蚀刻线岗位操作指引规范

1、蚀刻线岗位操作指引标准xxxxxx1子科技文件编号：版本A:版次：生效日期：制定审核批准日期日期日期文件更改履历表修订版次更改性质、内容、摘要修订贝次修订日期文件会签：拟案单位于口内以示回签部门电经理口治理者代表麻场部七程部嗑J造部需保部%控部口设备部喑理部密务部嗪购部力发部此文件为江西华浩源电子科技之机密文件,未经许可,不得复印xxxxxx1子科技蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：总页数：第1页共6页发行章1.0"也方Ui=r-ip!IBO驾港月3范目1：N【适用笨公D.E.S3.0耳f聚由#2#；心4#!a鹄甑1市镰嚼茄a乂/火/H1曳虫刻1#2#34高压水

2、洗5#6#783.3去膜段：.攵去膜1#2#r8#9#10市水冼3#一1#2#：I#一1洗-324市水洗4#"冷风干-热风阡4.0工艺参数举1IH希旦瞬光育彭长量参H约春浓备注线54IZ28C1.2-1.5m/mn1pW1取30C1.3-1.6m/mnaS救L32C1.5-1.8m/mn8-1线64lZ28C1.3-1.5m/mnPH4-11级30C1.4-1.6m/mnai患儿32C1.6-1.8m/mn8-1线74IZ28C1.3-1.5m/mnPH4-11级30C1.5-1.7m/mnLc衿/L32C1.6-1.8m/mn8-1油74T428C*m/min4-11不准生产级30

3、C0.9-1.1m/mnC0ejgWj32C1.0-1.2m/mn8淞儿油84iZ28C0.8-1.0m/mn早梗11岸楮品st级30C0.8-1.0m/mnCQ5g/LeEg32C1.0-1.2m/mn8-1；AF品油94T428C*m/minJtH4-11不准生产1级30C0.7-0.9m/mn|CQTbG:1J32C0.8-1.0m/mn8-15g/L油28C*m/min密军11不准生产11U级30C0.7-0.9m/mnCQ5q/L32C0.8-1.0m/mn8-JJ_、/、油11ZtZ28C*m/minPH良1牛产不也里J"、.、级30C0.6-0.8m/mnCQ32C0.

4、8-1.0m/mn8-J5q/L迪12次30C0.8-1.0m/mnPH集11仝32C0.9-1.1m/mnCQ48-15g/L蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：总页数：第2页共6页缸名工程限制范围最正确值配槽量更换标准分析频率显影(800L)碳酸钾8-15g/lwgn8kg母班或PH<10.4时更换2次/班PH值10.4-11210.83-=-=_=2上压力0.8-1.6kg/cm21.2kg/cm2下压力1.0-1.8kg/cm1.5kg/cm温度28-32C30c速度干膑1.2-18m/mink而剧辩B确定,超出此范围的为异常现象,必须得到工程师确实认方可生产

5、.感无致轮他墨：U6-12m/m1n阻焊油墨：06-1.2m/min1HZ等于0036米每分钟此公式只限于显影速度调试压力水洗压力0.8-1.2kg/cm-1.0kg/cm-1次/班热风吹干温度50-70C65C蚀刻(1200L)乍何罔于120-150g/L130g/L1次/班盐酸1.5-2.5N2.0N1次/班上压力1.2-2.0kg/cm21.6kg/cm2238.8HZ频率显示1次/班下压力1.4-2.0kg/cm21.8kg/cm38.8HZ温度49-54C52c单卸板：0.5OZ1.9-2.5m/min2.2m/min注：此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再

6、批量生产,批量生产时必须有专人检验板.单卸板：1.0OZ1.1-1.4m/min1.3m/min双卸板：0.5OZ1.1-1.4m/min13m/min双面板：1.0OZ1.0-1.3m/min1.2m/min双面板：2.0OZ0.2-0.5m/minQ3m/min蚀亥I(1200L)1.0OZ(已加厚10-20um)0.6-0.9m/min0.8m/min注：速度计算公式：1hz等于0.036米每分钟此工式只限于蚀刻脱膜计算方法0.5OZ(已加厚10-20um)0.9-1.2m/min1.0m/min0.15mm厚的钢片0.9-1.2m/min1.0m/min注：此参数只供做首板参考,每批生

7、产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产,量产时,每30pnl测试1次.0.2mm厚的钢片0.4-0.7m/min0.5m/min压力水洗压力0.8-1.2kg/cm2-,21.0kg/cm1次/班去膜(600+600)L氢氧化钠3-5%4%25kg1次/4天1次/班上压力0.8-1.4kg/cm21.1kg/cm2下压力1.0-1.6kg/cm2,21.3kg/cm消泡剂0.05-0.2%0.1%温度50-60C55速度1.0-2.2m/min1.6m/min压力水洗压力1.0-1.4kg/cm2-21.2kg/cm1次/班钝化H2SO41-3%2%60L1次/3天1次/班压力1.0-1.

8、4kg/cm2,21.2kg/cm压力水洗压力1.0-1.4kg/cm221.2kg/cm1次/班热风干温度75-100C85cD.E.S全线棉芯20/5-10um20/10um1次/周蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：总页数：第3页共6页5.0操作内容5.1 蚀刻线开机前准备5.1.1 检查药水槽,水洗槽液位是否正常,并使之正常.5.1.2 检查各盖板是否盖好,没盖好必须盖好.5.1.3 检查各输送轮是否清洁,不清洁必须清洗干净.5.1.4 检查烘干段加热系统是否正常,不正常使之修复.5.1.5 检查设备有否在维修保养中,如在维修保养中必需挂上标识牌,待维修OK后再开机

9、.5.1.6 检查连接部位是否需加润滑油.5.1.7 检查急停开关是否复位.5.2 开机5.2.1 开启主电源,机器电源.5.2.2 轻触触摸屏,进入机器运行操作系统.5.2.3 查看各段的温度是否正常,不正常的使之正常各段的温度都由工程师设定好,严禁随意更改,假设要更改,必须由工艺部专职工程师更改.5.2.4 开喷淋前领班或储干检查输送轮、轴转动是否正常,如有跳动或不转等异常应做好记号,并通知设备组维修,待维修完毕后才能开机.5.2.5 显影开机：依次翻开显影1#2#、摆动1#2#、水洗1#2#3#4次冷风1#、热风1#.5.2.6 蚀刻开机：轻触“下一页按扭依次翻开蚀亥J1#2#3次摆动1

10、#2#3#、水洗5#6#7#.5.2.7 脱膜开机：依次翻开脱膜1#2#、滚筒1#2#、吹膜1#2#、水洗8#9#10#4屯化1#2#3张水洗11/12、冷风2、热风2、冷却风扇.5.2.8 三段喷淋开起后检查喷淋摇摆、喷淋喷嘴,无异常后再开传动.5.2.9 轻触“传动速度按扭,进入速度设定界面,轻触设定栏,输入所需的速度值,轻触“确定按扭,确认速度.5.2.10 轻触“限制按扭,进入界面,轻触传动1#2#3#.5.2.11 手动翻开显影、蚀刻、脱膜、钝化后面的市水洗1#2#3#4#,并调至适当的流量400L/ho5.2.12 翻开限制柜的总电源开关.里面所有的设定参数,除了本工序的工程师外,

11、其他人不准作任何修改设定.5.3 放板5.3.1 将已曝光好的板撕掉聚酯膜后按操作示意图片平稳地放在转轮上,板与板之间的问隔为10cm以上,放板宽度不得超过530mm5.3.2 如果铜厚0.5OZ以下的单面板必须带回形框或载板过机.5.3.3 每放完一批板后面要放上一张绿板或引导板作标记.5.3.4 显影后产品必须有专人自检,自检合格前方可放入蚀刻机.5.3.5 蚀刻后必须抽检,限制欠蚀刻的板进入脱膜段.5.3.6 显影、蚀刻、首件前,必须先核对首件上的产品型号、版本号与流转单上的是否一致,梳对无误后再进行生产.开始生产批量前,必须先核对产品型号、版本号与流转单是否一致,领代班或负责人每1小时

12、抽查一次产品型号、版本号与流转单是否一致.蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：总页数：第4页共6页5.4接板5.4.1戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平整的放绿板上,注意拿板位置尽量拿板边缘5.4.2将生产板与绿胶片摆放整洁.5.4.3连续生产时,一旦发现出板不连续必须立即查看蚀刻机是否在卡板.如果出现卡板,立即按下红色的急停按扭,由领班或储干轻轻取出所卡之板,如取出所卡之板需拿出输送轮、轴时,要由领班或储干拿出,并做好记号,按原位装回,不得调乱位置.5.5关机5.5.1 将各水洗槽的进水阀门关闭,最后关闭总水阀.5.5.2 按开机相反顺序关机.6.0考前须知6.1 添加物

13、料时必须戴胶手套及防护眼罩、防酸围裙和水鞋如图1.6.2 机器卡板时必须立即按下红色的急停按扭使机器停下后再开盖取板如在药水缸处卡必须戴好防护用具再开盖取板,取出后即刻将板清洗干净.6.3 入料时应尽量使板位于机器中间位置,以保证受喷洒位置最好.6.4 入料时板与板间距应在10cm以上,宽度应在530mm以内,预防出现卡板特别是单面板.6.5 铜厚0.5OZ以下的单面板必须带回形框或载板过机.6.6 蚀刻钢片时必须在显影后转丝印用110c烘烤12min,然后再蚀刻.6.7 接板人员必须戴绵手套或指套作业,并将板放整洁.6.8 每批板批量生产前必须先做首板,首板张数等于菲林数曝光、显影、蚀刻时每

14、批每次只蚀亥ij2PNL,待首板OK后,再量产.6.9 在每班生产前必须通知化验室分析药水及测量各药水缸温度.6.10 蚀刻线生产时显影必须自检,蚀刻后必须抽检.6.11 生产线药水添加时必须有领代班、主管或工程师在场确认,预防意外事件发生.6.12 如发生药水泄漏、火灾等异常时,请按?紧急应变举措方法QCW091?处理.6.13 显影换缸时,先加水到液位再加碳酸钾,保养时先加水开启循环后再加氢氧化钠并手动搅拌,以免氢氧化钠结成块.7.0维护保养7.1.1 每班对机身及机台清洁一次.7.1.2 每2小时检查各压力,温度液及喷嘴是否正常,并使之正常.7.1.3 每2小时检查显影,去膜段消泡是正常

15、,每次补加消泡剂300ml稀释成1000ml后参加.7.1.4 每2小时用清水DI水清洗吸水棉辘一次.7.1.5 每班检查传送链条及输送轮转动,仪表是否正常,是否需加润滑油.7.1.6 每班清洁蚀刻药水箱过滤袋一次.7.1.7 每班清洁去膜的干膜渣一次.7.1.8 每三天更换显影段的水洗缸一次,换水时用碎布擦洗缸壁.7.1.9 每三天对蚀刻、去膜、钝化的水缸更换水洗一次.7.1.10 每三天对全线的棉芯及水泵过滤网清洁一次.7.1.11 每周全线的棉过滤芯更换一次.7.1.12 每周烘干段风机空气滤棉反吹清洁一次需设备组配合,如太脏需更换蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：

16、总页数：第5页共6页7.2设备的保养7.2.1 显影段保养半个月一次7.2.1.1 排掉缸内的药水和水.7.2.1.2 用清水清洗缸壁,必须去除污物、沉淀及结晶体,清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理.7.2.1.3 加水至液位,力口1桶25kg氢氧化钠NaOH,喷淋循环1-2小时后排掉.7.2.1.4 加清水,开启喷淋30分钟后排掉.7.2.1.5 加水至液位,力口2桶硫酸,喷淋循环1-2小时后排掉.7.2.1.6 力口水喷淋30min排掉,拆下喷嘴清洗,安装保证喷嘴成“一型调整摆架7.2.1.7 所有废液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理7.2.1.8 加水至液位,力口8kgK

17、2CO3,循环升温.7.2.1.9 各水洗缸排掉原水后按7.2.1.27.2.1.6流程保养,但是氢氧化钠及硫酸都是用5%,具体添加量由各缸的体积来决定,而无喷嘴段的滚轮要用高压水枪冲洗.7.2.1.10 风干段的滚轮要取出清洗需设备组协助,取出时做好顺序标记,按原位装回.风刀用压缩空气进行清洁.7.2.1.11 保养好后,要检查各滚轮运行是否正常,保证无误前方可进行生产.显影缸体上的油墨残渣,在用碱进行循环前先用洗网水擦干净.7.2.2 蚀刻段保养每2个月一次7.2.2.1 将蚀刻液用桶装起来.7.2.2.2 用水清洗缸体内的杂质及沉淀后排掉,清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理.7.2

18、.2.3 用5%的氢氧化钠NaOH循环1-2小时后排掉,再加清水循环15分钟后排掉,氢氧化钠清洗液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理.7.2.2.4 用5%的盐酸循环30分钟后排掉,再加清水循环15分钟后排掉,盐酸清洗液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理.7.2.2.5 拆下喷嘴清洗疏通,安装喷嘴调整为“一字型.7.2.2.6 将药水抽回缸里循环升温.7.2.2.7 对于水洗缸排掉原水后按7.2.2.2-7.2.2.5进行保养,而喷洒不到的滚轮要用高压水枪冲洗干净.7.2.2.8 保养好后,要检查各滚轮运行是否正常,保证无误前方可进行生产.7.2.3 去膜段保养1个月一次7.2.3.1 排掉原液,加清水循环20分钟排掉,.7.2.3.2 去膜缸及其水洗缸：用5%的硫酸循环1-2小时后排掉,再加清水循环半小时后排掉.7.2.3.3 钝化缸及其水洗缸：用5%的氢氧化钠NaOH循环1-2小时后排掉,再用5%的硫酸循环半小时后排掉.7.2.3.4 所有废液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理7.2.3.5 风干段的滚轮要取出清洗需设备组协助,取出时做好顺序标记,按原位装回7.2.3.6 保养好后,要检查各传送轮运行是否正常,有无不转或跳动,保证无误前方可进行生产.制作单位：工艺部文件编号蚀刻线岗位操作标准生效日期：版本号：总页数：第6页共6页8.