薄膜材料与薄膜技术教学大纲

1、薄膜材料与薄膜技术课程教学大纲一、材料制备技术课程说明（一）课程代码：08131103（二）课程英文名称：Thin Film Materials and Thin film Technology（三）开课对象：物理系材料物理专业（四）课程性质：本课程是材料物理专业的一门专业选修课。（五）教学目的本课程主要介绍薄膜材料的制备及特性。通过学习既可以掌握一些薄膜物理的基本知识，同时也能了解该领域内当前的一些前沿研究进展，开阔眼界，这些都有利于学生将来更好的投入科研工作中去。（六）教学内容：本课程主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。其中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法，包括蒸发镀膜、溅射

2、镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。同时介绍了薄膜的形成，薄膜的结构与缺陷，薄膜的电学性质、力学性质、半导体特性、磁学性质以及超导性质等。（七）学时数、学分数及学时数具体分配学时数：36学分数：2学时数具体分配：教学内容讲授实验/实践合计第一章真空技术基础44第二章真空蒸发镀膜法44第三章溅射镀膜44第四章离子镀膜22第五章化学气相沉积44第六章溶液镀膜法44第七章薄膜的形成44第八章薄膜的结构与缺陷55第九章薄膜的性质55合 计3636（八）教学方式：课堂教学（九）考核方式和成绩记载说明：考核方式为考试。严格考核学生出勤情况，达到学籍管理规定的旷课量取消考试资格，

3、综合成绩根据出勤情况、平时成绩和期末成绩评定，出勤情况占20，平时成绩占20，期末成绩占60。二、讲授大纲与各章的基本要求第一章 真空技术基础教学要点：通过本章的教学使学生初步了解真空的基本知识，掌握获取一定程度的真空状态的方法及测量手段。教学时数：4教学内容：第一节：真空的基本知识第二节：稀薄气体的基本性质第三节：真空的获得第四节：真空的测量考核要求：1真空的基本知识（识记）2稀薄气体的基本性质（领会）3真空的获得（领会）4真空的测量（识记）第二章 真空蒸发镀膜法教学要点：了解真空蒸发镀膜的基本原理，了解蒸发特性以及相应的膜厚分布特点，了解膜厚和沉积速率的测量与监控方法。教学时数：4教学内容

4、：第一节：真空蒸发原理第二节：蒸发源的蒸发特性及膜厚分布第三节：蒸发源的类型第四节：合金及化合物的蒸发第五节：膜厚和沉积速率的测量与监控考核要求：1真空蒸发基本原理（领会）2蒸发源的特性及膜厚分布（识记）3蒸发源的类型（识记）4膜厚和沉积速率的测量与监控（领会）5合金及化合物的蒸发（领会）第三章 溅射镀膜教学要点：了解溅射法制备纳米薄膜的基本原理，掌握溅射法制备的特点，熟悉溅射镀膜的几种基本类型，了解溅射镀膜的厚度分布特点，明确如何控制厚度均匀性指标。教学时数：4教学内容：第一节：溅射镀膜的特点第二节：溅射的基本原理第三节：溅射镀膜类型第四节：溅射镀膜的厚度均匀性考核要求：1溅射镀膜的特点（识

5、记）2溅射的基本原理（领会）3溅射镀膜类型（识记）4溅射镀膜的厚度均匀性（领会）第四章 离子镀膜教学要点：介绍离子镀的原理和基本特点，了解离子镀的几种基本类型。教学时数：2教学内容：第一节：离子镀原理第二节：离子镀的特点第三节：离子轰击的作用第四节：离子镀的类型考核要求：1离子镀原理（领会）2离子镀的特点和离子轰击的作用（识记）3离子镀的类型（识记）第五章 化学气相沉积教学要点：系统介绍化学气相沉积法制备纳米薄膜的基本原理和基本特点，介绍几种常见的化学气相沉积方法。教学时数：4教学内容：第一节：化学气相沉积的基本原理第二节：化学气相沉积的特点第三节：CVD方法简介第四节：低压化学气相沉积第五节

6、：等离子体化学气相沉积第六节：其他化学气相沉积法考核要求：1化学气相沉积的基本原理（领会）2化学气相沉积的特点（识记）3几种常见的化学气相沉积方法（领会）第六章 溶液镀膜法教学要点：介绍溶液镀膜法的基本原理和特点，介绍几种溶液镀膜的方法。教学时数：4教学内容：第一节：化学反应沉积第二节：阳极氧化法第三节：电镀法第四节：LB膜的制备考核要求：1化学反应沉积（识记）2阳极氧化法（领会）3电镀法（领会）4LB膜的制备（识记）第七章 薄膜的形成教学要点：介绍薄膜的形成过程以及相应的生长模式，介绍两种薄膜形成过程的计算机模拟方法。教学时数：4教学内容：第一节：凝结过程第二节：核形成与生长第三节：薄膜形成

7、过程与生长模式第四节：溅射薄膜的形成过程第五节：薄膜的外延生长第六节：薄膜形成过程的计算机模拟考核要求：1薄膜形成过程与生长模式（领会）2薄膜形成过程的计算机模拟（领会）第八章 薄膜的结构与缺陷教学要点：了解薄膜的结构特点，了解薄膜结构与组分的分析方法。教学时数：5教学内容：第一节：薄膜的结构第二节：薄膜的缺陷第三节：薄膜结构与组分的分析方法考核要求：1薄膜的结构与缺陷（领会）2薄膜结构与组分的分析方法（识记）第九章 薄膜的性质教学要点：介绍薄膜的各种特殊性质，其中包括力学性质、电学性质、磁学性质等。教学时数：5教学内容：第一节：薄膜的力学性质第二节：金属薄膜的电学性质第三节：介质薄膜的电学性质第四节：半导体薄膜的性质第五节：薄膜的其他性质考核要求：1薄膜的力学性质（领会）2薄膜的电学性质（识记）3薄膜的其