集成电路用先进材料项目环评报告书

1、1 概述1.1 建设项目概况安徽恒坤新材料科技有限公司是厦门恒坤新材料科技股份有限公司全资子公司。厦门恒坤新材料科技股份有限公司创立于1996 年，主要致力于高端光刻胶、超高纯度前驱体等集成电路先进材料的研发、生产和销售，具有自主研发能力和自主知识产权。产品主要应用于3D Nand、Dram、Logic等芯片制造先进工艺，填补了多项国内空白。目前旗下拥有2个生产基地。公司目前已成为国家集成电路材料联盟的成员，正积极参与国内集成电路上下游厂商的联合研发，推动集成电路关键材料的应用开发、技术升级和国产化替代。公司已取得了ISO 9001、QC080000、ISO14001 等质量、环境体系认证，产

2、品通过国内多家知名12英寸晶圆客户的测试并率先实现批量出货。前驱体材料主要包含有机硅烷前驱体和有机金属前驱体，主要用于集成电路（IC）芯片制造的CVD（化学气相沉积）及ALD（原子层沉积）的成膜工艺，形成芯片结构中栅极介电层，电容器和浅沟道隔离（STI）等。高纯前驱体产品是整个电子工业体系的核心原材料。它在国防军事工业、航空航天、新型太阳能电池、电子产品方面有着积极广泛的应用，从制造电脑芯片、太阳能电池，到移动通讯、卫星导航、航天器制造、尖端军事武器方面电子器件都离不开高纯前驱体产品。除了其在民间领域的运用，更为重要的是在国防军工领域作为核心关键材料的广泛运用。光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂

3、三种主要成份组成的、对光敏感的混合液体，自1959 年被发明以来一直是半导体核心材料，随后被改进运用到PCB 板的制造，并于20 世纪90 年代运用到平板显示的加工制造。最终应用领域包括消费电子、家用电器、汽车通讯等。而我国高端光刻胶几乎处于空白状态。高端光刻胶作为芯片制造关键材料，长期为国外企业垄断，对我国芯片制造具有“卡脖子”风险。综上，尽快实现前驱体材料、高端光刻胶产品的全面国产化具有十分重要的经济价值和战略意义。公司拟在合肥新站高新技术产业开发区新征土地100亩，投资46000万元，建设集成电路用先进材料项目。该项目已在合肥市发展和改革委员会备案（项目代码2109-340100-04-

4、01-686466）。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法等法规、文件的精神，安徽恒坤新材料科技有限公司委托我公司开展该项目环境影响评价工作。我公司依据国家有关环保法规和评价技术规定，编制完成了该项目环境影响报告书，现呈报合肥市生态环境行政主管部门审批。1.2 环境影响评价的工作过程根据环境影响评价技术导则总纲（HJ2.12016）的要求，项目评价工作程序见环境影响评价工作程序图1.2-1。依据相关规定确定环境影响评价文件类型1 研究相关技术文件和其他有关文件2进行初步工程分析3开展初步的环境现状调查1 环境影响识别和评价因子筛选2 明确评价重点和环境保护目标3 确定工作

5、等级、评价范围和评价标准制定工作方案环境现状调查监测与评价建设项目工程分析1 各环境要素环境影响预测与评价2 各专题环境影响分析与评价1 提出环境保护措施，进行技术经济论证2 给出污染物排放清单3 给出建设项目环境影响评价结论编制环境影响报告书（表）第一阶段第二阶段第三阶段图1.2-1 建设项目环境影响评价工作程序图1、2021年10月10日，建设单位委托安徽环合环保科技有限公司承担该项目环境影响报告书的编制工作。2、2021年10月14日，建设单位在合肥新站高新技术产业开发区管委会网站上进行了该项目首次环评公示。3、2021年10月，委托安徽尚德谱监测技术有限公司对项目所在区域环境质量现状进

6、行了监测。1.3 项目与有关政策及规划的符合性 1.3.1 政策及规划的相符性分析与国家产业政策相符性分析对照产业结构调整指导目录（2019年本）可知，本项目的光刻胶属于产业结构调整指导目录（2019 年本）“鼓励类：十一、石油化工12、改性型、水基型胶粘剂和新型热熔胶，环保型吸水剂、水处理剂，分子筛固汞、无汞等新型高效、环保催化剂和助剂，纳米材料，功能性膜材料，超净高纯试剂、光刻胶、电子气、高性能液晶材料等新型精细化学品的开发与生产”，并且该项目取得了合肥市发展和改革委员会关于本项目的备案。因此，本项目属于允许类建设项目，符合国家产业政策要求。 与皖经信原材料函2020706号政策符合性分析

7、根据安徽省经济与信息化厅、安徽省发展和改革委员会、安徽省自然资源厅、安徽省生态环境厅、安徽省应急管理厅关于加强化工项目建设管理的通知内容，严格控制引进涉及光气化、硝化、重氮化、偶氮化工艺以及硝酸铵、硝酸胍、硝基苯系物等爆炸性化学品等高风险项目。本项目不涉及光气化、硝化、重氮化、偶氮化工艺及硝酸铵、硝酸胍、硝基苯系物等爆炸性化学品。因此，项目符合安徽省经济与信息化厅、安徽省发展和改革委员会、安徽省自然资源厅、安徽省生态环境厅、安徽省应急管理厅关于加强化工项目建设管理的通知中的有关规定。 与合肥新站高新技术产业开发区总体规划（2010-2030年）的符合性分析合肥新站高新技术产业开发区原为合肥新站

8、综合开发试验区。合肥新站综合开发试验区为1995年4月经安徽省人民政府批准设立（皖政秘199578号）的省级经济技术开发区，核准面积6平方公里，位于合肥市东北区域。1996年被国家建设部列为全国首家城市综合开发试验区。2016年6月，经安徽省人民政府批复，新站综合开发试验区更名为合肥新站高新技术产业开发区。根据南京国环科技股份有限公司编制的合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境影响报告书以及合肥新站高新技术产业开发区总体规划（2010-2030）环境影响报告书审查意见（皖环函2020596号），合肥新站高新技术产业开发区以打造高端化、集群化、融合型、总部型的现代产业体系为目

9、标，以建设国家级新型平板显示产业基地为抓手，形成以战略性新兴产业为核心、以现代制造业和高新技术产业为主导、以现代服务业、观光型现代农业为支撑的产业发展格局，建设具有国际影响力的先进制造和高新技术产业基地。表1.3-1合肥新站高新技术产业开发区功能分区功能片区范围面积（km2）功能定位A功能片区淮南铁路线以南、临近合肥中心城区30.1低碳工业、近城商贸生态居住B功能片区淮南铁路线以北、合六叶高速公路以南、新蚌埠路以西26.2低碳工业、综合商贸科技研发、生态居住C功能片区淮南铁路线以北、合六叶高速公路以南、新蚌埠路以东24.6低碳工业、现代物流国际社区、生态居住D功能片区淮南铁路线以北、卧龙路以东

10、，合六叶高速公路以南、西山驿路和前岭路以西13.8生态林业E功能片区淮南铁路线和包公大道以北、西山驿路以西、东方大道以南、前岭路以东27.5商业商务、职业教育生态居住F功能片区合六叶高速公路以南、桥头集路以西东方大道以北、前岭路以东18.5行政中心、商业中心综合服务中心、生态居住G功能片区合六叶高速公路以南、桥头集路以西东方大道以北、前岭路以东20.8低碳工业、现代物流H功能片区合六叶高速公路以北、双龙湖以东、五湖大道以南、铜陵北路以西32.2低碳工业、现代物流本项目位于B-2功能片区位于淮南铁路线以北、合六叶高速公路以南、新蚌埠路以西，规划用地面积约26.2平方公里。重点发展职能：低碳工业、

11、综合商贸、科技研发、生态居住。发展策略：加快现有三元工业集聚区的综合改造，加快节能环保及新能源产业发展，兼顾发展新兴工业中的平板显示产业及生产配套企业（包括与平板显示产业相关的化工产业）；对三十头镇区进行有机更新，健全配套公共服务设施，围绕三十头镇区建设新站区城市级服务中心；依托鹤翔湖周边地区建设城市级生态主题公园，沿板桥河滨河地段加强生态景观建设；统筹布局服务于新站区发展的商业商贸、文化体育、教育医疗等公共服务设施。拟建项目图1.3-1合肥新站高新技术开发区总体规划图拟建项目生产前驱体材料，主要用于集成电路（IC）芯片制造的CVD（化学气相沉积）及ALD（原子层沉积）的成膜工艺，形成芯片结构

12、中栅极介电层，电容器和浅沟道隔离（STI）等；光刻胶主要用于平板显示的加工制造，最终均应用于消费电子、家用电器、汽车电子等领域。拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，项目符合新站高新技术产业开发区规划产业发展方向且符合B功能片区定位。根据合肥新站高新技术产业开发区总体规划（2010-2030年）的规划用地布局图（图1.3-1），项目用地属于工业用地，符合开发区土地利用要求。项目不占用基本农田，周围无项目制约因素，开发区内供水、供电、通讯、排水等基础设施齐备，场地内及周边未发现滑坡、岩溶、泥石流、断层、采空区、危岩等不良地质现象，对本项目的建设没有不利影响。综上，本评价认为项目选址合

13、理。 与合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境影响报告书及其审查意见相符性分析根据合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境影响报告书，合肥新站高新技术产业开发区入区主导项目行业参考建议一览表如下:表1.3-2入区主导项目行业参考建议一览表一览表行业分类允许入园行业类别禁止入园行业类别（环境负面清单）电子信息技术产业集成电路，新型显示器件，软件，计算机产品及其网络应用技术，广播影视技术，新型电子元器件，信息安全技术，智能交通和轨道交通技术列入产业结构调整指导目录中限制类、淘汰类装备制造业。高端装备制造产业轨道交通，航空航天，工业机器人与工作站列入产业结构调整

14、指导目录中限制类、淘汰类材料制造产业；化工新材料等涉及重金属污染的新材料产业。新能源汽车新能源汽车产品领域研发、设计、生产、销售、服务企业，充电、换电及加氢设施领域研发、设计、生产、销售、服务企业，生产测试设备领域研发、设计、生产、销售、服务企业/智能制造企业智能技术、测控装置、制造装备/新材料金属材料、无机非金属材料、高分子材料、生物医用材料/服务业研发设计与其他技术服务、信息服务、金融服务、节能与环保服务、生产性租赁服务、商务服务、人力资源管理与培训服务、建筑服务业、文化传媒产业服务业、生物医药服务、商贸服务业/本项目生产前驱体材料，主要用于集成电路（IC）芯片制造的CVD（化学气相沉积）

15、及ALD（原子层沉积）的成膜工艺，形成芯片结构中栅极介电层，电容器和浅沟道隔离（STI）等；光刻胶主要用于平板显示的加工制造，最终均应用于消费电子、家用电器、汽车电子等领域，可归类为“新材料”行业，不在园区负面清单内，本项目位于安徽省合肥新站高新技术产业开发区颍州路以东、东方大道以北地块，项目拟建地块用地性质为工业用地。因此，本项目建设与合肥新站高新技术产业开发区总体规划用地布局相符。因此，项目符合合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境影响报告书、合肥新站高新技术产业开发区总体规划（2010-2030）环境影响报告书审查意见（皖环函2020596号）以及合肥新站高新技术产业

16、开发区总体规划(20102030)中的相关要求，具体相符性如下表。表1.3-3拟建项目与合肥新站高新技术产业开发区总体规划(20102030)环境影响报告书审查意见符合性一览表序号审查意见本项目情况符合性1加强规划引领，坚持绿色协调发展。开发区为位于合肥市城区东北部，规划应与皖江城市带承接产业转移示范区规划和安徽省国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要等相符合，坚持生态优先、高效集约发展。加强与在编的合肥市国土空间规划和合肥市“三线一单”的协调衔接，按照省政府对开发区的批复要求和最新生态环境管理要求，着力推进开发区产业转型升级和结构优化。现有不符合开发区发展定位、国土空间规划和生态环境保护要求

17、的企业应逐步升级改造或搬迁淘汰，确保产业发展与区域生态环境保护、人居环境质量保障协调本项目生产前驱体材料，主要用于集成电路（IC）芯片制造的CVD（化学气相沉积）及ALD（原子层沉积）的成膜工艺，形成芯片结构中栅极介电层，电容器和浅沟道隔离（STI）等；光刻胶主要用于平板显示的加工制造，最终均应用于消费电子、家用电器、汽车电子等领域。拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，项目符合新站高新技术产业开发区规划产业发展方向且符合园区高效集约发展、绿色协调发展的要求。符合2严守环境质量底线，落实区域环境质量管控措施。根据国家和我省大气、水、土壤、固体废物等污染防治相关要求，结合开发区现有生

18、态环境问题，制定污染防控方案、污染物总量管控要求和现有环境问题整改方案。进一步削减区域大气污染物排放，完成重点行业污染治理升级改造、燃煤小锅炉淘汰、燃气锅炉超低氮燃烧改造、“散乱污”企业综合整治等工作；落实区域水污染防治工作，严格执行合肥市水污染防治工作方案合肥新站区板桥河、二十埠河水质达标方案和南淝河水质达标方案等，并完善相关配套工程。切实保障区域固定污染源达标排放，区域环境质量持续优化，区域环境问题得到妥善解决本项目为新建项目，不新建锅炉，拟建项目废水主要包括生产废水（工艺废水、循环冷却系统置换排水、车间冲洗废水、循环冷却水系统排水、纯水制备废水）及生活污水。项目建成后，本项目生活污水经管

19、道排入厂区化粪池，车间冲洗废水及初期雨水通过厂区污水处理站处理，与生活污水、循环冷却水系统排水、纯水制备废水、锅炉废水混合后，进入园区污水管网，送蔡田铺污水处理厂处理后达到巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值（DB34/2710-2016）表2中的排放标准后排入板桥河。噪声已采用有效治理措施，固废全部得到妥善处理处置，厂区地面实施分区防渗措施，并拟在厂区内建设一座720m3事故池。项目在落实各项污染防治措施的基础上，对周边环境影响较小。符合3优化产业布局，加强生态空间保护。进一步明晰开发区产业定位，确定产业发展布局和发展范围，合理规划各工业片区、工业区与城镇生活区等不同功能区的

20、环境保护空间。加强生态空间保护，严禁不符合管控要求的各类开发建设活动。做好开发区生产、生活服务空间之间的隔离和管控，切实解决居住与工业布局混杂问题，实现产业发展与区域生态环境保护相协调。规划范围内涉及生态保护红线，应严格按照生态保护红线管控要求加强管理。根据合肥新站高新技术产业开发区总体规划（2010-2030年）的规划用地布局图，项目用地属于工业用地，符合开发区土地利用要求。项目不占用基本农田，不涉及生态红线，周围无项目制约因素，开发区内供水、供电、通讯、排水等基础设施齐备，场地内及周边未发现滑坡、岩溶、泥石流、断层、采空区、危岩等不良地质现象，对本项目的建设没有不利影响。拟建项目属于园区发

21、展与主导行业配套的“化工产业”，符合开发区产业定位。符合4完善环保基础设施建设，强化环境污染防控。结合区域供水、排水和供气（供热）等规划，合理确定开发规模。结合区域环境质量现状，细化污染防治基础设施的建设要求。实施开发区内清污分流、雨污分流，所有污水实行全收集、全处理，推进污水处理厂提标改造、中水厂建设，提高污水收集和水资源利用率，减少污染物排放量。加快集中供热和天然气规划实施进度，限期对生物质锅炉、天然气锅炉进行改造，加强废气收集和处理，严格控制挥发性有机物、恶臭等气体的排放本项目实行雨污分流。项目建成后，本项目生产废水、车间冲洗废水、生活污水及初期雨水通过厂区污水处理站处理，与循环冷却水系

22、统排水、纯水制备废水混合后，进入园区污水管网，送蔡田铺污水处理厂处理后达到巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值（DB34/2710-2016）表2中的排放标准后排入板桥河。本项目废水水质满足蔡田铺污水处理厂接管要求。本项目挥发性有机物采取措施喷淋吸收和活性炭吸附方式治理，对周边环境影响较小。对于装置区无组织恶臭污染控制，主要还是保证设备密封性，如物料输送采用磁力泵，储罐采用氮封保护等，尽量减少无组织废气的排放。符合5细化生态环境准入清单，推动高质量发展。根据国家和区域发展战略，结合区域生态环境质量等，严格产业的环境准入，限制与开发区工业区主导产业和城镇生活区发展不想关，且污染物

23、排放量大的项目入区本拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，项目符合新站高新技术产业开发区规划产业发展方向且符合园区高效集约发展、绿色协调发展的要求。符合6完善环境监测体系，加强生态环境风险防控。统筹考虑区内污染物排放、水环境保护、环境风险防范、环境管理等事宜。考虑区域内存在大量居住和商业片区，产城融合特征明显，开发区务必健全区域风险防范体系和生态安全保障体系，加强开发区内重要风险源的管控，完善环境风险防范应急措施。坚持预防为主，防控结合，入园企业在开发区环境风险应急处置框架下，制定环境风险应急预案，在具体项目中细化实施本评价已按要求提出了环境监测计划，项目建成后，建设单位应按本评价

24、要求进行环境监测。本评价已提出了相应的风险防控措施，建设单位需按要求落实，同时要求建设单位应结合本项目相关内容对现有应急预案进行修编并报相关部门备案，应急预案内容需与开发区环境应急预案联动。符合7加强日常环境管理，落实区域环境管理要求。强化开发区环境管理队伍建设，严格落实环境影响评价和排污许可制定，督促现有入园企业及时完善环评手续、完成环境保护竣工验收。适时开展环境影响跟踪评价。本评价要求建设单位需按照 HYPERLINK /ywgz/fgbz/bz/bzwb/pwxk/201907/W020190726463360946225.pdf 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ 10312

25、019）自行监测要求，加强日常环境监测和管理，做好台账记录和存档工作，根据本项目相关内容及时办理相关环保手续。符合拟建项目图1.3-2 合肥新站高新技术开发区功能片区示意图与合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划相符性分析2010年12月，经合肥市原安全生产监督管理局复函（合安监函201040号），同意设立合肥新站综合开发试验区平板显示及电子信息产业配套化工集中区（以下简称“化工集中区”）。2014年12月，经合肥市人民政府批复（合政秘2014177号），同意设立合肥新站综合开发试验区平板显示及电子信息产业配套化工集中区，并根据新站综合开发试验区平板显示及电

26、子信息产业配套化工集中区安全发展规划，将化工集中区规划为A区、B区两个分区，其中A区总面积684公顷、B区总面积2178公顷。为贯彻落实合肥市人民政府批复（合政秘2014177号），2020年9月合肥新站高新技术产业开发区管委会委托安徽省化工设计院编制了合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。由于化工集中区批复范围较大，化工企业布点较为分散，且内部涉及商业住宅，学校等环境敏感点较多，为合理降低安全风险，进一步优化新站高新区产业布局，提升 本质化安全水平，促进产业高质量发展，最终确定化工集中区A区规划重点发展范围为A2区，面积为118.94公顷，化工集中区B区

27、规划重点发展范围为B2区，面积为499.1公顷。本项目位于化工集中区B2区，该区的产业定位“严格按照平板显示及电子信息产业配套化工集中区规划，本着配套原则，不得布置与产业配套无关的化工项目”。本项目属于电子信息产业配套项目，符合化工集中区的产业定位，符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。与合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划环评影响报告书相符性分析2014年12月，经合肥市人民政府批复（合政秘2014177号），同意设立合肥新站综合开发试验区平板显示及电子信息产业配套化工集中区，分为A区和B区，其中A区面积684公

28、顷、B区面积2178公顷；2020年12月17日合肥市自然资源和规划局对化工集中区用地情况进行说明，确定化工集中区面积为558.96公顷，用地范围即A2区和B2区规划范围，A2区在原A区范围内、B2区在原B区范围内；2021年4月19日安徽省人民政府下达了同意认定第一批安徽省化工园区的批复（皖政秘202193号），批复中合肥新站化工园区属于第一批安徽省化工园区，规划面积为5.59平方公里；2020年9月合肥新站高新技术产业开发区管委会委托安徽省化工设计院编制了合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划（20202035）。集中区A2区四至范围：礼河路一新蚌埠路一

29、天水路一翰博高新厂区西边界限一住化电子厂区西边界限一新汴河路一铜陵北路，规划面积118.94公顷；集中区B2四至范围:龙子湖路一颍州路一项王西路一通宝路一西涮河路一双凤路一新蚌埠路一项王西路一怀远路一珠城西路一通宝路，规划面积440.02公顷，合计558.96公顷。规划主导产业：集成电路、新型显示、新能源汽车等产业配套的化工材料产业。根据合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划(20202035)环境影响报告书，合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区产业发展负面清单一览表如下:表1.3-4 化工集中区产业发展负面清单一览表控制类别产业文

30、件要求/制定依据界定范围和划定标准说明禁止发展的产业及项目全部/“两高一资及对于能源、资源消耗大，环境污染严重，可能对区域环境、其他产业造成恶劣影响的产业必须严格限制。全部产业结构调整指导目录产业结构调整指导目录（2019年本）；外商投资产业指导目录（2019年修订）；产业转移指导目录（2012年本）、限制用地项目目录（2012年本）和禁止用地项目目录（2012年本）禁止类项目。全部环境保护综合名录（2017年版）（环办政法函201867号）名录共包含两部分：一是“高污染、高环境风险”产品名录，包括885项产品（附表部分工艺除外）；二是环境保护重点设备名录，包括15项环境监测设备、16项大气污

31、染防治设备、10项固体废物污染防治设备、28项废水处理设备、3项噪声与振动污染控制（材料）设备。对列入“高污染、高环境风险产品名录的生产项目应禁止进入园区。其他环境功能区划、主导产业炼铁、球团、烧结；炼钢；镒、铭冶炼；石墨及其非金属矿物制品中的石墨、碳素；原油加工、天然气加工、油母页岩提炼原油、煤制原油、生物制油及其他石油制品；含染整、脱胶工段或者产生缓丝废水、精炼废水的纺织，含湿法印花、印染工序的服装加工。肥料制造；农药制造；炸药、火工及焰火产品制造；日用化学品制造（除单纯混合和分装外的）；焦化、电石；煤炭液化、气化；纸浆、溶解浆、纤维浆等制造，造纸（含废纸造纸）；皮革、毛皮、羽毛（绒）制品

32、（毛皮糅制）；含有传统电镀、酿造、制革生产工艺的制造；其他与集成电路、新型显示、新能源汽车等产业无关的化工产业。拟建项目位于化工集中区B2区，该区的产业定位“严格按照平板显示及电子信息产业配套化工集中区规划，本着配套原则，不得布置与产业配套无关的化工项目”。本项目属于电子信息产业配套项目，符合化工集中区的产业定位，不在产业发展负面清单内，符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。因此，项目符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划(20202035)环境影响报告书及其审查意见（环建审202138号 合）的要求，具体相符性

33、如下表。表1.3-5 拟建项目与合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划(20202035)环境影响报告书及其审查意见符合性一览表序号规划环评及其审查意见本项目情况符合性1加强规划引领，坚持绿色协调发展。集中区应 坚持生态优先、高效集约发展。规划应与安徽省巢湖 流域水污染防治条例、安徽省化工园区认定申报条件指 南等相符合，统筹与合肥市国土空间规划的衔接。加强规 划与安徽省污染防治攻坚战行动方案、省市“三线一单”的 协调衔接。着力推进集中区产业转型升级和结构优化，确保 产业发展与区域生态环境保护、人居环境质量保障相协调。 补充经济发展目标。本项目生产前驱体材料，

34、主要用于集成电路（IC）芯片制造的CVD（化学气相沉积）及ALD（原子层沉积）的成膜工艺，形成芯片结构中栅极介电层，电容器和浅沟道隔离（STI）等；光刻胶主要用于平板显示的加工制造，最终均应用于消费电子、家用电器、汽车电子等领域。拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，项目符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区发展方向且符合园区高效集约发展、绿色协调发展的要求。符合2严守环境质量底线，落实区域环境质量管控措施。 根据国家和安徽省及合肥市大气、水、土壤、固体污染防治 相关要求，制定污染防控方案、污染物总量管控要求和现有环境问题整改方案。切实保障区域项目达标排

35、放，区域环境 质量持续优化，区域环境问题得到妥善解决。本项目为新建项目，不新建锅炉，拟建项目废水主要包括生产废水（工艺废水、循环冷却系统置换排水、车间冲洗废水、循环冷却水系统排水、纯水制备废水）及生活污水。项目建成后，本项目生活污水经管道排入厂区化粪池，车间冲洗废水及初期雨水通过厂区污水处理站处理，与生活污水、循环冷却水系统排水、纯水制备废水、锅炉废水混合后，进入园区污水管网，送蔡田铺污水处理厂处理后达到巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值（DB34/2710-2016）表2中的排放标准后排入板桥河。噪声已采用有效治理措施，固废全部得到妥善处理处置，厂区地面实施分区防渗措施，并

36、拟在厂区内建设一座720m3事故池。项目在落实各项污染防治措施的基础上，对周边环境影响较小。符合3优化产业布局，加强生态空间保护。做好集中区建 设生产、生活服务空间之间的隔离和管控。实现产业发展与 区域生态环境保护相协调。根据合肥新站高新技术产业开发区总体规划（2010-2030年）的规划用地布局图，项目用地属于工业用地，符合开发区土地利用要求。项目不占用基本农田，不涉及生态红线，周围无项目制约因素，开发区内供水、供电、通讯、排水等基础设施齐备，场地内及周边未发现滑坡、岩溶、泥石流、断层、采空区、危岩等不良地质现象，对本项目的建设没有不利影响。拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，

37、符合开发区产业定位。符合4完善环保基础设施建设，加快中水回用管网、集中 供热配套管网、物流管网建设，集中区应设置专业的工业废 水处理设施实施节水和中水利用方案，提高水资源利用率。本项目实行雨污分流。项目建成后，本项目生产废水、车间冲洗废水、生活污水及初期雨水通过厂区污水处理站处理，与循环冷却水系统排水、纯水制备废水混合后，进入园区污水管网，送蔡田铺污水处理厂处理后达到巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值（DB34/2710-2016）表2中的排放标准后排入板桥河。本项目废水水质满足蔡田铺污水处理厂接管要求。符合5细化生态环境准入清单，推动高质量发展。根据国 家和区域发展战略，结

38、合区域生态环境质量等，严格集中区 规划产业的生态环境准入，明确入区企业的行业准入要求。本拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，项目符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区规划产业发展方向且符合园区高效集约发展、绿色协调发展的要求。符合6完善环境监测体系，加强生态环境风险防控，应设 立独立的初期雨水收排系统，初期雨水和事故废水应截流处 理。统筹考虑区域内污染物排放、水环境保护、环境风险防 范、环境管理等，健全区域风险防范体系和生态安全保障体 系，加强集中区内重要环境风险源的管控，完善环境风险防 范应急措施。本评价已按要求提出了环境监测计划，项目建成后，建设单

39、位应按本评价要求进行环境监测。本评价已提出了相应的风险防控措施，建设单位需按要求落实，同时要求建设单位应结合本项目相关内容对现有应急预案进行修编并报相关部门备案，应急预案内容需与开发区环境应急预案联动。符合7加强日常环境监管，落实区域环境管理要求。严格 落实环境管理要求，强化集中区环境管理队伍建设，严格落 实环境影响评价和排污许可制度。本评价要求建设单位需按照 HYPERLINK /ywgz/fgbz/bz/bzwb/pwxk/201907/W020190726463360946225.pdf 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ 10312019）自行监测要求，加强日常环境监测和管理

40、，做好台账记录和存档工作，根据本项目相关内容及时办理相关环保手续。符合拟建项目图1.3-3合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区规划图1.3.2 环保政策相符性表1.3-6 与相关生态环境保护政策符合性分析政策名称方案内容本项目符合性分析打赢蓝天保卫战三年行动计划（国发201822号）重点区域范围。京津冀及周边地区，包含北京市，天津市，河北省石家庄、唐山、邯郸、邢台、保定、沧州、廊坊、衡水市以及雄安新区，山西省太原、阳泉、长治、晋城市，山东省济南、淄博、济宁、德州、聊城、滨州、菏泽市，河南省郑州、开封、安阳、鹤壁、新乡、焦作、濮阳市等；长三角地区，包含上海市、江苏省、浙

41、江省、安徽省；汾渭平原，包含山西省晋中、运城、临汾、吕梁市，河南省洛阳、三门峡市，陕西省西安、铜川、宝鸡、咸阳、渭南市以及杨凌示范区等。本项目位于合肥市新站区，属于长三角地区安徽省，属于重点区域范围。符合优化产业布局。加大区域产业布局调整力度。加快城市建成区重污染企业搬迁改造或关闭退出，推动实施一批水泥、平板玻璃、焦化、化工等重污染企业搬迁工程；重点区域城市钢铁企业要切实采取彻底关停、转型发展、就地改造、域外搬迁等方式，推动转型升级。重点区域禁止新增化工园区，加大现有化工园区整治力度。各地已明确的退城企业，要明确时间表，逾期不退城的予以停产。本项目为电子专用材料制造，属于化工行业，生产过程中涉

42、及化学反应。拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，符合化工集中区的产业定位，符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。符合严控“两高”行业产能。加大落后产能淘汰和过剩产能压减力度。严格执行质量、环保、能耗、安全等法规标准。修订产业结构调整指导目录，提高重点区域过剩产能淘汰标准。重点区域加大独立焦化企业淘汰力度，京津冀及周边地区实施“以钢定焦”，力争2020年炼焦产能与钢铁产能比达到0.4左右。严防“地条钢”死灰复燃。2020年，河北省钢铁产能控制在2亿吨以内；列入去产能计划的钢铁企业，需一并退出配套的烧结、焦炉、高炉等设备。本项目属于产业结构调

43、整指导目录（2019年本）和安徽省工业产业结构调整指导目录（2007本）的鼓励类项目，因此不属于过剩产能行业。符合（七）深化工业污染治理。推进重点行业污染治理升级改造。重点区域二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、挥发性有机物（VOCs）全面执行大气污染物特别排放限值。推动实施钢铁等行业超低排放改造，重点区域城市建成区内焦炉实施炉体加罩封闭，并对废气进行收集处理。强化工业企业无组织排放管控。开展钢铁、建材、有色、火电、焦化、铸造等重点行业及燃煤锅炉无组织排放排查，建立管理台账，对物料（含废渣）运输、装卸、储存、转移和工艺过程等无组织排放实施深度治理，2018年底前京津冀及周边地区基本完成治理任务，长三角

44、地区和汾渭平原2019年底前完成，全国2020年底前基本完成。本项目位于重点区域，本次环评要求项目SO2、NOX、颗粒物、VOCs执行大气污染物特别排放限值。符合重点区域继续实施煤炭消费总量控制。制定专项方案，大力淘汰关停环保、能耗、安全等不达标的30万千瓦以下燃煤机组。对于关停机组的装机容量、煤炭消费量和污染物排放量指标，允许进行交易或置换，可统筹安排建设等容量超低排放燃煤机组。重点区域严格控制燃煤机组新增装机规模，新增用电量主要依靠区域内非化石能源发电和外送电满足。限时完成重点输电通道建设，在保障电力系统安全稳定运行的前提下，到2020年，京津冀、长三角地区接受外送电量比例比2017年显著

45、提高。本项目不建设锅炉符合开展燃煤锅炉综合整治。加大燃煤小锅炉淘汰力度。县级及以上城市建成区基本淘汰每小时10蒸吨及以下燃煤锅炉及茶水炉、经营性炉灶、储粮烘干设备等燃煤设施，原则上不再新建每小时35蒸吨以下的燃煤锅炉，其他地区原则上不再新建每小时10蒸吨以下的燃煤锅炉。环境空气质量未达标城市应进一步加大淘汰力度。重点区域基本淘汰每小时35蒸吨以下燃煤锅炉，每小时65蒸吨及以上燃煤锅炉全部完成节能和超低排放改造；燃气锅炉基本完成低氮改造；城市建成区生物质锅炉实施超低排放改造。本项目不建设锅炉符合加强扬尘综合治理。严格施工扬尘监管。2018年底前，各地建立施工工地管理清单。因地制宜稳步发展装配式建

46、筑。将施工工地扬尘污染防治纳入文明施工管理范畴，建立扬尘控制责任制度，扬尘治理费用列入工程造价。重点区域建筑施工工地要做到工地周边围挡、物料堆放覆盖、土方开挖湿法作业、路面硬化、出入车辆清洗、渣土车辆密闭运输“六个百分之百”，安装在线监测和视频监控设备，并与当地有关主管部门联网。将扬尘管理工作不到位的不良信息纳入建筑市场信用管理体系，情节严重的，列入建筑市场主体“黑名单”。加强道路扬尘综合整治。大力推进道路清扫保洁机械化作业，提高道路机械化清扫率，2020年底前，地级及以上城市建成区达到70%以上，县城达到60%以上，重点区域要显著提高。严格渣土运输车辆规范化管理，渣土运输车要密闭。本次环评要

47、求企业施工期按照要求做到“六个百分百”，已减少扬尘的产生量，减轻对周边大气环境的影响。符合实施VOCs专项整治方案。制定石化、化工、工业涂装、包装印刷等VOCs排放重点行业和油品储运销综合整治方案，出台泄漏检测与修复标准，编制VOCs治理技术指南。重点区域禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目，加大餐饮油烟治理力度。本项目为新建项目，项目建成后废气主要来自前驱体生产车间及光刻胶车间、辅助车间、危废库产生的各类含VOCs废气。依据车间分布及废气特性，建设单位拟采取分区收集、分类治理的措施，前驱体车间废气经一级石蜡油喷淋吸收+两级活性炭吸附处理；光刻胶车间废气经一级水吸收

48、+一级活性炭吸附处理。本项目生产过程中不使用涂料、油墨、胶黏剂等。符合安徽打赢蓝天保卫战三年行动计划优化产业布局。新、改、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等项目的环境影响评价，应满足区域、规划环评要求。本项目为电子专用材料制造，属于化工行业，生产过程涉及化学反应。拟建项目属于电子信息产业配套项目，符合化工集中区的产业定位，符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。符合深化工业污染治理。推进重点行业污染治理升级改造。二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、挥发性有机物（VOCs）全面执行大气污染物特别排放限值。推动实施钢铁等行业超低排放改造，城市建成区内焦炉实施炉

49、体加罩封闭，并对废气进行收集处理。强化工业企业无组织排放管控。开展钢铁、建材、有色、火电、焦化、铸造等重点行业及燃煤锅炉无组织排放排查，建立管理台账，对物料（含废渣）运输、装卸、储存、转移和工艺过程等无组织排放实施深度治理，2019年底前完成治理任务本项目属于电子专用材料制造，前驱体车间工艺废气中非甲烷总烃排放参照执行上海市地方标准大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）表1标准限值；光刻胶生产车间工艺废气中非甲烷总烃、苯乙烯、氨、氯化氢等排放执行合成树脂工业污染物排放标准（GB31572-2015）表5特别排放限值，甲醇、硫酸雾、吡啶、二甲苯等排放参照执行上海市地方标准大气污染物

50、综合排放标准（DB31/933-2015）表1及附录A中排放限值。符合实施VOCs专项整治方案。制定石化、化工、工业 HYPERLINK / t _blank 涂装、包装印刷等VOCs排放重点行业和油品储运销综合整治方案，出台泄漏检测与修复标准，编制VOCs治理技术指南。重点区域禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型 HYPERLINK / t _blank 涂料、油墨、胶粘剂等项目，加大餐饮油烟治理力度。开展VOCs整治专项执法行动，严厉打击违法排污行为，对治理效果差、技术服务能力弱、运营管理水平低的治理单位，公布名单，实行联合惩戒，扶持培育VOCs治理和服务专业化规模化龙头企业。2020

51、年，VOCs排放总量较2015年下降10%以上。前驱体车间废气经一级石蜡油喷淋吸收+两级活性炭吸附处理光刻胶车间废气经一级水吸收+一级活性炭吸附处理采取以上措施，对本项目VOC能有效的治理排放。符合合肥市打赢蓝天保卫战三年行动实施方案（三）优化产业布局。新、改、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等项目的环境影响评价，应满足区域、规划环评要求。本项目属电子专用材料制造，拟建项目属于园区发展与主导行业配套的“化工产业”，符合化工集中区的产业定位，符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。符合（四）严控“两高”行业产能。严格执行国家关于“两高”产业准入目录和

52、产能总量控制政策措施。严禁新增钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产能；严格执行钢铁、水泥、平板玻璃等行业产能置换实施办法；新、改、扩建涉及大宗物料运输的建设项目，原则上不得采用公路运输。本项目属于电子专用材料制造，不属于钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产业。本项目不涉及煤炭、矿石、原油、钢铁、有色金属、农副产品(粮食等)、木材、砂石、水泥、化肥和盐等大宗物料符合（九）实施“煤改气”和“以电代煤”。结合区域和行业用能特点，积极推进工业生产、建筑供暖供冷、交通运输、农业生产、居民生活五大领域实施“以电代煤”，着力提高电能占终端能源消费比重。本项目生产过程加热环节采用电加热，不建设

53、锅炉。符合“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案“严格建设项目环境准入。提高VOCs排放重点行业环保准入门槛，严格控制新增污染物排放量。重点地区要严格限制石化、化工、包装印刷、工业涂装等高VOCs排放建设项目。新建涉VOCs排放的工业企业要入园区。未纳入石化产业规划布局方案的新建炼化项目一律不得建设。严格涉VOCs建设项目环境影响评价，实行区域内VOCs排放等量或倍量削减替代，并将替代方案落实到企业排污许可证中，纳入环境执法管理。新、改、扩建涉VOCs排放项目，应从源头加强控制，使用低（无）VOCs含量的原辅材料，加强废气收集，安装高效治理设施。”本次拟建项目位于合肥新站高新技术产业开发区内，

54、符合新站高新区规划。在VOCs整治措施方面，含VOCs工艺废气采用废气综合处理装置。有机废气处理效率95%以上。符合参照石化行业VOCs治理任务要求，全面推进化工企业设备动静密封点、储存、装卸、废水系统、有组织工艺废气和非正常工况等源项整治。现代煤化工行业全面实施LDAR，制药、农药、炼焦、油墨、胶粘剂、染料等行业逐步推广LDAR工作。加强无组织废气排放控制，含VOCs物料的储存、输送、投料、卸料，涉及VOCs物料的生产及含VOCs产品分装等过程应密闭操作。反应尾气、蒸馏装置不凝尾气等工艺排气，工艺容器的置换气、吹扫气、抽真空排气等应进行收集治理。1.拟建成后开展LDAR计划，企业应建立“泄漏

55、检测与修复”管理制度，细化工作程序、检测方法、检测频率、泄漏浓度限值、修复要求等关键要素，对密封点设置编号和标识，泄漏超标的密封点要及时修复。建立信息管理平台，全面分析泄漏点信息，对易泄漏环节制定针对性改进措施，通过源头控制减少VOCs泄漏排放。2.危废库废气管道引至2#车间废气处理系统经一级水吸收+一级活性炭吸附处理后由25m高DA002排气筒排放。3.物料的储存、输送、投料、卸料及生产过程密闭操作。符合重点行业挥发性有机物综合治理方案加强制药、农药、油墨、胶粘剂、橡胶和塑料制品等行业VOCs治理力度。重点提高涉VOCs排放主要工序密闭化水平，加强无组织排放收集，加大含VOCs物料储存和装卸

56、治理力度。废水储存、曝气池及其之前废水处理设施应按要求加盖封闭，实施废气收集与处理。密封点大于等于2000个的，要开展LDAR工作。本次拟建项目车间主要生产设施均为密闭化设计，物料转移为管道或泵输送，各废气产污节点所产废气均通过管道引至废气处理装置处理。拟建成后开展LDAR计划。符合加快生产设备密闭化改造。对进出料、物料输送、搅拌、固液分离、干燥、灌装等过程，采取密闭化措施，提升工艺装备水平。加快淘汰敞口式、明流式设施。重点区域含VOCs物料输送原则上采用重力流或泵送方式，逐步淘汰真空方式；有机液体进料鼓励采用底部、浸入管给料方式，淘汰喷溅式给料；固体物料投加逐步推进采用密闭式投料装置。本项目

57、液体物料均采用密闭管道输送，杜绝采用压缩空气或真空的方式抽压，储罐液体物料输送泵均选用无泄漏的磁力泵，不使用真空抽料泵，减少液体物料输送过程废气的产生排放。固态状物料在密闭卸料站内人工拆包后通过各原料专用卸料线氮气输送至专用粉料仓，然后通过密闭螺旋投料器计量、输送至溶剂釜内，整个过程均在密闭的空间或设备内完成。符合实施废气分类收集处理。优先选用冷凝、吸附再生等回收技术；难以回收的，宜选用燃烧、吸附浓缩+燃烧等高效治理技术。水溶性、酸碱VOCs废气宜选用多级化学吸收等处理技术。恶臭类废气还应进一步加强除臭处理。前驱体车间废气经一级石蜡油喷淋+两级活性炭吸附处理；光刻胶车间废气经一级水吸收+一级活

58、性炭吸附处理。符合安徽省生态环境厅关于加强化工行业建设项目环境管理的通知按照有关法律法规和政策性文件要求，禁止在淮河、巢湖流域新建化工等水污染严重的小型项目，严格限制新建化工大中型项目；禁止新建产业结构调整指导目录中淘汰类化工项目，严格限制VOCs排放化工项目，不得新建未纳入石化产业规划布局方案的炼化项目。本项目符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。本项目虽然为限制类的化工大中型项目，但项目废水主要为生活污水、循环冷却水系统排水、纯水制备浓水、车间冲洗水、初期雨水等，废水排放量较小，水质较简单，不属于禁止限制类项目。本项目属于产业结构调整指导目录（20

59、19年版）（修订）中鼓励类；本项目不属于炼化项目，因此，本项目符合相关要求。符合新建化工项目必须进入规范化工园区，并符合园区规划及规划环评要求，与“三线一单”成果相协调；在长江、淮河、新安江流域建设化工项目的，要严格执行中共安徽省委安徽省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江（安徽）经济带的实施意见的要求；在居民集中区、医院和学校附近，禁止新建或扩建可能引发环境风险的化工项目。根据合肥市主导产业配套新材料发展专题会纪要，本项目属于合肥市主导产业配套新材料。本项目符合合肥新站高新技术产业开发区平板显示及电子信息产业配套化工集中区总体发展规划。本项目废水主要为生活污水、循环冷却水系统排水、纯水

60、制备浓水、车间冲洗水、初期雨水等，废水排放量较小，水质较简单，进蔡田铺污水处理厂处理后，总量纳入蔡田铺污水处理厂总量控制范围，本项目对地表水环境影响很小，不会降低地表水现有环境功能级别。本项目排放废气为采取二级冷凝回用+四级喷淋吸收后，对大气环境影响较小。符合“三线一单”相关要求。符合长三角地区2020-2021年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案重点对含VOCs物料（包括含VOCs原辅材料、含VOCs产品、含VOCs废料以及有机聚合物材料等）储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废气有效收集等措施，削减VOCs无