涂布机培训报告(1)

1、涂布机涂布机/VCD/VCD培训报告培训报告(1)(1)李建勇 ME:戈亚东戈亚东 20132013年年8 8月月1818日日Content人机界面操作介绍管路清洗以及滤芯更换介绍原点系列的校正常见异常的预防以及处理思考与改进Total Origin原点复归Motion MenuAuto ModeSlit coater原点复归画面，当slit coater急停及电源关闭后及更换刀头，再开启时需原点复归后才能完成后续操作。原点复归后原则上要重新校正台面原点及刀头原点，未出现重大异常停机及停电一般无需原点复归操作。Point Move画面内预存有常用的刀头位置及高度，用于手动移动刀头至相应功能位置

2、。Head Cleaning为清洗刀头预定程序。Chemical loading为光阻导入预定程序。Cleaner loading为PGMEA导入预定程序，用于长时间停机时刀头保护。Auto Mode画面为自动运行画面.左上角显示刀头位置座标及刀头高度。Cycle Stop为停止按钮，完成动作周期后会自动停止，当出现异常需强制停止时长按左下角stop按钮。PASS MODE为空跑模式，玻璃经过slit coater无涂布动作。Sub MenuMachine Date MenuPoint MoveSub Menu主要为异常报警和履历、I/O监视、修改密码及机台保养参数设定。其中常用的为异常监视和

3、机台保养参数设定。Table Offset 台面零点补偿。Z Axis Offset为刀头Z轴补偿。Head Zero Set 刀头零点设置。Table Zero Set 台面零点设置。Thick Zero Set 板厚测定零点设置刀头七个位置移动，及相应的坐标。若有硬体发生变动，可结合手动控制刀头移动到准确位置，再修改相应的坐标。Manual MenuVacuumAuto Mode手动操作涵盖了导轮传动，真空，相关泵浦，气动阀，刀头横向和竖向移动。导轮传动中有顺时针和逆时针传动。传动1部又有板厚测定。传送2、3部是有升降动作，及台面段Stopper上升、下降、前进和后退，以确保玻璃在台面正确

4、位置。传送4部又有Stopper上升和下降，以保证玻璃正确位置。Vacuum Punp真空泵开/关Table Vacuum 1 / Table Vacuum 2台面吸真空Dry Prevention Cover UP/DOWN防干燥槽上升下降操作Head Zero Set (Upper) UP/DOWN上游零点设置 sensor 升降操作Head Zero Set (Lower) UP/DOWN下游零点设置 sensor 升降操作Sub-Tank Auto Supply 当Sub-Tank 液位到 L 时，机台自动供应光阻到 Sub-TankSub-Tank Air Out Sub-Tank

5、释放空气压力Resist-Tank Pressure 供应CDA给主光阻桶Cleaner-Tank Pressure供应CDA给清洗剂桶Process Pump Drive开启 process pump，抽取废液Sub-Tank Pressure供应CDA给 sub tankSub-Tank压力压力sv/pv值值Sub-Tank液位标识液位标识Head/ValveHead Cleaning/Dry PreventServo MotorCoating Valve涂布电磁阀开/关操作，此电磁阀开启时光阻从刀头流出。Release Valve残留压力释放电磁阀开/关操作，此电磁阀开启时将管道 中的残

6、留压力释放掉Suck Back Valve回吸电磁阀开/关操作，此电磁阀在涂布完成后用来维持住光阻以免从刀头部流出Changeover Valve更换液体电磁阀开/关操作，此电磁阀开启时清洗剂将取代光阻进入刀头部Cleaner Valve清洗剂电磁阀开/关操作，此电磁阀是清洗剂开关Air Out Valve 1/2排空气电磁阀 1 /2开/关操作，此电磁阀用来排除管道内的空气Head Drying Blow Valve刀头清洁滑块吹气体干燥刀头和 cut barHead Cleaning 1 Valve刀头清洁滑块喷出清洗剂清洗刀头Head Cleaning 2 Valve刀头清洁滑块喷出清洗

7、剂清洗 cut barCleaning Head刀头清洁滑块前进后退手动操作Dry Prevent Cleaner往防干燥槽内注入清洗剂Cleaning Head Auto Move刀头清洁滑块自动前进后退FWD / REV刀头前进后退操作UP / DOWN刀头上升下降操作Num. Base手动输入刀头行进坐标Num. Speed / Accel设置刀头的行进速度和加速度值Num. Num. A & B side手动输入刀头升降高度Num. Speed / Accel设置刀头的升降速度和加速度值Each进入此页面后刀头 A side 和 B side 的升降高度和速度可以独立操作Ser

8、vo MotorMaintenance DataUP / DOWN A-side & B-side 刀头手动升降操作Num. A & B side刀头升降高度输入Head Zero Set (Upper) UP/DOWN上游零点设置 sensor 升降操作Head Zero Set (Lower) UP/DOWN下游零点设置 sensor 升降操作台面及刀头零点校正台面及刀头零点校正sensor显示值（上游和下游）显示值（上游和下游）Upstream I/F MonitorUpstream I/F Monitor与上游设备的信号交握画面当出现信号交握异常时，可长按 Cancel

9、 1sec 消除异常信号。Dry Prevention Motion自动运行状态刀头在设定时间未涂布后降入防干槽。Dry Prevention Fluid Loading Time防干槽补液时间Dry Prevention Fluid Loading Interval防干槽补液周期Cleaning Interval刀头清洗周期Head Cleaning刀头清洗次数Head Drying刀头吹干次数Cut-Bar Cleaning Cut-Bar清洗次数Head Drying Cut-Bar吹干次数光阻桶Subtank脱泡器Coating head滤芯滤芯CDAN2光阻工作流程当sub tank

10、液位低下时，自动开启光阻桶CDA加压，光阻经过滤芯注入sub tank。涂布时往sub tank内加压，光阻经过脱泡器进入coating head。Recipe所写的涂布气压即是sub tank气压，该气压大小直接影响到光阻膜厚。光阻PGMEA废液脱泡器Sub tankSub tank压力光阻桶压力PGMEA桶压力光阻自动补给Sub-tank液位废液回收PUMP1、Point Move画面将刀头移至Dummy Release Point，取出光阻桶。2、手动画面电磁阀手动操作(Head/Valve)开启Coating Release Valve,关闭Tank/PUMP画面Sub-Tank Au

11、to Supply,开启Process PUMP,开启Sub-Tank Pressure。直至将sub tank及管道中所有光阻排空。3、光阻桶内放入PGMEA，开启Tank/PUMP画面Sub-Tank Auto Supply将PMGEA注入sub tank，至高液位后关闭自动补给，手动开启Sub-Tank Pressure，将sub tank内的PGMEA通过管道至刀头流出，起到清理管道的效果。4、重复步骤3，将PGMEA一次次注入sub tank重复清理管道，直至管道内无光阻。5、取出PGMEA，重复步骤2将管道内PGMEA排空。6、光阻桶内放入新光阻，开启Tank/PUMP画面Sub-

12、Tank Auto Supply将光阻注入sub tank，至高液位后关闭自动补给，手动开启Sub-Tank Pressure，将sub tank内的光阻通过管道至刀头流出，直至脱泡器出来的光阻无气泡存在。7、切换到Motion Menu画面，导入光阻Chemical loading，然后清洗刀头Head Cleaning。更换光阻完成。更换滤芯确认：1.EPL358 IP100 EOC220B PF383A3 光阻跟换频率为(滤芯为0.2m滤芯） 1次/月 BM黑光阻更换频率为(滤芯为2m滤芯） 1次/7天 2.任何光阻切换时必须更换滤芯（IP100与EPL358切换不包括） 3.转型光阻切

13、换注意事项： (1).EPL358切换成 IP100时将管道及滤芯倒空后使用2瓶PGMEA清洗管道及滤芯 （反之相同） (2).所有不同光阻切换时将所有管道排空使用3瓶PGMEA清洗管道更换滤芯后在使用3瓶PGMEA清洗（即前三瓶后三瓶）备注：（BM切换其他光阻和EPL358切换成IP100不包括 ） (3).EPL358 IP100 EOC220B PF383A3 切换BM光阻时与上述切换方式一样 (4).BM光阻切换成EPL358 IP100 EOC220B PF383A3 切换时将所有管道排空使用10瓶PGMEA清洗管道更换滤芯后在使用5瓶PGMEA清洗（即前十瓶后五瓶）12BACD43

14、滤芯滤芯A A、B B、C C、D D四个接口及箭头说明：四个接口及箭头说明： ：箭头所指方向应为光阻流出方向；A ：光阻流入滤芯；B ：滤芯排气（正常情况下，滤芯内应充满光 阻，不能有气体）；C ：滤芯内光阻直排（将滤芯内光阻直接排出）；D ：光阻流出滤芯。编号编号1 1、2 2、3 3、4 4四根管道说明：四根管道说明：1，此为光阻流入管道（Sub-tank流出）， 接口处螺丝较大，与A匹配；2，此为排气管道，接口处螺丝相对较小，与B匹配；3，此为光阻直排管道，接口处螺丝较小，与C匹配；4，此为光阻流出管道（流向消泡器）， 接口处螺丝较大，与A匹配；安装步骤说明：安装步骤说明：，确认滤芯规

15、格（0.2um、0.5um、2.0um）；，确认滤芯内光阻流向（即四个接口对应功能）；，对四个接口螺纹缠生料带；，确认管道与接口匹配（注意管道与螺丝是否匹配）；，将接口与管道进行连接（注意接口段是否漏液）；，对Sub-tank加压，排除滤芯内气体 （标准：管道2内充满光阻，无气泡）。1、原点设置原理台面使用治具，将台面水平面与sensor水平面保持一致，将台面水平位置定为台面原点。刀头原点以台面原点为零点，距台面高度2mm时为刀头原点。刀头台面原点刀头原点2mm移动刀头至台面外，治具放置在台面边缘，将sensor上升至顶到治具，将此时sensor位置定义为台面原点位置。2、台面原点设置操作停机

16、CV下降移动刀头至台面外放置治具于台面边缘sensor上方上升sensor定义台面原点Main Menu Manual Operation Conveyor/Stopper Main Menu Motion Menu Point Move Dummy Release PointMain Menu Auto Mode Cycle StopMain Menu Manual Menu Servo Motor Each Head Zero Set UP Main Menu Sub Menu Machine Data Table Zero Set Change 放置治具 步骤说明操作画面2、台面原点设置

17、操作AB side各放置一个治具于sensor上方，上升sensor顶住治具。保持sensor上升顶住治具的状态，长按Table Zero Set 1s，sensor示数归零。台面原点设定结束。在Table Zero Set画面点击Change，进入设置原点画面。查看sensor示数是否为0.000，若有偏差需重新校正台面原点。上升sensor顶住治具。查看示数是否为0.000若有偏差，重新设定台面原点。保持sensor上升状态，长按此键进行重新设置。3、刀头原点设置操作停机CV下降移动刀头至原点sensor位置下降刀头至高度2mm上升sensor手动调整A/B side刀头高度至sensor

18、示数为2mmMain Menu Manual Operation Conveyor/Stopper Main Menu Motion Menu Point Move Head Zero Set Point Main Menu Auto Mode Cycle StopMain Menu Manual Menu Servo Motor Each Head Zero Set UP Main Menu Manual Menu Servo Motor Each 手动微调刀头高度至2mm Main Menu Manual Menu Servo Motor Num. 下降至10mm 下降至2mm定义刀头原点

19、Main Menu Sub Menu Machine Data Head Zero Set Change 步骤说明操作画面3、刀头原点设置操作通过此键微调AB-side高度，使AB-side高度2mm。传送CV下降，移动刀头至刀头原点设置位置。保持sensor上升顶住刀头的状态，长按Head Zero Set 1s，sensor示数归为2.000。刀头原点设定结束。在Head Zero Set画面点击Change，进入设置原点画面。查看sensor示数是否为2.000，若有偏差通过ABside高度微调使sensor示数为2.0000.002。此座标正好使刀头位于sensor上方。校正完刀头原点

20、后至Head Zero Set画面重新定义刀头原点位置。A，保持sensor上升状态。B,长按此键进行重新设置。1.超时在涂布机的人机界面对超时有两种警报：1、信号超时 2、传送超时信号超时：为T1/T2/T3超时，此种超时一般出现在人为动作干扰了信号传输，造成信号误判的时候会有这种情况，或是上下游设备的异常状态引起其信号传递超时预防处理：在人为操作后，对其IF进行Cancel设置。处理的时候对其IF Cancel长按一秒，基本能消除本体部位的信号超时异常传送超时：此时对其CV部位sensor进行点检是否为sensor异常、传送导轮异常、传送皮带异常、传送齿轮异常、以及各部件的动作情况预防处理

21、：根据sensor来判定位置，找出原因进行针对性的处理，平时对注意点检硬体部位，注意导轮、皮带、齿轮的磨损情况，磨损较严重的进行及时更换2.刮伤确认来料的同时判定刮伤的位置，以下分上下两表面的情况分析上表面：上表面若是涂布机产生的一般都为刀头位置；对其刀头进行清洁，确认无异物粘着刀头计算测量玻璃实际厚度判定recipe上面的设置是否合理，适当的拉高gap进行测试下表面：排查LD至ULD哪段产生并对应到是哪个导轮或是与对应位置有接触的地方，进行针对性的处理3.Pump异常我司涂布机Pump异常主要为废液Pump异常较多，其中大多数缘由为经常性切换不同种类光阻造成粘结以及管道冗赘在保养的时候对其废液管道进行整理，出现异常的时候判定是Pump还是管道单向阀门处堵塞，快速拆卸下来进行灌酒精用气枪进行清洁后组装上4.真空异常