中微半导体（上）

1、 HYPERLINK /p-2671293249976.html /p-2671293249976.html HYPERLINK /view/e6fd501516fc700abb68fcdb.html?from=search /view/e6fd501516fc700abb68fcdb.html?from=search是中国集成电路产业的旗手，是国产大飞机的推手，是应用太阳能的鼓手不可多得的型与产业家，更有许多人把他称作“新时代的焦裕禄”江上舟1947年江苏滨海。江上舟国字脸，浓眉大眼，鼻阔嘴方，身材高大雄壮，走起路来虎虎生威，自诩乐天派，笑声爽朗，说起话来一口榕城官话，常把“黄海”念作“环海

2、”，“连长”读如“年长”。江上舟的人生，每十年似乎都有一个转折。20岁到30岁，他身处文革乱世，1965年考入清华大学无线电系，仅在校进行短暂的学习。1970年，他被分配到云南省通讯局微波器材厂工作，一干就是八年。之后，江上舟和大学同学并结为伴侣的妻子吴启迪一起通过研究生考试再次被清华录取。30-40岁，江上舟作为我国改革开放后第一批公派留学生，来到爱因斯坦的母校瑞士苏黎世高等理工学院。江上舟如饥似渴地学习，不仅打下了扎实的学术功底，精通英语与德语，而且对欧洲的可持续发展观念理解很深。爱因斯坦之所以成就伟大离不开他的挚友奥本海默来组织实施“曼哈顿工程”。江上舟或许没有料到，日后他会成为像奥本海

3、默那样的战略型科学家，参与中国的“曼哈顿工程”国家中长期科技发展规划的制订。江上舟夫妇以优异成绩获得博士学位，便迫不及待地回来建设自己的祖国。在他们看来，为国效力是天经地义的事，无论有多少次选择的机会，都不会有第二种选择。40岁到50岁，江上舟加入到“十万人才下海南”的大潮中。江上舟先后担任三亚市副市长和洋浦开发区管委会主任。他是最早实施“小政府、大市场”的一批人中的一个，首创中国第一个土地交易中心，率先实现了“要土地不要找市长，要找市场”的论断。江上舟主持了亚龙湾的规划建设，他的理念是把亚龙湾打造成公共海滩。他说，“不能划给个人，甚至也不能划归单位，要保持海滩的公用性。”在洋浦，江上舟的执政

4、思路是“积极的不干预”政策，尽量压缩政府职能规模，开创了公务员招考制度的先河，不搞得像衙门，给市场配置资源留下足够大的空间。三十年游学与历练，使江上舟具备了国际视野、技术底蕴和组织才干，也磨砺了他去伪存真、坚韧不拔、卓然不群的品格。“五十而知天命”，江上舟的50岁不是知足而乐的港湾，而是新出发的驿站，他洗却疲倦、不肯停歇，以更旺盛的精力前行，然而，他不曾料到，上天留给他的竟然是最后的十年，如此短暂。2001年，江上舟体检查出得了晚期肺癌后，他仍像没事人一样忙碌。2002年的一天晚上，为论证大飞机项目，江上舟在北京约谈上海航空集团驻北京总代表何志庆。一见面谈了三小多小时，临分手，江上舟突然对何志

5、庆说，明天我要回上海动手术了。见何志庆十分惊诧，江上舟解释说，我得了肺癌，肺要切掉一半，我的手机一天24小时都开着，其他的电话可能不会接，但是关于大飞机的电话，我肯定接，除非我在手术台上。江上舟满脑子除了项目还是项目，而对自己的病情考虑得太少。在江上舟生命最后十年，绽放出人生最绚烂的一幕。一、余“芯”之所善兮，虽九死其犹未悔集成电路篇1997年，江上舟从海南调到上海，担任上海市经济委员会常务副主任，与时任同济大学校长的妻子吴启迪团聚。此时的上海，刚经历了三个三年大变样的洗礼，城市面貌焕然一新。同时，上海工业也经历了结构调整的阵痛，传统的纺织、轻工业式微，百万职工下岗再就业，新的支柱产业亟待培育

6、。产业结构升级的方向在哪里？即便上海滩藏龙卧虎，一时也难以看清，缺乏懂行的专家，更缺乏能运筹帷幄的官员。江上舟的到来，可谓一时之选。江上舟敏锐地把握到，在承接国际先进制造业转移的过程中，还是邓小平那句话，上海是王牌。江上舟把目光放到那些代表国家综合实力与未来生产力发展方向的战略性新兴产业。在他担任上海市政府副秘书长的短短四个月里，他的心里正酝酿上海要发展的项目有10多个，包含了3G通信、轨道交通、电动汽车、通用操作系统等。而他第一个聚焦的，则是集成电路芯片。小小一枚芯片，是计算机、家电、汽车、装备制造母机等不可或缺的“大脑”。发达国家对我国集成电路产业发展所需的高精尖芯片、工作母机、专利实行全

7、方位封锁，禁止向我国出口相关技术和产品。如果不发展集成电路产业，中国制造业就将被人掐住脖子，实际上是徒有其表、行尸走肉。江上舟对此心急如焚。1999年的一天，“全国集成电路发展战略研讨会”在北京召开，与国际先进水平的巨大的差距导致保守的情绪占了上风，会议发言的调子一个比一个低。轮到江上舟代表上海发言却忽起高潮。他指出，21世纪是中国的世纪，中国集成电路产业必将迎来大发展。接着他表示，“十五”期间，上海要建设十条8英寸芯片生产线，此言一出，令会场哗然。因为，此前16年间，举全国之力才搞成一条8英寸芯片生产线。有人说江上舟是搞大跃进、脱离实际、吹牛皮。有人说他是书生意气，没做过项目。有人说他的观点

8、还没经过集体讨论通过，不能代表上海的意见。然而，更多的与会者却感到兴奋，上海作为共和国工业长子，如今准备在集成电路产业上大干一场了，这个消息很快就传遍全国。其实，江上舟之前是做了充分的调查研究与论证的，1998年开始，他主持上海集成电路产业发展规划研究，听取了大批专家学者的意见，结交中国“芯片教父”、中国科学院士、北京微电子研究所长王阳元和其夫人北京大学计算机系主任杨芙清，中国工程院院士许居衍等一批专家。赵建忠教授和钱省三教授记得，有段时间，吴启迪重病住院，江上舟几乎推却了所有事务在医院陪伴照料妻子，但是，只要是集成电路的事可以找他，他们常常在病房外面讨论。“你们不要再和我谈发展集成电路的重要

9、性，”江上舟说话喜欢直来直去，“这个我已经懂了，它是基础中的基础，战略中的战略，你们现在告诉我，制约发展的瓶颈在哪里？”“主要是技术差距太大、人才不足。”专家们告诉他。江上舟分析道：“现在世界最优秀的集成电路人才几乎都集中在美国，华人又几乎占了半边天，但是，华人在美发展遇到了“玻璃天花板”，即便你再出色再努力，做到大公司二、三把手的比比皆是，但是几乎没有能做到一把手的，这就坚定了他们回国创业的念头。我们要下决心、想办法把他们请回来，让他们成为引回火种的普罗米修斯。”为国揽才,江上舟远赴重洋，他和有关领导带领上海市代表团访问美国硅谷,并和“北美中国半导体协会”和“华美半导体协会”共同组织了“上海

10、信息产业座谈会”。100多人会议厅一下子挤进了300多人,很多人清楚地记得他的激情演讲，描绘上海集成电路产业愿景,鼓动了很多关切国内半导体产业发展的硅谷华人回到国内创业。吕彤欣是名将吕正操之后，他就是那时被江上舟鼓动回国的。他说，见过江上舟的人，往往先被他气宇轩昂的外表所吸引，再为他学识渊博的谈吐所折服，最终被他实业强国的情怀所感动，引起共鸣。为国揽才，江上舟没有官架子。所有留学回来的同学，江上舟是都要见、都要谈的。知名芯片设计专家哥伦比亚大学教授马启元回到上海参加国际研讨会，正巧旁边坐着吴启迪，一听马启元的名字就说我先生要见你。江上舟下午就赶来见马启元。后来，他们两人一起上书，促成2000年

11、国务院18号文件国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知的下发。为国揽才，江上舟毫无私心。万钢结束了十几年的海外生活回到国内，前往母校同济大学看望吴启迪。吴启迪告诉万钢：“江上舟他们前不久刚做了一个新能源汽车的战略研究，你去和他谈谈吧。”第二天万钢便找到上海市经委，第一次见到江上舟，江上舟马上把将万钢引荐给上海市领导，万钢在国内的新能源汽车研发之路由此启程。后来，万钢担任国家科技部部长。万钢一直视江上舟如大哥，两人一见面谈的总是项目，有一次为了研究汽车风洞项目而谈了一个通宵。机遇垂青有准备者，就在江上舟苦于难觅一个领军人物的时候，遇到了一心报国、踌躇满志的张汝京。张汝京本科就

12、读台湾大学，美国布法罗纽约州立大学工程学硕士、南方卫理公会大学电子工程博士。他在美国德州仪器公司任职20年，先后在世界各地建设和管理近20座集成电路工厂，被誉为“盖厂高手”。2000年，张汝京随台湾地区一个集成电路产业高级专家团来大陆考察建厂选址。之前，张汝京已经考察了香港、新加坡等几个地点，而上海反应最快，态度最积极，这和江上舟积极协调、鼎力协助极有关系。经过多方比较和深思熟虑后,张汝京决定把中国的第一座铜互连的8寸厂建在上海市的张江园区。张汝京与江上舟在经历与性格方面也有相似之处，都绝顶聪明，曾在国际名校留学。都不注重个人享受，能吃苦，张汝京出差搭飞机，一律坐经济舱。江上舟常常一碗方便面对

13、付一餐饭，洋浦缺少淡水，天天喝的是面上浮着一层盐碱的井水。都以报效国家为己任，对未来的芯片厂，两人达成共识，挣钱不是全部目的，除了达到企业的一般经营目标外，要通过它把中国的半导体产业带动起来，在国际上争得相应的地位。因此，他们给这家即将诞生的企业起了个响亮的名字，叫做“中芯国际”，即中国之芯、走向国际的意思，可见两人从一开始就立意高远。2000年4月，“中芯国际”成立。8月，在张江打下了第一根桩。当时，张江还是一片农田阡陌与荒草萋萋，而在江上舟心中，已为它勾勒出世界级集成电路产业中心的雄伟蓝图。10个月后, “中芯国际”一厂厂房竣工，再过四个月后正式投产，创造了世界最快建芯片厂纪录。“中芯国际

14、”未建立前，中国内地集成电路产业与国际主流技术差距是五代，通过“中芯国际”提升至差距半代。2003年，“中芯国际”0.13微米后段铜制程晶圆试产，一厂被半导体国际杂质授予“年度最佳半导体厂”奖项。2004年，中芯国际上海3座集成电路工厂6条8英寸集成电路生产线全部量产，北京中芯五厂1座12英寸集成电路工厂正式投产，并积极运作北京中芯六厂，天津中芯七厂和上海中芯八厂、九厂、十厂。“载得梧桐树，引来金凤凰”。随着“中芯国际”规模的扩大，越来越多台籍员工与海归人士加入，但是，他们的居住与子女入学入托成为困难。在江上舟的倡导下，建起了“中芯花园”小区，已有900户员工家庭居住在这里，很多“中芯”员工卖

15、掉了在美国、新加坡的房子，报户口时，把上海写作永久居住地，因为他们认为“回来就是扎根，不是说干两年就走。”“中芯花园”内办有两所采用双语教育的“中芯学校”，许多上海居民都抢着要把小孩送到这里就读。江上舟后来作为公司董事，原本可以有一个额度可以低价购买“中芯家园”里的一幢别墅，但是他把这个机会让给了刚从美国回来的专家，使他能在上海安家。而江上舟自己一直住在单位里分给他的两居室里。发展集成电路产业，还面临着蚀刻机等关键设备的国产化瓶颈。蚀刻机要在手掌大的硅片上要集成几十万个晶体管，每个晶体管的沟槽在0.11微米（毫米的千分之一）到30纳米（微米的千分之一），无异于针尖上绣花。在一次上海世界半导体设

16、备展中，江上舟遇到尹志尧，尹志尧上世纪八十年代初赴美留学，在加州大学洛杉矶分校获得物理化学博士学位后，进入英特尔工作，后进入应用材料公司担任等离子刻蚀部门负责人。江上舟在仔细地观看了应用材料公司展示设备后，对尹志尧说，看来造蚀刻机比造原子弹还复杂，外国公司用它来掐我们集成电路产业的脖子，我们能不能自己把它造出来。尹志尧有些犹豫，当时他已经六十岁，对创业而言，这个年龄有些偏大。江上舟做他的思想工作说，我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出这半条命，也想为国家造出这个光刻机来，我们一起干吧。尹志尧为江上舟的热诚所感动，回去美国后，他找来不少同行商量，说上海有位江主任，想造中国自己的蚀刻机，他患了癌

17、症，知道这是个很难的事，但还是决心迎难而上。这些都是技术骨干，尽管在美国已经拥有优渥的生活、工作环境，但是，为祖国造光刻机是他们心头挥之不去的情愫，江上舟激发了大家的报国热情。2004年，尹志尧召集15人，组成团队，共同回国创业，成立上海中微半导体有限公司。尹志尧在美国时，公司每年约提供2亿美金研发经费供他使用。回到国内后，在江上舟的极力推荐下，上海创业投资公司对“中微”投入5000万人民币，再加上团队自筹150万美金，相比之下，仅仅杯水车薪。尹志尧只能租借在简陋的厂房里搞研制。很快，研发经费告罄，为解决资金难题，江上舟带着尹志尧四处奔走、却到处碰壁。迫于无奈，尹志尧只得重去美国硅谷融资，在很

18、短时间内，就筹措了3000万美元的风险投资。面对这样的情况，尹志尧流泪了。壮志回国，却英雄气短。难道光刻机只美国造得出吗？这时，江上舟打来越洋电话说，如果“中微”变成一个外国资本控制的企业，那么就不可能独立自主地搞光刻机，像这样的战略性项目必须掌握在中国人自己的手里。我已经联系了国家开发银行想办法帮助筹资。尹志尧把更多急于入股的国外风投拒之门外，赶回国内，江上舟带他去见国家开发银行的行长陈元，陈元是陈云同志的儿子。原定陈元只给他们十分钟时间谈项目，当他们介绍在搞中国自己做集成电路芯片的光刻机时，陈元眼睛发亮，兴奋地说，这个啊！我做梦也想做这个东西，一定要支持。一谈就谈了三个小时。在陈元的支持下

19、，国家开发银行给予“中微”5000万美元的无息贷款，帮助“中微”解了燃眉之急。自2008年起，中微研制的等离子刻蚀机等设备进入了台积电、中芯国际等大型代工企业，并进入国家重大专项进行扶持。正当国内集成电路产业蓬勃发展之际，作为旗舰的“中芯国际”却迎来一场严峻的考验。“中芯国际”的壮大，让世界上最大的半导体代工厂“台积电”感到了威胁。“台积电”以侵犯知识产权为由，有意地选择在美国起诉中芯国际。2009年11月4日，美国法院判决“台积电”起诉“中芯国际”“窃取商业机密案”胜诉。江上舟深感痛心，他不愿看到兄弟相争，为外人所图。所以，中芯国际在应诉的同时，积极寻求与“台积电”庭外和解。11月9日，“中

20、芯国际”与“台积电”的最后一轮谈判在香港举行。江上舟与张汝京共同赴港。谈判时间长达14个小时，双方在法律、技术、商业细节上反复纠缠，互相拉锯。眼看庭外和解规定的最后时限就要到达，江上舟拍案而起，站在民族大义的高度，晓之以理，示之以害，动之以情。“台积电”的代表们听说，眼前这个对手身患绝症，“中芯国际”并不属于他，他却把“中芯国际”视如自己的生命，如果谁要夺去“中芯国际”，就等于要夺去他的生命，如果谁要置“中芯国际”于死地，他会以命相搏。“台积电”的代表们对江上舟既敬畏，又佩服，态度发生了转变。最终，双方达成协议，“中芯国际”出让部分股份给“台积电”，赔款2亿美元，这就是中国集成电路产业史上著名

21、的割地赔款案。然而，台积电又提出一个条件，要张汝京离职。台积电的如意算盘是，张汝京是“中芯国际”的创始人，如果他离开“中芯国际”，“中芯国际”就将陷入群龙无首的状况。面对这样苛刻的条件，张汝京决定顾全大局、忍辱负重，宣布辞去中芯国际的总经理。“中芯国际”与“台积电”和解成功，江上舟把这一消息第一时间向国家部委和上海市委、市政府做了报告。“中芯国际”虽然作了一些让步，但是避免了两岸集成电路企业内斗，提高了联合度。当天，“中芯国际”在美国股市飚升百分之六十。对此结局，张汝京是基督徒，他高呼：“感谢主”。江上舟谙熟邓小平理论，他信奉“发展是硬道理”。那段日子，江上舟的癌症复发，医生要求他必须静养，防

22、止癌细胞扩散转移。然而，江上舟临危受命，以不堪重负之躯挑起千斤重担，出任中芯国际董事长，为保持“中芯国际”的稳健增长而殚精竭虑。江上舟每天工作在16小时以上，还常常通宵达旦地学习，江上舟的助理经常会半夜里一、两点钟被他的电话从梦中叫醒，要求帮助查找资料，总是火急火了等不到天亮。所有人都劝他停下工作，可是，他停不下来。江上舟为“中芯国际”重组业界堪称“皇马”的管理团队，总经理、营运长、财务长、商务长都是资深专业人士，集中了海峡两岸集成电路产业的精英。江上舟为“中芯国际”物色国有企业“中投”作为战略投资人，尽管多家国外投资公司找上门来，江上舟做了大量工作来说服股东接受“中投”的股权收购，使得中芯国

23、际从纯外资变成了中资控股的公司。2010年，江上舟的身体状况每况愈下，癌细胞已经从肺转移到淋巴、肝脏等多处器官。为“中芯国际”的长远发展计，江上舟找到自己当年在清华大学无线电系的同学张文义进行“托孤”，想把“中芯国际”托付给他。张文义曾任电子工业部副部长，当时已退休，他本可以安闲地享受退休生活，但是在老同学奋不顾身精神的感召下，毅然选择出山，准备入主“中芯国际”。十年间，“中芯国际”已经成为继“台积电”、“台联电”、“环球代工”之后世界第四大芯片代工厂，前后共投资70亿美元，2011年实现销售收入13亿美金，并带动了上下游一批集成电路产业的代工、设备、设计企业的兴起成长。十年间，上海集成电路制

24、造形成“7+2”格局（8英寸线7条、12英寸线2条），销售收入占全国三分之一，奠定了张江在建立我国自主可控集成电路产业体系中的核心主导地位。十年间，中国集成电路产业产值从150亿增长到1500亿，全世界每十块芯片中有一块是由中国制造。北京、天津、无锡、深圳、广州、成都、武汉、大连等地集成电路产业风起云涌，全国集成电路产业从业人数约为一百万。时至今日，很多人怀念江上舟当年在全国会议上放的那一炮，认为自己被震醒了，引起全国性对发展集成电路产业的思考，各地你追我赶，才有了后来跨越式大发展。事实证明，江上舟的预见是准确的。他担任中国半导体协会的理事长，实属众望所归。在江上舟生命的最后一月，按照他的提请

25、，“中芯国际”与“中国银联”磋商，如何在银联卡上安装“中国芯”，以利于我国金融安全。他让大家把笔记本电脑和资料带到医院，戴着口罩一起工作。他要坚持工作就连他夫人都劝阻不了。不让他工作，他是要吼的。只要情况允许，其他人只得听从他的安排，有时还要帮他在护士那边打掩护。江上舟的生命进入最后一个星期。他的手机被没收，他就偷偷借用助理的手机来主持“中芯国际”董事会的电话会议。他半躺在病床上，处于昏昏欲睡的状态。但当手机一被拨通，他立刻思路变得清晰，像换了一个人。会议进行了一个多小时，他虚弱的举手机的手不停地颤抖，旁边的人看不下去，请他放下手机，他坚持要听完，把手机攥得更紧，像攥着救命稻草。他几度发言，声

26、音微弱，怕别人听不清，他吃力地抬起胳膊，把手机放在嘴边，福建官话一字一顿，字字似有千钧之重，要从一步步扼紧他生命之喉的病魔手中破茧而出。他还不愿向病魔服输，至少，他要坚持把对“中芯国际”的说完。他长时间地举着手机，如同进行一场告别仪式。生命的最后三天，他陷入了昏迷。曾长期主管上海工业的原市政协主席蒋以任了解他，在他耳边大喊一声“光刻机”，江上舟立即清醒过来。因喉咙插着管子无法说。在尹志尧的大半辈子里，曾做过不少次的选择，但是在他看来，最重要的选择之一，便是回国创业。在硅谷从事半导体行业20余年，在半导体设备的国际龙头企业年销售达到百亿的美国应用材料(Applied Materials)做到总公

27、司副总裁，要放弃美国的优厚待遇和熟悉的工作环境，回国创业，政治上的、商业上的、技术上的风险不言而喻。然而，尹志尧却说：“创业就是走上了一条不归路，对于我这个创业时年已六旬的人来说，很可能累死在工作的岗位上。不过，成功的捷径往往就是不走寻常路吧。”生而逢时，见证行业高速发展尹志尧本科毕业于中国科技大学化学物理专业。在石油化工和科学院研究所工作了十年的他，作为文化大革命结束后的第一届研究生来到了北京大学化学系就读。1980年，他迎来自己的第3个本命年，成为北大第二个自费的出国留学生，远赴美国加州大学洛杉矶分校攻读物理化学博士。毕业后，误打误撞进入英特尔中心研究开发部工作时，他还对芯片制造技术一无所

28、知。谁又能想到，他能走到这一行业的前沿，拥有98项美国专利（包括中国地区在内的各国专利共399项），参与和领导了几代等离子体刻蚀设备的开发和市场引入，见证半导体行业光速发展的巅峰岁月。尹志尧庆幸自己生而逢时，生长在一个半导体行业急剧变革的时代。70年代在北京大学读书时，学校里有一台128K存储能量的电子管计算机，这在当时几乎是国内最先进的电子计算机，它占据了两栋多层大楼，里面有数不清的电子管。等到80年代他在英特尔工作时，集成电路的技术已能把128K存储器做到一个芯片上了。然而30年后，他领导的团队已开发出能加工128G存储器的刻蚀设备了。30年来，微观加工技术把计算机器件的体积缩小了上百亿倍

29、。这就是科技的发展给人们带来巨大价值的最直观的展现。在全球半导体设备产业的金字塔上，处于塔顶的三家企业分别是美国的应用材料公司、Lam Research公司和日本的东京电子公司。在美国的25年，尹志尧与这三家国际大公司都有过交集，并以自己的努力在国际半导体行业赢得了相当的声誉和地位，被公认为“硅谷最有成就的华人之一”。1986年，受Lam的极力邀请，尹志尧离开英特尔，加盟Lam负责等离子体刻蚀设备开发。彼时，Lam正处于裁员三分之一、只剩下200多名员工的风雨飘零中,他和同事苦干5年后，Lam起死回生，开发了包括Rainbow介质刻蚀机在内的，一系列成功的等离子体刻蚀机，1991年跃升为全球最

30、大的等离子刻蚀设备制造公司，占有全球40%以上的刻蚀设备市场，曾经处于刻蚀设备领先地位的美国应用材料公司则仅仅占有20%多的刻蚀机市场份额。与此同时，Lam和日本东京电子合作，东京电子从Lam学会了制造介质等离子体刻蚀机，复制Lam的Rainbow设备，在日本销售，后来成为介质刻蚀的领先公司。1991年，应用材料公司将他从Lam公司挖来，邀请他担任等离子刻蚀总部的工程技术主管。为了避免知识产权方面的风险，他不得不从头再来，用不同于Lam时期开发的技术，做出了更好的金属刻蚀、硅刻蚀和介质刻蚀设备。到2000年，“跷跷板”的两头调了个个儿，应用材料公司重新占有了国际刻蚀设备市场的40%以上，回到全

31、球老大的位置，年销售额16亿美元。归国创业，水到渠成的选择由于技术门槛高，长期以来，世界半导体装备制造的高端关键设备几乎被应用材料公司、Lam Research公司和日本的东京电子公司所垄断，然而，这一竞争格局从2004年后开始被改变，一家名为中微半导体设备（上海）有限公司的成立为关键刻蚀设备领域注入了一颗奔腾的中国“芯”。2004年8月，年届60的尹志尧做出了一个令美国同行震惊的决定，他和15位在硅谷主流半导体设备产业工作过15到20年的资深华裔工程技术和管理人员回国，投身中国半导体装备产业的发展，开始了中微半导体设备有限公司的艰苦创业。当时众多媒体，包括今日美国在内的美国大报都对中微公司的

32、启动进行了报道。要放弃美国优越的工作和生活条件，以不到五分之一的年收入，冒着技术、产品、市场的众多风险回国创业，其中的决心和勇气可想而知。然而，在尹志尧看来，这一切都是水到渠成的选择，“从100年前算起，我已经是家族第四代回国报效的了。”尹志尧的外祖父是清朝末年的革命党人，由于清政府的追杀流亡到日本，外祖母回国曾参加革命军护士队。爷爷是庚子赔款的公派留学生，回国后成为坚决抗日的政治家。爸爸是早期留日的电化学专家、共产党员。祖辈的传统，早已在尹志尧的心田埋下了报效祖国的种子。然而，真正让尹志尧下定归国创业的决心，并且将上海定为首选目标的重要原因还在于一个重要的人物，他就是上海芯片产业的主要推动者

33、江上舟先生。在一次上海国际半导体设备展上，时任上海市经委副主任的江上舟在仔细观看了应用材料公司展示的设备后，对尹志尧说：“看来半导体设备比原子弹和卫星还复杂，设备是发展我们集成电路产业的当务之急，我们能不能自己把它造出来？”江上舟是比他低两届的北京四中校友，几次的晤谈后，尹志尧为江上舟的热诚所感动，虽然自己当时已年届六十，但还是决心迎难而上。不忘初心，打造有操守的百年老店尹志尧和他的团队所挑战的，不是做复杂而精密的芯片，而是开发制作芯片的高端设备，这是世界上最尖端的集成电路制造工艺，可谓高端制造业的最高端，目前只有美国、日本和荷兰少数几个国家才能制造。形象地说，要造出先进的集成电路，需要有10

34、00多个工艺步骤，其中，刻蚀步骤最多可达100多个。仅以打孔为例，其直径是一根头发丝的几千分之一，加工精度、均匀性、重复性要达到几万分之一，一台刻蚀机每年要刻1018（百万万亿）个又细又深的接触孔或线条，而且合格率要达到99.99%。其挑战极限的难度之大可想而知。有人打了这样一个比方：从北京建一条连通上海的高铁，其轨道的高低误差不能超过1根头发丝。光刻机受光波波长的限制，不能加工15纳米以下的微观结构，就要靠等离子体刻蚀机和化学薄膜的多重模板刻蚀，加工出10纳米、7纳米，以至5纳米的微观结构。要摘取高端制造业王冠上的这颗明珠，对每一位科学家和企业家都是考验智慧与心力的巨大挑战。尹志尧在美国时，

35、他所负责的产品总部，每年就有约2亿美金研发经费。回到国内后，上海创投和团队自筹的几百万美元的启动资金，仅仅是杯水车薪。尹志尧只能租借在简陋的厂房里搞研发。为筹集资金，他四处奔走却到处碰壁。迫于无奈，只得重去美国硅谷融资，在短短两个星期内，就有十几家风险投资公司，愿意投资5000多万美元。他把一些急于入股的国外风投资金拒之门外，第一期只融资了3900万美元。后来高盛带头投了第二期，国外股东占了公司股份的三分之二。但是这并不是他想要的，他不希望“中微”变成一个外国资本控股的企业，他希望吸收更多的中国资本，以国内资金为主，独立自主地开发出国际最先进的刻蚀机。由于中微的设备成功地进入了中芯国际、华力、

36、台积电、海力士、联电等国际一流的芯片生产线，国内投资的积极性提高了。后期投资基本上来自国内的资本，到目前为止，中微已融到股本金4亿美元，国内资本超过50%。然而，创业的困难远不止这些。2008年，中微自行开发的12英寸芯片刻蚀机正准备进入台积电的国际一流芯片生产线，打击便不期而至。首先是来自美国一个大设备公司一起莫须有的商业机密起诉。这家在核心半导体制造设备方面始终居于垄断地位的王牌无论如何无法相信，中国企业能在3年内开发出12英寸芯片刻蚀机，挑战他们的霸主地位。为了应对这场诉讼，专业律师对公司内部的几百万份有关设备研发的文件一一查验，没有发现任何对方的商业技术机密。两年后，诉讼和解，双方并愿

37、意考虑今后在项目上合作。在中微设备将进入台湾主要存储器公司之际，美国另一个大设备公司在台湾发起专利侵权诉讼，状告中微侵犯其2项专利。然而，中微早已做了充分准备予以反击，因此，8个月后，台湾智慧产权局宣布该美国公司的两个专利无效。台湾智慧产权法院一审宣判该美国公司败诉，该公司上诉四次均告失败。能在竞争对手的打压下立于不败之地，这与尹志尧对于企业操守的坚守不无关系。从投身之初，尹志尧便立下志向，一定要把中微打造成一家有操守的百年老店。尹志尧要求，所有员工入职时都要写下承诺，不带来老东家的任何文件和任何技术资料，在公司开会讨论时，也不允许任何人提到过去服务过公司的商业机密信息。而且每一个关键的设计和

38、工艺开发，都有根据证明是不会对竞争者形成专利侵权。这等于是一切另起炉灶、从头再来，但尹志尧认为这是值得的，“这样的成本是一家百年老店必须付出的。”走过危机，未来将更美好虽然，严格的操守令中微在诉讼中毫不畏惧，但是，这两项诉讼却耗费了大量的精力和财力，极大地影响了企业的发展速度。在应对美国公司的诉讼中，中微仅仅律师费这一项就耗费了两千多万美元巨资。由于前期调查的时间长达2年，没有最终的审判结果，本已做完试运行的客户不敢贸然与中微签订采购协议，产品的市场进度被极大拖延。受资金和市场的双重压力，公司的高压热化学薄膜设备项目不得不暂时搁置。屋漏偏逢连夜雨。2009年，全球金融危机接踵而至，对半导体产业

39、造成了毁灭性打击，整个半导体产业链瞬时进入“冰河世纪”。当年，全球80%的半导体制造企业亏损，这直接导致他们对设备采购需求骤减。数据显示，金融危机导致全球半导体芯片制造企业年销售额平均下降了20%-30%，而半导体设备制造商销售额下降50%以上。内外诸多不利因素都对中微最初的发展造成了影响，不过，“中微是一架不会因为乱流干扰而改变航线的飞机，我们不仅没有令这些尚不习惯被中国企业挑战霸主地位的竞争对手如愿以偿，相反，依然在刻蚀产品的开发和市场开拓上取得了相当成效。”说起中微这十年取得的成绩，尹志尧的脸上写满了自豪。从2008年起，“中微”研制的等离子刻蚀机等设备开始进入中芯国际和台积电等大型半导

40、体企业，并进入国家重大专项扶持项目。截止至今年6月，中微已经达到在线设备400个反应台的记录。目前，全球7成的新芯片生产线都建在亚洲，公司的设备则已经进入亚太多个地区的34个生产线，分布在日本、中国、韩国、新加坡、台湾、俄罗斯等国家和地区，高质量生产2500多万片晶圆。近年，公司开发的12英寸刻蚀机产品打破了发达国家在核心半导体制造设备方面对中国的垄断和技术封锁，既是第一批在中国本土设计、制造和生产的可用于12英寸生产线的半导体芯片制造设备，同时也是第一批由中国人主导生产的、领先国际技术水平的大型半导体芯片设备投入到全球最先进的芯片制造线上。由于设备芯片刻蚀效果好，产出能力比竞争对手的系统高出

41、35%左右，使用成本却降低35%。2014年7月，中微正式发布了双反应台介质刻蚀除胶一体机Primo iDEATM这是业界首次将介质等离子体刻蚀的双台反应器和等离子除胶的双台反应器集成在同一个系统上，它大大提高了生产效率，同时降低了这两项工艺过程20%的生产成本。此外，中微单台反应器等离子体刻蚀设备Primo SSC AD-RIETM已被客户验证用于16纳米闪存芯片加工中最关键的步骤。如今，中微还将其半导体芯片加工技术推广到更多应用领域，包括有极大成长空间的以硅为底物的硅通孔、传感器芯片、先进3D封装的刻蚀设备，以及制造发光二极管的关键设备MOCVD。中微已经从单一产品的半导体前端设备公司，逐

42、渐发展成为多元产品的微观加工设备公司。在国际半导体业界眼中，中微已然成为中国本土的设备旗舰，在其身后，闪耀着上海科创投、国家大基金、国家开发银行，以及华登国际、高盛、光速、红点、美国科天等国际知名风险投资商的名字。中微自主研发的纳米级等离子体刻蚀设备的市场化，是中国半导体装备产业的里程碑式事件，它意味着全球半导体设备供应的市场竞争格局从此发生了改变，填补了中国高端芯片装备制造工艺的空白，打破了国内产业低水平、高成本的局面，实现了与国际顶级制造工艺的顺利接轨。正是因为中微的出现，美国商务部在今年2月正式宣布，解除对中国出口等离子体刻蚀设备的限制。在他们的公告中讲到：“在中国已有一家非美国的公司（

43、指中微），事实上已有能力供应足够数量及和（美国）同等质量的刻蚀机，继续现在的国家安全出口管制已达不到其目的了。”立足中国，力争创新突破半导体设备研发和制造涉及到50多个学科和技术专业领域的交叉配合，投入资金大，研制时间长，一个新产品一般要3-5年才能进入市场，因此必须具有创新精神、超前意识。尹志尧说，“模仿国外技术，我们虽然可以制造同样的设备，但是远远不够的，也是没有出路的。我们必须通过技术的自主创新，开发出比国际半导体设备技术超前的产品。”尹志尧认为一个人的创造能力对其日后发展至关重要。为了鼓励学生的创新精神，2002年，他在母校北京四中捐赠设立了“中学生创新奖”，鼓励学生搞研究、搞发明、搞

44、创新。负责起草捐赠协议的校友刘长铭回忆说：“当时我建议叫尹志尧奖学金，但他还是觉得叫中学生创新奖更好。他为人低调，不愿意把奖励与自己的名字联系起来。”我认识尹志尧博士大约是在十年前。当时他任美国应用材料公司副总裁，据说该公司在美国500强企业中排名前10。那时尹博士在微电子领域已经有了70多项国际发明专利。他认为一个人的创造能力对其日后发展至关重要，于是就在母校设立了“中学生创新奖”，鼓励四中学生搞研究，搞发明，搞创新。协议是我起草的，当时我建议叫“尹志尧奖学金”，但他还是觉得叫“中学生创新奖”更好。他为人低调，不愿意把奖励与自己的名字联系起来。我们后来又见过多次。记得有一次他谈到了在国内的一

45、些见闻。当谈到农村和农民生活时，他声音哽咽了。平静了一会儿说，要为他们做一点儿事情，四中要做一点儿事情。他曾说他的家族四代报国。去年9月他来电话，说是到北京开会，顺便向母校汇报一下他回国7年来做的事情。我原来听说他做芯片，他的工作使我国芯片制造水平差不多提高了一个数量级，这次我才了解了他的创业历程。2004年他回国创办了上海中微半导体设备有限公司。由于他在世界上属于半导体制造设备领域中的领军人物，掌握着许多关键技术，所以回来的过程颇费周折，甚至颇有风险。后来他陷入了持久的专利诉讼战也说明了这一点，尽管屡战屡胜，但耗费了大量的精力和财力。他后来给学生作报告时说，他每次在最困难的时候，都是四中同学

46、帮助了他，所以大家要珍惜中学时代的友谊。他回国的同时组建了一支精英团队，成员都是世界顶尖人才。经过7年创业，他们研制的等离子体介质刻蚀设备已可与美国日本等老牌公司比肩，逐鹿世界市场。他告诉我们说，他们的发明专利已经超过了100项，刻蚀设备可加工65到40纳米的微观结构，最新技术可刻蚀32到28纳米，并向10纳米以下冲击。我虽不能完全理解这些技术，但可以感到中微技术已经走在世界的最前列。正如一些报道中所说的，中微改变了刻蚀设备领域的世界格局。 尹志尧是北京四中1962届校友，后考入中国科技大学，由于文革的原因，1968年才毕业，后到兰州炼油厂工作。文革结束后他到北大化学系读研，后出国留学。今年恰

47、是他离开四中50年。我曾和一位教育栏目的记者说，多写写这样的人吧，少写点儿升学考试的事，这才是人真正的成就，从他们的经历中思考教育会更有意义。如果你要写教育，就把目光锁定在走出校门20年、30年、40年的人身上，这样也许会引导社会用更长远的目光来审视当前的教育，就像观看马拉松比赛一样，不仅要关注起点，还要把目光投向远方接近终点的地方。在公司里，尹志尧也是带头创新的人，倡导“开放式自主创新”路径和“具有中微特色的社会主义管理”，处处营造创新管理的氛围。他每天和员工一起做广播操、一起在食堂用餐，一起讨论产品设计和工艺过程开发的细节。公司还有免费的咖啡、羽毛球场和乒乓球房，每年举办丰富多彩的年会。如

48、今，公司450多名员工中，三分之一以上是海外资深的技术和管理专家，其积累的半导体设备产业的经验，有2500年之长。身为董事长兼CEO的他，只有公司不到1%的股份。公司的每个员工，包括看门的接待和开车的司机，都有公司的期权，每一级的差别是20%。公司高管和中上层员工的薪酬，每级只差10%，没有人例外。在年初，公司、部门和个人，都要制定非常进取的计划和承诺。到年底，每个员工和管理人员的评价，完全通过民主的网上评定程序。一级经理有40%的权重，二级经理有20%的权重，另有40%由经理和员工分别选择各半的人进行背对背的评价。薪酬的增加，级别的晋升，股票的多少，都以民主评价而定，公司的最高领导也不例外。

49、主任级以上的提拔，也必须进行严格的民主评定。这套“具有中微特色的社会主义管理”方法使中微能持续发展壮大。他希望通过这样的文化和制度，使公司的管理阶层和员工能团结一致，减少内耗，同心协力，心往一处想，劲往一处使，走共同富裕的道路。“目前，中微的介质刻蚀设备和硅通孔刻蚀产品已分别占国内市场的35%-50%以上，2014年中微设备的出口占全国芯片设备出口的79%，三个设备的性能和性价比已跻身全球三强。但是，我们还要继续努力在今后的10年在相关的设备市场的占有率上达到国际三强，并不断开发更多的先进设备，使公司的年产值保持高速的增长，从5亿人民币的规模做到50亿人民币的规模。”对于未来，尹志尧有自己的“

50、中微梦”：一是让全世界尊重中国的科技；二是为中国打造优秀创新团队；三是让中国的半导体设备产业进入世界三强地位。现在，梦想正照进现实。在尹志尧和另外几位上海半导体企业老总合写的回忆文章中，记者看到了这样的话：上舟先生曾是我们的领路人。在事业的道路上，我们都得到过他的指引、建议、引荐、推举和批评，得到过他以各种形式的帮助和扶持，及时而有效。沪上新兴的半导体装备和材料企业亦大多如是，绝少例外。江上舟算是老百姓常说的“官二代”，其父江一真是中央苏区创立闽西革命根据地老战士，建国后历任福建省长、河北省委书记、卫生部长及代理农业部长。但接触过江上舟的人都说他身上看不到官员或官员子弟的影子。“他是个好人，从

51、来不说空洞套话，为人诚恳，是真正做实事的人，从不推诿责任，而是尽自己的能力一个个解决问题。”在戴国强看来，江上舟做了大量默默无闻的细致工作，但却从不张扬，所以大多不为外人知。心怀赤忱的江上舟被很多海归创业者看作“值得信任的兄长”和引路人。“他就是真心帮我们，想把产业和项目做起来”，尹志尧说，有时为了产业发展的国家大事，江上舟甚至会利用私人关系给留学生们提供帮助。他曾带着刚从美国回来的尹志尧等人去找时任国务委员陈至立汇报；为给留学生企业融资，亲自带着留学生们跑到国家开发银行“游说”。国际化的从业背景，让尹志尧观察产业的视角更加独特。问道新时代下我国集成电路发展之春，尹志尧直言：“有人可用”才能实

52、现集成电路产业的赶超。从自由竞争到超竞争：产业呼吁人才在信息化时代，集成电路是信息技术产业高速发展的基础和源动力，渗透到国民经济的每个领域，也成为衡量国家产业竞争力的重要标志之一。尹志尧认为，新一轮国际金融危机爆发以来，集成电路产业的战略地位进一步凸显。他举例，目前发达国家纷纷围绕集成电路产业进行经济结构战略性调整，美国更是将其视为未来20年从根本上改造制造业的四大技术领域之首。从无到有，我国集成电路产业正在一步步发展壮大。应当看到，过去十五年我国集成电路产业发展势头良好，形成了“大陆消费市场-大陆终端品牌商-大陆芯片设计-大陆晶圆制造-大陆封装测试”的产业链需求结构，下游国产终端也在移动终端

53、时代迅速崛起，本土集成电路产业也大有从设计业到封测业全面崛起的势头。然而，产业的发展速度仍然滞后于芯片贸易逆差的递增速度。据悉，中国集成电路芯片有80%依靠进口。统计数据表明，2013年我国芯片、石油进口额分别为1650亿美元、1200亿美元。目前，芯片以每年超过1500亿美元的外汇消耗，已超过石油成为第一外汇消耗大户。贸易逆差递增背后，是并不乐观的国际竞争形势。作为国内芯片行业中“既懂技术，又善经营”的一员，尹志尧坦言：“半导体芯片工业已不再是二三十年前几百个公司自由竞争的时代。经过激烈的兼并和重组，已进入到有限的几个超大公司之间拼投资规模、拼技术进步速度、拼抢市场的超竞争时代。”在他看来，

54、行业发展向优势企业集中的趋势下，若国内企业单打独斗，跟规模达数百亿的垄断公司正面抗衡是不可能取的，相反会因消耗精力无形中拉大差距。多重外界压力交叠，我国集成电路产业正在寻找突破的新思路。其中，大量的政府经费补贴、地区产业基金涌入产业，且在近年来支持力度明显加大。对此，尹志尧评价，“有钱”只是产业发展的“必要条件”， 不是“充分条件”。 在“有钱”的基础上，“有人可用”才能实现赶超。引进人才与培养人才需并举尹志尧的“有人”论有据可依。据悉，一个16纳米的微观逻辑器件有60多层微观结构，要经过1000多个工艺步骤，要攻克上万个技术细节才能加工出来。只看等离子体刻蚀这个关键步骤，它的加工尺度为普通人

55、头发丝的五千分之一，加工的精度和重复性要达到五万分之一。一个刻蚀的反应器一年要加工上百万万亿个微观结构(1018)，要达到几乎百分之一百的合格率。光是完成这个过程，就需要调动一大批不同领域、经验丰富的专业人才。这仅是制造环节的一个最普通的例子。所有集成电路产品都需要倚靠人才的层层推动，继而投入大规模生产。无论是产业链上的设计、制造、封装、测试技术，还是产品定义、企业管理、市场营销等方面的把关都离不开人才。然而，“从头培养是来不及的，从头开发是不大可能的，只有尽快地吸引国外各种顶尖人才，形成国际一流的团队，才能站在巨人的肩上，尽快地实现赶超”，尹志尧说。要弥补与国外技术差距，用“拿来主义”将人才

56、和技术捆绑带回来是第一步。尹志尧分析，“我们不能从头到尾开发全套技术以抵抗40年的全球技术成果，而是要建一个类似于美国硅谷的人才磁场，吸引国际精英投身于中国”。 他举例：“美国应用材料公司在90年代曾吸引了66个国家的精英，才建成了百亿美元，占国际半导体设备50% 市场的超级公司。”筛选人才也有其门道。尹志尧认为“主动去找”比“等人才找上门”更科学，即主动到国外寻找人才而非网上筛选简历。他建议，通过各种渠道解和掌握国外一流的技术和管理的领军人物和中高层人才状况，对其业务能力、个人品德等综合指标进行考量，不能只听其个人“陈述”。这样一来，能很大程度上避免错引人才、名不副实的情况，真正把资源用到刀

57、刃上。在尹志尧看来，引进人才可对产业跨越式发展起到到立竿见影的效果，但培植本土人才却是未来产业长久发展的源动力。目前，我国半导体芯片人才的“本土培育”上存在模式短板：一方面很多高校教授只关心学术，距离产业、市场很远，另一方面半导体芯片专业设置与企业需求之间存在着很多不平衡，特别是缺乏跨学科、跨专业的系统型人才。对此，尹志尧表示，要改变现状，应组织主要大学的有关教授和学校课程设置负责人组成考察组，到国内外龙头企业进行调研，了解业界的实际需要，对于相关的专业进行调整。此外，还应建立大学的理论联系实际，教育跟上高技术发展脚步的一系列措施和制度。在业界和公司也要建立培训中心，有章法的加强基础和技术的训

58、练，在实践中培养人才。“有人可用”更要“人尽其才”作为知识密集型产业，集成电路产业人才培养具有周期长、投入大等特点。在集结一批高素质人才后，如何达到“1+12”效果值得推敲。在尹志尧看来，从海外归国创业的技术精英、在本土成长的一流人才，大多数只参与到个别研发部门的管理，缺乏在生产、销售、市场、营运、财务等一系列链条上的管理经验，而这恰恰是许多创业企业不能壮大的瓶颈所在。将人才打磨成适用型精英，需要渗透到企业日常的细节。尹志尧建议，在公司引入新鲜血液后，第一时间应对创始团队和专业技术精英进行企业管理方面的双向训练，并制定各阶段的考核任务以巩固训练成果。此外，为未来发展储备力量，还可按步骤推进领导

59、人接班计划。除企业自身发力外，调动人才创造积极性离不开国家政策的后方支持。对比美国和中国的海外人才配套政策，尹志尧颇有感慨：由于国外的薪酬待遇和国内差距太大，引进人才有现实的困难。我们在税收制度、永久居住权上，国际和政治待遇上，健康保险及退休安排上，都要有落实的政策，使他们能安心的，长期的在国内工作。他分析：“归国人才一旦扛起企业发展的大旗，所带来的经济效益和社会效益是长远的，在各项政策上给予他们和国外相近的薪酬和福利，更有利于其发挥自我价值。”尹志尧：人和动物最大的区别是人有一种欲望，而且是一种永远不满足的欲望，他为了这种欲望努力地奋斗，努力地工作，改变周围的世界，改变周围的环境，使他更利于

60、自己的生存。人的能动性是几十万年前人类脱离动物，变为人类最终的原因，而这个能动性是被他的一种欲望而催动的，这是人和动物的根本区别。在这种情况下，人会分为一群一群的，为什么会分成群？就是为了更好地生存和为了在竞争中更好地生存。所以，竞争是一个人类社会的本质，也是人性，人性本身就是竞争性。从几千年就有斗兽场，人和动物要杀，总要杀死一个，人还要斗。到现在，奥林匹克运动会不杀人了，但也要争个你高我低。高考，一定要争出谁考的分数是最高的。这种本质的东西是否能改变呢？是不能改变的。人本身的本性就是人性和狼性的综合，不是一个否定一个的。1980年，在美国一些亲戚的帮助下，来到加州大学洛杉叽分校攻读博士学位。