液环式真空泵施工总结

1、中国电子系统工程第二建设有限公司技术总结审核与提交附表姓名刘玮民所属部门苏州分公司岗 位专业工程师专业建筑环境与设备工程总结类别口个人年度技术总结；口个人项目技术总结；口项目技术总结项目名称苏州三星项目总结题目液环式真空泵原理及常见故障排除总结内容真空泵原埋及常见问题提交时间2013年12 月11 日审核意见：审核人：（项目技术负责人）年 月日审核意见：专业性和针对性较强，有借鉴意义，同意提交。审核人：王奇勋（技术副经理）2013年12月30日审核意见：审核人：（技术部）年 月日备注：1、编制项目技术总结或个人项目技术总结时应填写项目名称，编制个人年度技术总结则不需填写项目名称。2、个人年度技

2、术总结直接提交分公司技术副经理（或主管技术的领导、直管项目技术负责人、机关职能部门负责人）审核并签署评价意见后，提交公司技术部。3、个人项目技术总结由项目技术负责人审核并签署评价意见后，提交分公司技术副经理 （或主管技术的领导、直管项目技术负责人）确认，确认后提交公司技术部。4、项目技术总结直接提交分公司技术副经理（或主管技术的领导）审核并签署评价意见后，提交公司技术部。直属项目部的项目技术总结编制完成后直接提交公司技术部。液环式真空泵原理及施工总结1、 概述随着电子行业的快速发展，洁净厂房面积越来越大，产品生产规模也越来越大， 为其服务的工艺真空系统也越来越庞大，从而使得真空泵的应用也越来越

3、广泛。电子行业中的工艺真空系统（PV）主要用于末端真空吸笔吸取零部件或晶片， 相对于清扫真空系统（CV）的显著特点是末端使用点多，真空度相对较高（通常为 60KPa至90KPa）。目前工艺真空系统使用较为广泛的是液环式真空泵。2、 液环式真空泵的原理与应用2.1 液环泵原理液环式真空泵是相对于气环式真空泵而言，其工作液通常使用软化水，因此也 称之为水环泵。液环式真空泵主要用于粗真空的形成过程，具有等温压缩、对灰尘 不敏感、吸入气体可以夹带液体或大量水蒸气等优点。液环泵内的叶轮为偏心安装，当叶轮顺时针旋转时（见图 1）,水被叶轮抛向四 周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚

4、度的封闭圆环。 水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接 触。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成叶片 数目相等的若干个小腔。叶轮与泵体形成的右侧空腔的容积由小变大，且与端面上 的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续 旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵 外。由此循环往复，管路系统持续形成真空。图1液环真空泵原理2.2 液环泵应用实例某电子厂房主要生产LED晶片，工艺真空系统主要为生产设备和操作台上的 真空吸笔（接DN8气管）服务，生产班次为三班倒。故设计采用三台液环

5、式真空 泵（两用一备，2BE1型），单台真空泵吸气量为1200M3/H,真空度为90KPa。三 台设备根据储气罐内真空度变化交替启停，保证生产线24小时运行（见图2-真空泵控制原理图）。真空泵工作液采用软化水（尽量避免循环管路结垢），通过泵体叶轮的转动构 成闭式循环。循环过程消耗的水分通过电磁阀与液位计的联合动作给以补充。工作 液不断循环，并通过板式换热器与冷冻水（6-12 C）换热，将叶轮转动压缩做功产 生的热量传递出去，保证了泵的正常运行。同时，工作液在叶轮转动与压缩下形成 水环，促使真空的形成。工艺真空系统处于远程控制运行状态。1#泵持续运行，当系统真空度（以真空 稳压罐内真空度作为参照

6、）达到设定要求的数值（90KPa）时,1#泵停机。随着末 端真空笔的不停消耗，系统真空度降低。当真空度低于设定数值（80KPa）时，2#泵启动，系统真空度开始升高。当系统真空度达到90KPa时，2#泵即停机。随着系统真空度降低，3删启动。如此反复，1#、2#、3#泵交替启停，保证了系统真空度 永远保持在一个设定的范围内。当末端使用点过多，单台泵持续运行依旧满足不了整个系统要求的最小值 （80KPa）时，第二台泵即运行。当系统真空度达到设定的上限值时（90KPa）,第一 台泵即停机。这样保证了三台泵运行时长的相近性，避免了某台泵长期闲置。3、 液环泵常见故障与解决办法液环泵常见故障有如下几个：泵

7、体温度过高；泵体震动大；真空度过低等。3.1 泵体温度过高泵体温度过高，通常是工作液与冷冻水换热不均导致。此时，用手摸真空泵储 液罐罐体，往往烫手。（1）工作液水量不足，需要检查储液罐内液位，并调整液位 高度，增大补水量。（2）冷冻水侧水温偏高或水量偏小。此时调整冷冻水流量或降 低冷冻水水温。（3）机组真空度恶化。机组真空度恶化，电机功率加大，使得机组 温度升高，吸入的气体混合物温度升高带动了泵体温度升高。此时，通过措施（1）和(2),可解决泵体温度过高问题，同时抵消了真空度恶化的影响。3.2 泵体震动偏大液环泵震动过大，往往带动设备上相连的管线跟着震动。此时观察泵体底座和 基础，若基础与底座

8、震动较大，先检查底座底部是否装设了减震装置和固定膨胀螺 栓是否有松动；若基础与底座震动不大，则可确定震动由设备本体造成。(1)联轴器同轴度偏心。停机检查电机与泵体之间的联轴器的同轴度，看同 轴度的偏心是否在规定的范围内。如果超出规定，需重新调整电机与泵体的相对位 置，保证联轴器的偏心度在规定范围内。(2)联轴器内弹性模块的磨损。液环泵频繁的启停导致联轴器内弹性模块的 磨损不均，受力侧往往磨损较严重，甚至整个背磨蚀殆尽，从而导致联轴器内两对 轮直接碰撞，造成联轴器的同轴度偏心。而联轴器同轴度的偏心反过来加剧了弹性 模块的磨损。因此，要使用质量好的弹性块，并根据液环泵的启停频率定期检查并 及时更换

9、磨损的弹性块。见图3-联轴用器弹性块。Iff Fil， u图2真空泵控制原理图图3联轴器用弹性块3.3 真空度偏低系统真空度偏低，首先检查是管路泄露还是泵体原因。管路泄露主要是法兰连 接处泄露或末端阀门敞开，从而造成系统真空度偏低。排除管路泄露原因后，检查 工作液的水温是否异常。工作液的水温对液环泵真空度影响较大，水温越低，设备所抽真空度也越高。根据所选用设备本身及系统真空度需求，该电子厂所用工作液的进出水温度为20/25C 0当工作液回水温度过高时，检查工作液循环管路是否有堵塞现象发生。 通 常造成管路堵塞的地方是板式换热器的翅片。由于水环与气环在泵体内有局部重叠，造成气体中的尘埃被水带走，沿着水管进入板式换热器，积聚在翅片上造成工作液侧的堵塞（见图 4板换清洗图）。图4板换清洗图另外，冷冻水管侧由于冲洗不干净即投入运行，也会造成板换堵塞，造成工作 液换热不均，从而使得工作液温度偏高，真空度偏低。因此，要时时检查工作液侧的进出水温度，及时