作作的决定定，119966年11月22日川府发发1999642号号；（20）四川川省人民民政府关关于四川川省地面面水水域域环境功功能划类类管理规规定，19992年11月133日 川川府发1999255号；（21）乐山市市人民政政府办公公厅关于于印发乐山市市环境空空气质量量功能区区划分的的规定的通知知，乐府府办119977133号，119977.03

9、3.199；（22）乐山市市人民政政府关关于乐山山市地面面水水域域环境功功能类别别的规定定的通知知，乐乐府发19993110号；（23）乐山市市人民政政府办公公厅关于于印发乐山市市中心城城区环境境噪声标标准适用用区域划划分暂行行规定的的通知，乐府府办发19998995号。1.2.2政策规定定（1）国务院院关于落落实科学学发展观观加强环环境保护护的决定定，国发2000539号号；（2）产业结结构调整整指导目目录（220055年本），国国家发展展和改革革委员会会第400号令，20005.112.22；（3）关于进进一步加加强产业业政策和和信贷政政策协调调配合控控制信贷贷风险有有关问题题的通知知，发

10、改产产业2200447446号；（4）关于加加强工业业节水工工作的意意见，国家经经贸委等等六部委委，国经经贸资源源2000010115号，20000.110.225。1.2.3技术导导则与规范（1）环境影影响评价价技术导导则 总纲（HJ/T2.1-993），国家家环境保保护局；（2）环境影影响评价价技术导导则 大大气环境境（HJ/T2.2-993），国家家环境保保护局；（3）环境影影响评价价技术导导则 地地面水环环境（HJ/T2.3-993），国家家环境保保护局；（4）环境影影响评价价技术导导则 声声环境（HJ/T2.4-995），国家家环境保保护局；（5）环境影影响评价价技术导导则 非非污染

11、生生态影响响（HJ/T199-19997），国家家环境保保护局；（6）建设项项目环境境风险评评价技术术导则（HJJ/T1169-20004），国家环环境保护护总局；（7）环境影影响评价价技术导导则 石石油化工工建设项项目（HJ/TT89-20003），国家家环境保保护局；（8）环境影影响评价价公众参参与暂行行办法（环发220066288号），国家家环境保保护总局局。1.2.4项目有关关资料1.2.4.1技技术资料料（1）乐乐山高新新区30000tt/a多多晶硅项项目环境境影响评评价委托托书，乐乐山高新新区管委委会，220077年7月；（2）四川新新光硅业业科技有有限责任任公司330000t/a

12、a太阳能能级多晶晶硅项目目可行性性研究报报告，中国成成达工程程公司，20006年6月；（3）乐山高高新区330000t/aa多晶硅硅项目环环境质量量现状监监测报告告，乐乐山市环环境监测测站，220077年7月月；（4）年产330000吨多晶晶硅配套套渣场项项目，乐山市市环境科科学研究究所，220077年8月月。1.2.4.2项目目文件（1）关于乐乐山高新新区30000tt/a多多晶硅项项目环境境影响评评价执行行标准的的函，四川省省环境保保护局，川函220077755号；（2）关于330000t/aa多晶硅硅项目取取水申请请的批复复，乐乐山市水水利局，20007年88月；（3）关于乐乐山市中中心

13、城区区20003年第第二批城城市建设设用地的的批复，四川川省人民民政府，川府土土200031888号；（4）关于乐乐山市220044年第一一批城市市建设用用地的批批复，四川省省人民政政府，川府土土2000557号号；（5）四川省省国土资资源厅关关于乐山山市中心心城区220011年第二二批城市市建设用用地的批批复，四川省省国土资资源厅，川国土土资建2000238号；（6）关于对对四川省省乐山市市高新技技术开发发区区域域环境影影响报告告书的批批复，四川省省环境保保护局，川环函200021211号；（7）关于乐乐山大佛佛风景名名胜区总总体规划划的函，中华华人民共共和国建建设部，建城函函2000634

14、44号；（8）关于乐乐山高新新技术产产业开发发区控制制性详细细规划的的批复，乐山山市人民民政府，乐府函函2000592号号；（9）关于四四川省乐乐山高新新技术产产业开发发区年产产30000吨多多晶硅配配套渣场场项目环环境影响响报告表表的批复复，乐乐山市环环境保护护局，乐乐市环建建管2200774113号。1.2.4.3规划划文本（1）乐山市市环境保保护“十一五五”规划（初稿），乐山山市环境境保护局局，20005年年10月月；（2）乐山高高新技术术产业开开发区控控制性详详细规划划（修编编），西南交交通大学学建筑勘勘察设计计研究院院，20005年年9月；（3）乐山城城市总体体规划（20003202

15、20），上海同同济城市市规划设设计研究究院，220044年100月；（4）乐山市市国民经经济河社社会发展展第十一一个五年年计划，乐山山市发展展和改革革委员会会，20006年年2月；（5）四川省省乐山市市土地利利用总体体规划，四川川省乐山山市人民民政府，19999年99月；（6）乐山大大佛风景景名胜区区总体规规划（20006），四川省省城乡规规划设计计研究院院。1.3评评价目的的、原则则1.3.1评价价目的根据项目目的性质质和特点点，结合合项目所所处地区区的环境境特征和和污染特特征，分分析预测测项目建建成后对对周围环环境可能能造成的的影响及及影响范范围和程程度；提提出避免免和减少少对环境境污染的

16、的措施；从环保保的角度度论证项项目建设设的可行行性；为为工程设设计和项项目建成成后的环环境管理理提供基基础资料料，为环环境保护护审批提提供依据据，以实实现建设设项目的的环境效效益、社社会效益益、经济济效益的的统一。1.3.2评价价原则本着实事事求是、客观公公正的精精神，根根据本项项目工程程及环境影影响复杂杂的特点点，确定定评价原原则为：（1）遵遵守国家家和四川川省相关关法律法法规，符符合相关关部门规规范性文文件规定定，满足足环评技技术导则则要求；（2）客客观、公公正、全全面、科科学地分分析本项项目对环环境的各各种影响响；（3）通通过现场场调查和和监测获获得第一一手数据据，保证证资料数数据的代代

17、表性、准确性性和时效效性，评评价方法法力求先先进、定定量、可可靠，情情景和工工况设定定尽量接接近实际际情况，评价结结论中提提出的对对策措施施具有可可操作性性；（4）贯贯彻“产业政政策”、“满足规规划”、“清洁生生产”、“达标排排放”、“总量控控制”、“循环经经济”的原则则；（5）以以多种形形式进行行公众参参与。1.4环环境影响响评价因因子选取取在识别出出本项目目主要环环境影响响因素的的基础上上，筛选选出本次次评价的的污染因因子，选选择对环环境影响响较大或或环境较较为敏感感的特征征污染因因子作为为本次评评价的评评价因子子，选取取结果见见表1-4-11。表1-44-1 项目评评价因子子一览表表评价

18、要素素评价类型型评价因子子环境空气气污染源调调查烟尘、SSO2环境现状状SO2、NO2、PM100、TSSP、HHCL和和氟化物物环境影响响HCL、氟化物物、NOO2和硅粉粉尘总量控制制硅粉尘、HCLL（特征征污染物物）风险评价价HCL、氟化物物地表水污染源调调查CODccr、氨氨氮、SSS环境现状状pH、水水温、溶溶解氧、高锰酸酸钾指数数、生化需需氧量、化学需需氧量、氨氮、石油类类、挥发酚酚、氟化物物、氯化物物环境影响响废水进入入污水处处理厂可可行性分分析总量控制制CODccr声环境现状及影影响连续等效效声级ddB(AA)固体废物物固废影响响工业性固固体废物物产生量量、处置置量和处处置方式式

19、1.5主主要环境境控制及及保护目目标根据现场场调查，结合本本项目排排污特征征和所在在区域的的环境功功能及环环境总体体控制目目标，确确定环境境空气保保护目标标为评价价区域内内居民点点、乐山山市区、乐山大大佛风景景名胜区区，地表表水环境境保护目标为为岷江，地地下水保保护目标标为厂址址所在区区域地下下水环境境，主要要保护目目标及功功能要求求见表11-5-1，分分布位置置见图11-5-1。表1-55-1 评价价区内主主要环境境保护目目标一览览表环境类别序号环境保护护目标区域特征征相对厂址址方位相对厂址址距离（mm）概况（人数）环境功能能要求环境空气1张家坝农村SW3800015000满足环环境空气气质

20、量标标准 (GBB30995-119966)二级级标准（乐山大大佛满足足一级标标准）2乐山市技技工学校校学校N200001000003肖公咀（市区）城区ENE550004乐山大佛佛风景区E500005车子乡杜杜家场（大佛山山风景区区边缘）农村、风风景区边边缘SE20000200006车子镇城镇SSE20000300007邢家湾农村SE40000180008乐山市城城区城区NE10000500005691107地表水1岷江过境河流流E40000地表水水环境质质量标准准（GB338388-20002）类标准准2大渡河水源地N100002青衣江过境河流流N20000地下水1地下水厂址所在在区域满足地

21、地下水质质量标准准（GGB/TT148848-93）类标准准噪声1厂界厂界外11m满足工工业企业业厂界噪噪声标准准（GGB1223488-900）类标准准1.6评评价等级级、评价价范围及及评价标标准1.6.1评价价等级和和评价范范围（1）环环境空气气评价工工作等级级和评价价范围 评价价等级 所在区区域属于于丘陵地形形，大气污污染物等等标排放放量计算算结果见见表1-6-1，根根据环环境影响响评价技技术导则则 大气气环境（HJJ/T22.2-933）的评评价级别别计算方方法，判判定本项项目环境境空气评评价计算算工作等等级为三三级。表1-66-1 环境空空气评价价等级计计算污 染 物排放量 (t/h

22、)环境标准准(mgg/m33)等标排放放量(mm3/h)判断值评 价 级 别HCI1.910-550.0550.388106一级Pii2.55109二级2.5109Pi2.55108三级Pii2.55108小于三级级硅粉尘1.010-441.000*0.1106HF5.010-550.0222.5106NOX9.010-550.2440.3775106 评价价范围环境空气气评价范范围考虑虑乐山市市城区及及乐山大大佛风景景名胜区区，在三三级评价价基础上上对评价价范围适适当扩大大，评价价范围确定以厂厂址为中中心，以以厂址所所在地主主导风向向为主轴轴，长110km、宽宽10kkm，面面积100 kk

23、m2的矩形形区域，见图11-5-1。（2）水水环境评价价工作等等级和评评价范围围 评价价等级地表水：根据环境影影响评价价技术导导则地地面水环环境（HJ/T2.3-993）划划分，本本项目废废水经厂厂区污水水处理站站后，达到污水综综合排放放标准GB889788-19996 一级标标准，通通过白滩滩堰排入入岷江，排水量量约1449m3/d，污水水中含CCOD、盐等，水质复复杂程度度简单，岷江多多年平均均流量447027000m3/s，属属于大河河。按关于乐乐山市地地面水水水域环境境功能类类别的规规定的通通知，评价河河段属类水体体，确定定本项目目地面水水环境影影响评价价为三级级。地下水：本项目目所在

24、区区域地下下水属于于地下下水质量量标准 GBB/T1148448-993的类地区区，本项项目评价价将在场场地及周周围区域域地下水水的现状状水质、水文地地质特征征等调查查、分析析基础上上，结合合项目特特点，对对地下水水的影响响只进行行简要分分析，提出防防止地下下水污染染的措施施建议。 评价价范围地表水评评价范围围：岷江江开发区区段废水水总排口口上游11km，下游55km。地下水现现状调查查和评价价范围：厂区边边界外2km范围围内。（3）声声环境评价价工作等等级和评评价范围围 评价价等级根据环环境影响响评价技技术导则则声环环境（HJ/T2.4-119955）划分分，项目目厂址属属于乐山山高新技技术

25、产业业开发区区，厂界声环环境执行行3类标标准，项项目建成成后距离离声环境境保护目目标较远远，因此确确定噪声声评价等等级为三三级。 评价价范围厂界外11m。（4）生生态评价价等级 评价价等级项目占地地18.9hmm2，属于于开发区区工业用用地，目目前土地地已平整整完毕，根据环境影影响评价价技术导导则非非污染生生态影响响（HHJ/TT19-19997）规规定，对对生态环环境影响响进行简简要分析析。 评价价范围厂界外延延10000m（5）环环境风险险评价工工作等级级和评价价范围 评价价等级本项目原原料、辅辅助材料料、中间间产品、产品等等主要物物料中，三氯氢氢硅、氟氟化氢等等为有毒毒物质，存在有有毒物

26、料料泄漏发发生人员员伤亡的的危险，硝酸为为具有腐腐蚀性的的物料，具有较较强的腐腐蚀性，对人有有灼伤危危害。从本项目目生产过过程分析析，重大大危险源源主要为为物料的的贮存场场所，生生产场所所包括罐罐区。依依据本项项目的危危险特性性和使用用及贮存存数量，生产场场所和贮贮存场所所为该项项目的主主要重大大危险源源，尤其其是罐区区的贮存存量远大大于重大大危险源源辩识中中危险物物质的临临界量。罐区存存在着发发生重大大火灾、爆炸或或毒物泄泄漏，对对环境造造成严重重污染事事故的可可能性。根据建建设项目目环境风风险评价价技术导导则（HJ/T 1169-20004）评评价工作作等级确确定原则则，本项项目环境境风险

27、评评价的工工作等级级确定为为一级评评价。 评价价范围环境风险险评价范范围是以以厂址中心心为原点点，半径径为5km的围围成的区区域，见见图1-5-11。1.6.2评价价标准根据四川川省环境境保护局局关于乐山山高新区区30000t/a多晶晶硅项目目环境影影响评价价执行标标准的函函（川环评函220077755号）批批复，本次评评价执行行的评价价标准如如下：1.6.2.11环境质质量标准准（1）环环境空气气SO2、NO2、TSPP、PM100、HF（参考考氟化物物（F）执执行环环境空气气质量标标准（GB330955-19996）二级标标准，HHCl参参考执行行工业业企业设设计卫生生标准（TJJ36-7

28、9）中表11“居住区区大气中中有害物物质的最最高容许许浓度”，标准准值见表表1-66-2。表1-66-2 环境空空气质量量标准 （mgg/Nmm3）质量标准准名称标准级别标准值污染物SO2NO2TSPPM100氟化物HCl环境空空气质量量标准(GB330955-19996)一级标准1小时平平均0.1550.1220.0220日平均0.0550.0880.1220.0550.0007年平均0.0220.0440.0880.044二级标准1小时平平均0.5000.2440.0220日平均0.1550.1220.3000.1550.0007年平均0.0660.0880.2000.100工业企企业设计

29、计卫生标标准（TJ336-779）一次0.055日均0.0115（2）地地表水地表水岷岷江厂址址段上下下游执行行地表表水环境境质量标标准（GB338388-20002）类标准准，标准准值见表表1-66-3。表1-66-3 地地表水环环境质量量标准 (mg/L，ppH除外外)序号污染物类标准准限值序号污染物类标准准限值1pH696氨氮1.002溶解氧57石油类0.0053高锰酸盐盐数68挥发酚0.00054BOD5549氟化物1.005COD2010总磷0.22（3）地地下水评价区域域地下水水执行地下水水质量标标准（GB/T1448488-933）类标准准，标准准值见表1-6-4。表1-66-4

30、 地地下水质质量标准准 （mmg/LL，pHH除外）序号项目类标准准限值序号项目类标准准限值1pH6.58.556亚硝酸盐盐氮0.0022总硬度45007氨氮0.223溶解性总总固体100008氟化物1.004高锰酸盐盐指数3.009氰化物0.0055硝酸盐氮氮2010硫酸盐2500（4）声声环境厂址区域域声环境境现状执执行城城市区域域环境噪噪声标准准（GGB30096-93）3类标标准，标标准值见见表1-6-5。表1-66-5 噪声评评价标准准功能区类类型执行的标标准和级级别标准值dB(A)昼间夜间环境噪声声城市区区域环境境噪声标标准（GB330966-933）3类类65551.6.2.22

31、污染物物排放标标准（1）大大气污染染物本项目生生产中排排放的废废气执行行大气气污染物物综合排排放标准准（GGB1662977-19996）表2新新污染源源二级排排放标准准，锅炉炉执行锅炉大大气污染染物排放放标准（GBB132217-20001）中时段标标准，导导热油加加热炉执执行工工业炉窑窑大气污污染物排排放标准准表22二级标标准，标标准值见见表1-6-77表1-6-99。表1-66-7 大气气污染物物排放标标准 （mgg/Nmm3）污染物最高允许许排放浓度度mg/mm3排气筒高度m排放速率率kg/hh无组织监监控浓度限值值mg/mm3备注SO2550152.60.4GB1662977-199

32、96 表2 中二二级30154025NOX（以NOO2 计）240150.7770.122304.4407.5颗粒物120153.51.0205.93023HCl100150.2660.200200.433301.4HF（参参照氟化化物标准准）9.0150.1000.022300.599401.0表1-66-8锅炉大大气污染染物排放放标准锅炉类别别烟尘烟气黑度度SO2 NOX燃气锅炉炉燃气101004001-6-9 工业炉炉窑大气气污染物物排放标标准炉窑类别别烟尘加热炉非金属加加热炉200（2）水水污染物物本项目生生产过程程中排出出的工艺艺污水先先进入厂厂区的污污水处理理站，处处理达标标后通过

33、过白滩堰堰排入岷岷江。排排水执行行污水水综合排排放标准准GBB89778-119966 一级级标准。具体标标准值见见表1-6-10。表1-66-100 污水综综合排放放标准 （mmg/LL，pHH除外）项目标准值备注pH(无无量纲)69污水综综合排放放标准GB889788-19996 一级标标准SS70CODccr100氨氮15BOD5520石油类5氟化物10（3）噪噪声厂界执行行工业业企业厂厂界噪声声标准（GBB 1223488-900）类标准准，施工工噪声建筑施施工厂界界噪声限限值（GB1225233-900）标准准，标准准值见表表1-6-11。表1-66-111 噪声评评价标准准标准名称

34、称和类别别噪声限值值（dBB）昼间夜间工业企企业厂界界噪声标标准（GB1223488-900）类标准准6555建筑施施工厂界界噪声限限值（GB1225233-900）65-885551.6.2.33控制标标准（1）固固体废物物执行危险废废物鉴别别标准（GBB50885.113-19996）、一般般工业固固体废物物贮存、处置场场污染控控制标准准（GGB1885999-20001）及危险险废物贮贮存污染染控制标标准（GBB125525-20001）；（2）环境保保护图形形标志排排放口（源）（GBB155562.1-119955）；（3）环境保保护图形形标志 固体废废物贮存存（处置置）场（GBB15

35、555622.2-19995）（4）重重大危险险源识别别采用重大危危险源辩辩识GGB1882188-20000。1.7评评价重点点（1）工工程分析析；（2）环环境质量量现状调调查与评评价；（3）环环境空气气影响预预测与评评价；（4）污污染防治治措施及及其技术术可行性性分析。2.工程程概况2.1建建设项目目名称、地点和和建设性性质项目名称称：乐山山高新区区30000t/a多晶晶硅项目目项目性质质：新建建 建设地点点：乐山山高新技技术产业业开发区区建业大大道以南南，乐高高大道和和茶山路路之间。 2.2建建设规模模、产品品方案及及年操作作时间2.2.1建设设规模多晶硅装装置 30000吨/年2.2.

36、2产品品方案主产品 330000吨/年年电路级级多晶硅硅副产物 四四氯化硅硅（高沸沸物，工工业级，含SiiCl44 95%） 三三氯氢硅硅（低沸沸物，工工业级，含SiiHCll3 94%）2.2.3年操操作时间间本项目年年操作时时间74440小小时。2.3产产品性质质、规格格及用途途2.3.1多晶晶硅(SSi，产产品)2.3.1.11性质多晶硅 具灰灰色金属属光泽，熔点 14110、沸点 23555、密度 2.33222.344，溶于氢氢氟酸和和硝酸的的混酸中中，不溶溶于水、硝酸和和盐酸。多晶硅按按纯度分分类可以以分为冶冶金用硅硅、太阳阳能级、电子级级。冶金金用硅是是硅的氧氧化物在在电弧炉炉中

37、被碳碳还原而而成，一一般纯度度为977999.3%，最高高可达999.88%以上上。电子子级硅一一般要求求纯度高高于999.99999%以上，超高纯纯达到999.9999999999%999.999999999999%（一般般称9个个9至111个99），其其导电性性介于110-4410010欧欧厘米。太阳能能级多晶晶硅纯度度介于冶冶金级硅硅与电子子级硅之之间，至至今未有有明确界界定。一一般认为为纯度在在99.99999%左左右。2.3.1.22规格本项目多多晶硅产产品的规规格和质质量指标标见表22-3-1。表2-33-1 多晶晶硅产品品规格和和质量指指标指标名称称产品规格格及质量量指标Si99

38、.9999999% w(太太阳能级级)受主水平平N-30000.cmm施主水平平P-3000.cB含量0.0003pppb wP含量 0.33ppbbC含量1000ppbb体内金属属含量0.55ppbb w (Fee、Cuu、Znn、Crr、Nii)形态表面无氧氧化夹杂杂物，呈呈银灰色色，带有有金属光光泽， 表面金属属杂质含含量：Fe0.255ppbb a/0.55ppbb wCu0.0225pppb aa/0.05pppb wNi0.055ppbb a/0.11ppbb wCr0.0555pppb aa/0.1pppb wwZn0.133ppbb a/0.33ppbb wNa0.988ppb

39、b a/0.88ppbb w2.3.1.33产品用途途多晶硅材材料是以以金属硅硅为原料料经一系系列的物物理化学学反应提提纯后达达到一定定纯度的的硅材料料，是硅硅产品产产业链中中的一个个极为重重要的中中间产品品。是电子子工业中中广泛用用于制造造半导体体收音机机、录音音机、电电冰箱、彩电、录像机机、电子子计算机机等的基基础材料料。多晶硅是是单晶硅硅及硅片片产品的的唯一原原料，用用多晶硅硅加工制制成的硅硅片(硅抛光光片、太太阳能级级硅片)主要用用于制作作集成电电路、整整流元件件、功率率晶体管管、分立立器件、探测器器、太阳阳能电池池等半导导体器件件。2.3.2四氯氯化硅(SiCCl4，副产产物)2.3

40、.2.11性质四氯化硅硅 无色色透明发发烟液体体，具有难难闻的窒窒息性气气味。熔点 -700、沸点 57.57、相对密密度 11.4883，可与苯苯、乙醚醚、氯仿仿、石油油醚、四四氯化碳碳、四氯氯化锡、四氯化化钛、一一氯及二二氯化硫硫以任何何比例混混溶。2.3.2.22规格四氯化硅硅(高沸沸物) 工工业级 含含SiCCl4 95%2.3.3.33产品用途途用于制硅硅酸酯类类、有机机硅单体体、有机机硅油、高温绝绝缘材料料、硅树树脂、硅硅橡胶等等，也用用作烟幕幕剂。2.3.3三氯氯氢硅(SiHHCl33，副产产物) 2.33.3.1性质质三氯氢硅硅 无色色液体。熔点 -1266.5、沸点 33、相

41、对密密度 11.344，溶解解性 能能溶于二硫硫化碳、四氯化化碳、氯氯仿、苯苯等。2.3.3.22规格三氯氢硅硅(低沸沸物) 工工业级 含含SiHHCl33 94%2.3.3.33产品用途途用作高分分子有机机硅化合合物的原原料，也也是生产产半导体体硅、单单晶硅的的原料。2.4项项目组成成本项目多多晶硅生生产装置置以及配配套的公公用工程程和辅助助设施详详见表22-4-1。表2-44-1 项项目组成成一览表表序号项目分类类主要内容容主要环境境问题施工期营运期一主体工程程30000t/a太阳阳能级多多晶硅装装置包括：三三氯氢硅硅合成、合成气气干法分分离、氯氯硅烷分分离提纯纯、三氯氯氢硅氢氢还原、还原

42、尾尾气干法法分离、四氯化化硅氢化化、氢化化气干法法分离、氯硅烷烷贮存、硅芯制制备、产产品整理理、废气气和残液液处理、工艺废废料处理理扬尘、废废水、建建渣、机机械噪声声废气、废废水、固固废、噪噪声二公用工程程供水、排水、循环水水、脱盐盐水、供供电、电电讯、自自动控制制系统、供热、冷冻站站、空压压制氮站站、中央央分析及及监测废气、废废水、噪噪声三贮运及辅辅助设施施储运设设施、维维修、污污水处理理站、渣渣场废水、无无组织废废气、固固废、噪噪声四办公及生生活设施拟建厂厂前区，设办公公楼和倒倒班宿舍舍等。本本项目定定员约 人。废水、固固废乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书简本 PAGE -

43、PAGE 101-国家环境保护总局环境发展中心2.5主主要工艺艺技术方方案、工工艺流程程及产污污分析2.5.1工艺艺技术方方案目前国际际上多晶晶硅生产产工艺有有70%以上均均采用改改良西门门子法，如：德德国WAACKEER公司司、美国国HSCC公司、日本德德山、三三菱、住住友公司司、意大大利MEEMC公公司、国国内的洛洛阳中硅硅集团、峨嵋半半导体材材料厂以以及新光光硅业科科技公司司的12260吨吨/年多多晶硅装装置等的的生产工工艺均属属此类，均经由由三氯氢氢硅的氢氢还原反反应获得得多晶硅硅产品。另有硅烷烷法多晶晶硅生产产工艺，是用硅硅烷进行行热分解解生成多多晶硅。与经由由三氯氢氢硅反应应的改良

44、良西门子子法相比比，该方方法对生生产的安安全性要要求及总总生产成成本均更更高，故故此法采采用不多多，其技技术的改改进和提提高还在在研究中中。随着光伏伏产业的的飞速发发展，太太阳能级级多晶硅硅的需求求迅速增增长，新新一代低低成本多多晶硅工工艺技术术的研究究空前活活跃。如如：德山山曹达的的熔融析析出法（VLDD工艺），采用用筒状反反应炉，析出液液体状硅硅；瓦克克的沸腾腾床法，采用FFBR型型反应器器，生成成粒状硅硅等等，但这些些工艺均均尚处于于研究或或试验阶阶段。2.5.2工艺艺技术路路线的确确定从以上所所述多晶晶硅生产产的主要要工艺技技术的现现状和发发展趋势势来看，改良西西门子工工艺能够够兼容电

45、电子级和和太阳能能级多晶晶硅的生生产，以以其技术术成熟、适合产产业化生生产等特特点，仍仍是目前前多晶硅硅生产普普遍采用用的首选选工艺。故本项项目15500吨吨/年电电路级多多晶硅装装置采用用改良西西门子法法生产多多晶硅。目前国内内采用改改良西门门子法生生产多晶晶硅的技技术来源源，主要要有国内内自有技技术、引引进俄罗罗斯技术术和引进进欧洲(德国、意大利利等国)技术、引进美美国GTT公司、DEII公司技技术等。国内技技术整体体上还不不很成熟熟，原料料和公用用工程（电等）消耗较较高，但但软件费费用低；俄罗斯斯技术，原料和和公用工工程消耗耗比国内内技术略略低，在在国内已已有在建建装置；美国公公司的生生

46、产技术术先进，也较为为成熟，消耗比比国内技技术低，但软件件费用相相当昂贵贵，而且且还有出出口限制制等问题题。三种种技术均均可选，在技术术谈判和和商务谈谈判阶段段需进一一步综合合比较方方可选定定。本可可研，暂暂按引进进技术结结合国内内技术考考虑。工艺流程程见图22-5-1。2.5.3反应应原理30000吨/年年电子级级多晶硅硅装置工工艺流程程由以下下主要工工序组成成：(1)三氯氢氢硅合成成工序(2)合成气气干法分分离工序序(3)氯硅烷烷分离提提纯工序序(4)三氯氢氢硅氢还还原工序序(5)还原尾尾气干法法分离工工序(6)四氯化化硅氢化化工序(7)氢化气气干法分分离工序序(8)氯硅烷烷贮存工工序(9

47、)硅芯制制备工序序(10)产品整整理工序序(11)废气和和残液处处理工序序(12)工艺废废料处理理工序2.5.3.11三氯氢氢硅合成成在一定温温度下，晶体硅硅与氯化氢的的发生反反应生成成三氯氢氢硅和四四氯化硅硅。同时时，生成成硅的高高氯化物物的副反反应，生生成SiinCl2nn+2系系的聚氯氯硅烷及及SinnHmCll(2nn+2)-m类类型的衍衍生物。主反应：副反应2.5.3.22合成气气干法分分离工序序经三级旋旋风除尘尘器组成成的干法法除尘系系统除去去部分硅硅粉，经低温温氯硅烷烷液体洗洗涤、分分离成氯氯硅烷液液体、氢氢气和氯氯化氢气气体，分分别循环环回装置置使用。2.5.3.33氯硅烷烷分

48、离提提纯工序序氯硅烷的的分离和和提纯是是根据加加压精馏馏的原理理，通过过采用合合理节能能工艺来来实现的的。该工工艺可以以保证制制备高纯纯的用于于多晶硅硅生产的的三氯氢氢硅和四四氯化硅硅（用于于氢化）。氯硅烷的的冷凝物物输往其其深度净净化单元元，主要要有：将主体体组分进进行分离离（三氯氢氢硅，四四氯化硅硅及聚氯氯硅烷）将三氯氯氢硅中中的杂质质形态稳稳定化将低沸沸点的杂杂质和高高沸点的的杂质从从三氯氢氢硅中进进行深度度清除清除四四氯化硅硅中的高高沸点杂杂质将聚氯氯硅烷和和固体颗颗粒浓缩缩将氢还还原和氢氢化设备备中的冷冷凝物进进行分离离和提纯纯2.5.3.44三氯氢氢硅氢还还原工序序在原始方方形硅芯

49、芯棒上沉沉积多晶晶硅。2.5.3.55还原尾尾气干法法分离工工序还原尾气气干法分分离的原原理和流流程与三三氯氢硅硅合成气气干法分分离工序序十分类类似。2.5.3.66四氯化化硅氢化化工序在三氯氢氢硅的氢氢还原过过程中生生成四氯氯化硅，在将后后者冷凝凝和脱除除三氯氢氢硅之后后进行热热氢化，转化为为三氯氢氢硅。2.5.3.77氢化气气干法分分离工序序从四氯化化硅氢化化工序来来的氢化化气经此此工序被被分离成成氯硅烷烷液体、氢气和和氯化氢氢气体，分别循循环回装装置使用用。氢化化气干法法分离的的原理和和流程与与三氯氢氢硅合成成气干法法分离工工序十分分类似。2.5.3.88硅芯制制备工序序硅芯制备备过程中

50、中，需要要用氢氟氟酸和硝硝酸对硅硅芯进行行腐蚀处处理，再再用超纯纯水洗净净硅芯，然后对对硅芯进进行干燥燥。2.5.3.99产品整整理工序序用氢氟酸酸和硝酸酸对块状状多晶硅硅进行腐腐蚀处理理，再用用超纯水水洗净多多晶硅块块，然后后对多晶晶硅块进进行干燥燥。2.5.3.110废气气和残液液处理工工序A废气气净化用10%NaOOH溶液液洗涤，废气中中的氯硅硅烷（以以SiHHCl33为例）和氯化化氢与NNaOHH发生反反应而被被除去：废气经液液封罐放放空。含有NaaCl、Na22SiOO3的出出塔底洗洗涤液用用泵送入入工艺废废料处理理工序。B残液液处理从氯硅烷烷分离提提纯工序序中排除除的残液液主要含含

51、有四氯氯化硅和和聚氯硅硅烷化合合物的液液体以及及装置停停车放净净的氯硅硅烷液体体加入石石灰乳液液中和废废液中的的氯硅烷烷等和而而被转化化成无害害的物质质。水解和中中和反应应经过规定定时间的的处理，用泵从从槽底抽抽出含HH4SiiO4、NaCCl2、H4SSiO44、Naa2SiiO3的的液体，送往工工艺废料料处理工工序。2.5.3.111工艺艺废料处处理工序序A类类废液处处理来自氯化化氢合成成工序的的废酸、液氯汽汽化工序序的废碱碱、废气气残液处处理工序序和废硅硅粉处理理的废液液等在此此工序进进行混合合、中和和后，经经过压滤滤机过滤滤。滤渣渣（主要要为SiiO2、NaCCl等）送渣厂厂堆埋。滤液

52、主主要为NNaCll溶液，进行蒸蒸发、浓浓缩和结结晶。蒸蒸发冷凝凝液循环环利用（配置NNaOHH溶液），结晶晶固体氯氯化钠等等外售或或填埋。B类类废液处处理来自硅芯芯制备工工序和产产品整理理工序的的废氢氟氟酸和废废硝酸，用碱液液中和，生成的的氟化钠钠和硝酸酸钠溶液液，进行行蒸发、浓缩和和结晶。蒸发冷冷凝液循循环利用用（配置置NaOOH溶液液），结结晶固体体氟化钙钙和硝酸酸钠等外外售或填填埋。在对废弃弃的酸洗洗溶液和和处理石石灰乳液液时产生生的污水水进行混混匀时发发生的矿矿物酸中中和伴随随着下列列方应：2.5.4工艺艺流程及及产污分分析2.5.4.11氢气制制备与净净化工序序在电解槽槽内经电电解

53、脱盐盐水制得得氢气。电解制制得的氢氢气经过过冷却、分离液液体后，进入除除氧器，在催化化剂的作作用下，氢气中中的微量量氧气与与氢气反反应生成成水而被被除去。除氧后后的氢气气通过一一组吸附附干燥器器而被干干燥。净净化干燥燥后的氢氢气送入入氢气贮贮罐，然然后送往往氯化氢氢合成、三氯氢氢硅氢还还原、四四氯化硅硅氢化工工序。电解制得得的氧气气经冷却却、分离离液体后后，送入入氧气贮贮罐。出出氧气贮贮罐的氧氧气送去去装瓶或或放空。2.5.4.22三氯氢氢硅合成成工序原料硅粉粉经吊运运，通过过硅粉下下料斗而而被卸入入硅粉接接收料斗斗。硅粉粉从接收收料斗放放入下方方的中间间料斗，经用热热氯化氢氢气置换换料斗内内

54、的气体体并升压压至与下下方料斗斗压力平平衡后，硅粉被被放入下下方的硅硅粉供应应料斗。供应料料斗内的的硅粉用用安装于于料斗底底部的星星型供料料机送入入三氯氢氢硅合成成炉进料料管。从氯化氢氢合成工工序来的的氯化氢氢气，与与从循环环氯化氢氢缓冲罐罐送来的的循环氯氯化氢气气混合后后，引入入三氯氢氢硅合成成炉进料料管，将将从硅粉粉供应料料斗供入入管内的的硅粉挟挟带并输输送，从从底部进进入三氯氯氢硅合合成炉。在三氯氢氢硅合成成炉内，硅粉与与氯化氢氢气体形形成沸腾腾床并发发生反应应，生成成三氯氢氢硅，同同时生成成四氯化化硅、二二氯二氢氢硅、金金属氯化化物、聚聚氯硅烷烷、氢气气等产物物，此混混合气体体被称作作

55、三氯氢氢硅合成成气。反反应大量量放热。合成炉炉外壁设设置有水水夹套，通过夹夹套内水水带走热热量维持持炉壁的的温度。出合成炉炉顶部挟挟带有硅硅粉的合合成气，经三级级旋风除除尘器组组成的干干法除尘尘系统除除去部分分硅粉后后，送入入湿法除除尘系统统，被四四氯化硅硅液体洗洗涤，气气体中的的部分细细小硅尘尘被洗下下；洗涤涤同时，通入湿湿氢气与与气体接接触，气气体所含含部分金金属氧化化物发生生水解而而被除去去。除去去了硅粉粉而被净净化的混混合气体体送往合合成气干干法分离离工序。2.5.4.33合成气气干法分分离工序序从三氯氢氢硅氢合合成工序序来的合合成气在在此工序序被分离离成氯硅硅烷液体体、氢气气和氯化化

56、氢气体体，分别别循环回回装置使使用。三氯氢硅硅合成气气流经混混合气缓缓冲罐，然后进进入喷淋淋洗涤塔塔，被塔塔顶流下下的低温温氯硅烷烷液体洗洗涤。气气体中的的大部份份氯硅烷烷被冷凝凝并混入入洗涤液液中。出出塔底的的氯硅烷烷用泵增增压，大大部分经经冷冻降降温后循循环回塔塔顶用于于气体的的洗涤，多余部部份的氯氯硅烷送送入氯化化氢解析析塔。出喷淋洗洗涤塔塔塔顶除去去了大部部分氯硅硅烷的气气体，用用混合气气压缩机机压缩并并经冷冻冻降温后后，送入入氯化氢氢吸收塔塔，被从从氯化氢氢解析塔塔底部送送来的经经冷冻降降温的氯氯硅烷液液体洗涤涤，气体体中绝大大部分的的氯化氢氢被氯硅硅烷吸收收，气体体中残留留的大部部

57、分氯硅硅烷也被被洗涤冷冷凝下来来。出塔塔顶的气气体为含含有微量量氯化氢氢和氯硅硅烷的氢氢气，经经一组变变温变压压吸附器器进一步步除去氯氯化氢和和氯硅烷烷后，得得到高纯纯度的氢氢气。氢氢气流经经氢气缓缓冲罐，然后返返回氯化化氢合成成工序参参与合成成氯化氢氢的反应应。吸附附再生气气含有氢氢气、氯氯化氢和和氯硅烷烷，送往往废气处处理工序序进行处处理。出氯化氢氢吸收塔塔底溶解解有氯化化氢气体体的氯硅硅烷经加加热后，与从喷喷淋洗涤涤塔底来来的多余余的氯硅硅烷汇合合，然后后送入氯氯化氢解解析塔中中部，通通过减压压蒸馏操操作，在在塔顶得得到提纯纯的氯化化氢气体体。出塔塔氯化氢氢气体流流经氯化化氢缓冲冲罐，然

58、然后送至至设置于于三氯氢氢硅合成成工序的的循环氯氯化氢缓缓冲罐；塔底除除去了氯氯化氢而而得到再再生的氯氯硅烷液液体，大大部分经经冷却、冷冻降降温后，送回氯氯化氢吸吸收塔用用作吸收收剂，多多余的氯氯硅烷液液体（即即从三氯氯氢硅合合成气中中分离出出的氯硅硅烷），经冷却却后送往往氯硅烷烷贮存工工序的原原料氯硅硅烷贮槽槽。2.5.4.55氯硅烷烷分离提提纯工序序在三氯氢氢硅合成成工序生生成，经经合成气气干法分分离工序序分离出出来的氯氯硅烷液液体送入入氯硅烷烷贮存工工序的原原料氯硅硅烷贮槽槽；在三三氯氢硅硅还原工工序生成成，经还还原尾气气干法分分离工序序分离出出来的氯氯硅烷液液体送入入氯硅烷烷贮存工工序

59、的还还原氯硅硅烷贮槽槽；在四四氯化硅硅氢化工工序生成成，经氢氢化气干干法分离离工序分分离出来来的氯硅硅烷液体体送入氯氯硅烷贮贮存工序序的氢化化氯硅烷烷贮槽。原料氯氯硅烷液液体、还还原氯硅硅烷液体体和氢化化氯硅烷烷液体分分别用泵泵抽出，送入氯氯硅烷分分离提纯纯工序的的不同精精馏塔中中。从原料氯氯硅烷贮贮槽送来来的原料料氯硅烷烷液体经经预热器器预热后后，从中中部送入入1级精精馏塔，进行除除去低沸沸物的精精馏操作作。塔顶顶排出不不凝气体体和部分分二氯二二氢硅，送往废废气处理理工序进进行处理理；塔顶顶馏出液液为含有有低沸点点和高沸沸点杂质质的三氯氯氢硅冷冷凝液，依靠压压差送入入2级精精馏塔；塔釜得得到

60、含杂杂质的四四氯化硅硅，用泵泵送四氯氯化硅回回收塔进进行处理理。2级精馏馏塔为反反应精馏馏，是通通过用湿湿润的氮氮对三氯氯氢硅处处理，把把其中易易于水解解的杂质质化合物物转化成成难于挥挥发的形形态，以以便用精精馏的方方法除去去。2级级精馏为为双系列列生产线线。2级级精馏塔塔塔顶排排出不凝凝气体同同样送往往废气处处理工序序进行处处理；塔塔顶馏出出三氯氢氢硅冷凝凝液，依依靠压差差送入沉沉淀槽；塔釜含含悬浮物物的釜液液，用泵泵送至四四氯化硅硅回收塔塔进行处处理。3级精馏馏目的是是脱除三三氯氢硅硅中的低低沸点杂杂质。三三氯氢硅硅清液经经三级进进料预热热器后，进入33级精馏馏塔中部部。塔顶顶馏出含含有二