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文档简介

1、Low-e玻璃生产工艺介绍工艺要求：一、LOW-E玻璃产品的膜层多，生产工艺复杂，需应用到许多的先进技术。二、要求生产设备具有较高可靠性。由于设备庞大，涉及机械、电器、自动控制等，每个部件都要求有相当高的可靠性才可以使整套设备正常生产。三、各层膜的绝对厚度控制在20埃以内，同时要求产品前后保持一致。具体要求如下：1：生产出的产品要求均匀性好，即玻璃整个板面的颜色一致（包含纵向和横向两部分），纵向需由阴极均匀和供配气的均匀来保证，横向需由传动和阴极电源的稳定性来保证。2：确保设备的抽气能力和维持好的真空状态。3：软件即工艺，要求可快速调节生产工艺的各个参数，保证快速生产，并且在生产过程中不断变化

2、参数，使生产的产品前后保持一致。 工艺过程：LOW-E玻璃是镀膜玻璃的一种，其生产工艺是将待镀膜的玻璃清洗、干燥后，由传送辊道送入装有阴极的工艺室内，并根据膜层需要，选择不同的靶材和工艺气体。在镀膜室内阴极上施以负电压，靶材后设有永久磁钢，并固定在阴极的顶面（面向玻璃的一面）。在电场的作用下，辉光放电开始形成等离子体，等离子体内的气体正离子由于靶材的负电荷吸引，向靶面飞去。当靶面材料受到足够强的碰撞，靶上的原子即被弹出而溅射到玻璃表面上，即形成一层原子粒排成的薄膜。通常靶上的原子在磁场的作用下可以得到较高的溅射率。采用多个工艺室，每个工艺室内选用不同的靶材和工艺气体，可在玻璃表面镀上不同要求的

3、复合膜层。生产线主要由进线检测、玻璃处理、低真空、高真空、镀膜、高真空、低真空、出线检测、下片等生产工序组成，其生产工艺过程分述如下：1、玻璃预处理玻璃预处理，是由切割掰边机、玻璃洗涤干燥机组成。由装有玻璃盘的上片机将大片玻璃送到上片台上，对于小片玻璃则可由人工上片至上片台上。玻璃（普通浮法玻璃或钢化玻璃）在进入镀膜室镀膜前必须将玻璃表面彻底清洗干净。清洗过程主要包括普通水清洗、去离子水漂洗和空气干燥。玻璃清洗为连续进行，首先采用一般清水清洗，分冷热水二道，其中热水清洗水温3545，最后采用去离子纯水漂洗一次。2、镀膜准备入口准备室：玻璃经清洗后在工序室等待进入镀膜室。为了防止空气中的尘埃进入

4、，该室保持微量正压。低真空室：玻璃在该室被快速送入低真空室，关闭门阀。由真空泵抽真空至10-2毫巴。 高真空传送室：在高真空传送室中，玻璃板的传送方式由间歇模式转换为连续模式，玻璃板一片一片连续进入镀膜室。以最大限度提高产量，并使溅射材料得到充分利用。3、镀膜第一工艺室：根据膜层的要求，选择不同的靶材和工艺气体，玻璃在第一工艺室被镀上第一层介质。 第二工艺室：玻璃在第二工艺室被镀上起低辐射作用的功能膜 第三工艺室：被镀上外层保护膜。4、出片准备高真空传送室：玻璃镀膜后由镀膜工艺室快速运至出口准备室。出口准备室：出口准备室的压强在10-2毫巴至大气压间波动。当出口准备室放入大气后，玻璃被快速输送至出口传送辊道。5、光学质量检

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