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文档简介
1、编号:SOP-QC-XXX标准操作程序贝码:Page 1 of 5名称:悬浮粒子监测操作规程生效日期:起草人/日期:批准人/日期:审核人/日期:颁发部门:质保室分发号:分发部门:质量保证部、质保控制部1目的建立悬浮粒子监测操作规程,使其操作规范化、合理化。2范围适用于洁净区悬浮粒子监测操作。3职责QA、QC检验人员负责本规程的实施,质量控制部部长、质量保证部部长负责监督。4内容4.1 测试方法4.1.1 测试用仪器:XX型激光尘埃粒子计数器。4.1.2 仪器使用操作步骤:见XXX型激光尘埃粒子计数器使用操作规程。4.2 测试条件被测试洁净室(区)温、湿度须达到规定的要求(无特殊要求时,温度控制
2、在1826C, 相对湿度控制在4565%为宜),静压差、换气次数、空气流速必须控制在规定值内。4.3 测试状态测试状态有静态和动态两种,静态是指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕 且功能完备的情况下,生产工艺设备已安装,但洁净室(区)内没有生产人员的状态或洁 净室(区)在生产操作全部结束后,生产操作人员撤离现场并经过自净后的状态;动态是 指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下运行,并且有指定的人员按照 规范操作的状态。测试状态的选择必须符合生产的要求,并在报告中注明测试状态。测试人员必须穿戴符合环境洁净度级别的工作服。静态测试时,室内测试人员不得多于2人。编号:SOP-QC
3、-XXX标准操作程序名称:悬浮粒子监测操作规程页码:Page 2 of 54.4 测试时间对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经10分钟自净后开始;对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经20分钟自净后开始。在动态测试时,须记录生产开始时间以及测试时间。4.5 悬浮粒子计数4.5.1 采样点数目及其布置4.5.1.1 最少采样点数目按下述公式求出最少的采样点数目:NL.A式中: Nl :一最少采样点数(四舍五入为整数);A:一洁净室或洁净区的面积,以褶计。在单向流情况下,面积
4、 A可认为 是垂直于气流方向上的横切面积。在非单向流情况下,面积 A指房 间面积。4.5.1.2 采样点位置及布置4.5.1.2.1 采样点位于工作活动的高度,一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。4.5.1.2.2 各洁净级别采样点布置规则见附录 1。4.5.2 采样次数:对于任何小的洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。4.5.3 采样量根据ISO14644-1规定最少采样量需同时满足以下两点规则:(a)根据下面公式计算得到每个采样点最少采样量式中,Vs每个采样点最少采样量,用升表示。Cn, m 为相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值(p
5、c/m3空气)编号:SOP-QC-XXX标准操作程序名称:悬浮粒子监测操作规程页码:Page 3 of 520 当粒子浓度处于该等级限值时,可被检测到的粒子数。经计算得:A级:1000LB级:静态690L,动态6.9LC级:静态6.9L,动态0.69LD级:静态0.69L(b)每个采样点的采样量至少为2升,采样时间最少为1分钟。以采样流量为28.3L/min的Y09-310型尘埃粒子计数器采样举例,那么 C级动态和D 级静态的采样量为28.3L。4.5.4采样注意事项4.5.4.1 在确认洁净室(区)压差达到要求后,开始进行采样。4.5.4.2 仪器自净:在测量之前及不同洁净级别的房间(采样点
6、)之间测量时需连接自净 头对仪器进行自净。4.5.4.3 使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作,采样管必须干净,严禁渗漏,采样 管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不得大于 1.5m。4.5.4.4 采样时,对于单向流,计数器采样管朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样 管口宜向上。布置采样点时,应避开回风口,测试人员应在采样口的下风侧,并尽量减少 活动。4.5.4.5 采样完毕后,需连接自净头对粒子计数器进行自净。4.5.4.6 应采取一切措施防止采样过程的污染。4.5结果判定采样结束后,立即打印结果。仪器显示全部采样点的粒子浓度及平均值均值的95%置信上限UCL,要求每个采样
7、点的平均悬浮粒子浓度及平均值均值的 95%置信上限(UCL) 均符合各洁净级别限度要求,各洁净级别限度要求见洁净区(室)环境监测管理规程(SMP-QC-04-030)。5参考文件及附录5.1 附录1:洁净室(区)采样点布置5.2 洁净区悬浮粒子测试记录(SOP-QC-XXX )5.3 洁净区悬浮粒子测试报告(SOP-QC-XXX )6文件历史编号:SOP-QC-XXX标准操作程序名称:悬浮粒子监测操作规程页码:Page 4 of 5版本号生效日期主要变更描述01本文件为新订禁止复印编号:SOP-QC-XXX标准操作程序名称:悬浮粒子监测操作规程页码:Page 5 of 5附录1:洁净室(区)采样点布置1.洁净室(区)采样点布置力求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点 的图示可作参考。注:为米样点图
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