第二章透射电子显微镜

1、第二章第二章 透射电子显微镜透射电子显微镜2 21 1 透射电镜成像原理透射电镜成像原理n1 1、透射电镜成像原理、透射电镜成像原理光源中间象物镜试样聚光镜目镜毛玻璃电子抢聚光镜样品物镜第一次像投影镜观察屏 （a）高放大像（b）衍射花样 样品 物镜衍射花样 第一次像中间镜第二次像投影镜选区光阑物镜光阑照明系统示意图阴极（接负高压）控制极（比阴极负1001000伏）阳极电子束聚光镜试样2 22 2透射电镜结构透射电镜结构n1 1、透射电镜三部分组成透射电镜三部分组成nA A 光学成像系统光学成像系统整个电子光学部分完全置于镜筒之内，自上整个电子光学部分完全置于镜筒之内，自上而下顺序排列着电子枪、

2、聚光镜、样品室、而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、 物物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置。根据这些装置的功能不同又可将电子构等装置。根据这些装置的功能不同又可将电子光学部分分为照明系统、样品室、成像系统及图光学部分分为照明系统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统。像观察和记录系统。nB B 真空系统真空系统 电子显微镜镜筒必须具有高真空，若镜筒中存在电子显微镜镜筒必须具有高真空，若镜筒中存在气体，会产生气体电离和放电现象；电子枪灯丝气体，会产生气体电离和放电现象；电子枪灯丝受氧化而烧断；高速电子与气体分子碰撞而散射受氧化而烧断；

3、高速电子与气体分子碰撞而散射, ,降低成像衬度及污染样品降低成像衬度及污染样品; ;nC C 电气系统电气系统 主要有灯丝电源和高压电源，使电子枪产生主要有灯丝电源和高压电源，使电子枪产生稳定的高照明电子束；各个磁透镜的稳压稳流电稳定的高照明电子束；各个磁透镜的稳压稳流电源；电气控制电路。源；电气控制电路。7 日本日立公司H700电子显微镜，配有双倾台，并带有7010扫描附件和EDAX9100能谱。分 辨 率：0.34nm加速电压：75KV200KV放大倍数：25万倍能 谱 仪：EDAX9100扫描附件：S70108 CM200-FEG场发射枪电镜JEM-2010透射电镜加速电压200KVLa

4、B6灯丝点分辨率 1.94加速电压20KV、40KV、80KV、160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4点分辨率 2.4最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度=20度 =25度9JEM-2010透射电镜加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94EM420透射电子显微镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04点分辨率 3.4最小电子束直径约2nm倾转角度=60度 =30度10Philips CM12透射电镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 2

5、.04点分辨率 3.4最小电子束直径约2nm；倾转角度=20度 =25度CEISS902电镜加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台能量分辨率1.5ev倾转角度=60度 转动400011JEM-2010透射电镜加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94EM420透射电子显微镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04点分辨率 3.4最小电子束直径约2nm倾转角度=60度 =30度2 23 3 透射电镜技术指标透射电镜技术指标n1 1、点分辨率、点分辨率n定义：两粒子之间的最小间隙。定义：两粒子之间的最小间隙。n方法：方法：AuAu真空蒸发镀膜。真空蒸发镀膜。n2 2、晶格分辨率、晶格分辨率n定义：能分清两晶面的最小间距。定义：能分清两晶面的最小间距。n方法：利用定向单晶薄膜做标样，利用晶格衍衬方法：利用定向单晶薄膜做