激光干涉仪线性测量操作规程

1、激光干涉仪线性测量操作规程激光干涉仪线性测量操作规程一、本规程适用范围：适用于专职从事激光干涉仪的测量工作。二、作业前的准备：1、熟悉激光干涉仪的正确操作步骤。2、检查激光干涉仪机箱中的各个部件、相关配套装置和所需工具是否齐全。3、检查供给电源是否为220v,防止缺项、短路的情况发生。4、测量前，必须先将机床的参数数据等备份，最好能在硬盘上备份 一份，在移动设备上备用一份，以防丢失。严禁对未备份的机床 进行补偿。二、操作规程：1、 三脚架安装：将三脚架（见图一）从箱中取出，三条支撑腿撑开，中间一节拉出、旋紧，放在被测元素前方平整位置，如地面不平，将地面进行处 理；如果地面很光滑，则需要用粗糙的

2、麻布垫在三脚架的下面。 用钥 匙打开仪器箱，从机箱中取出云台自锁螺母旋到三脚架上。图一：三脚架2、XL-80激光头的安装、调整: 、用右手拇指与其余四指分开，正确抓住XL-80激光头（见图二）， 左手配合将激光头和云台从机箱中取出，左手将云台下方自锁手柄推 到松开位置后，置于三脚架的云台（见图三）自锁螺母上，慢慢转动 激光头，使自锁手柄与云台自锁螺母正确结合， 锁紧手柄自锁。要求:图三：云台激光头射出的光束应与被测元素相对运动方向平行或一致。图二：XL-80激光头 、释放云台所有旋紧螺钉，使云台各方向行程处于中间位置，锁紧。 、从机箱中拿出微型水平仪（见图四），置于激光头中间位置，通过三脚架调

3、节激光头的整体水平。图四:微水平仪5、预热激光头：从机箱中取出激光头电源线和一条 XL-XC USB电缆组件数据 线，将其正确插入相应接口，电源插头插入电源，数据线另一端口插 入电脑USB接口。打开电源开关，激光头进入预热状态。将激光头 的光闸旋转到找正光源状态位置。 激光头发射出激光束，但此时的激 光束是频闪不稳定状态。6、安装补偿单元： 、从箱中取出强磁力吸盘（见图五），将其安装在被测元素固定 部位处（安装时注意安全，防止吸盘磁力夹手）。图五：强磁力吸盘 、取出材料温度传感器（M ）（见图六）和空气温度传感器（A（见图七）图六：材料温度传感器图七：空气温度传感器 、将材料温度传感器（M ）

4、带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素的被测材料上，另一端接口通过 XC-80补偿器（见图八）的第二、第三或第四个接口与 XC-80补偿器相连接，接 口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。图八：补偿器和两个温度传感器 、将空气温度传感器（A）带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素固定表面上，另一端接口与 XC-80补偿器的第一个接 口（标志为？）相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。 、XC-80补偿器正确卡入在强磁力吸盘上 、取出另一条XL-XC USB电缆组件数据线（见图九）正确连接到XC-80补偿器和电脑USB接口上。电缆组件数据线图十：永磁体座图九：电缆组件数据线7、安装光学镜组件： 、

5、从箱中取出两块永磁体座（见图十）和三个连接杆（见图一）将连接杆分成两组分别旋在两块永磁体座上，用加力杆旋紧，备用。图十一：连接杆 、将一永磁体座固定在被测元素相对主体运动部分的适合位置上， 另一永磁体座固定在被测元素相对主体静止部分的适合位置上。要 求：相对主体运动部件永磁体座在相对主体静止部件永磁体座与激光 头之间的位置，并且一定靠近对主体静止部分的最近位置处。 、取出线性干涉镜（见图十二）、参考反射镜（见图十三）和干涉 镜固定架（见图十四），待激光头发出激光后，将其正确组合后固定 在被测元素相对主体运动部分永磁体座的连接杆上，高度是激光头发 射的激光刚好从中心穿过的高度。要求：1、干涉镜箭

6、头方向就是激 光行进方向，一定正确组合干涉镜组。 2、干涉镜的一条边棱与永磁 体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。图十二：干涉镜图十三：反射镜图十四：固定架 、箱中取出线性反射镜（见图十三）及反射镜固定架（见图十四） 将其正确组合后固定在被测元素相对主体静止部分永磁体座的连接 杆上，高度是反射镜中心刚好能够反射激光的位置高度。要求：1、线性反射镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合线性反射镜 组。2、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后 面进行找正光源做好基础。6、找正光源 、被测元素位置确认。确认被测元素相对主体运动部分上面的线性 干涉镜组距离被测元素相对主

7、体静止部分上面的反射镜组最近。 、反射镜组的反射光源找正。轻微移动固定有反射镜组的永磁体座， 使激光束进入反射镜组后正确返回到激光头接收位置点上。 、找正干涉镜的干涉后光源。将固定有干涉镜的永磁体座加入上步 调整好的激光束中使其产生干涉行为，轻轻移动永磁体座使干涉后的 激光束正确返回激光头接收位置点上（此时干涉镜与光束平行的边棱 应与干涉镜的其中一个边棱平行或垂直），找正光源第一步完成。 、远离反射镜组最大位置的光源找正。移动被测元素相对主体运动 部件远离装有反射镜组相对主体静止部件达到最远处。用长度计量仪 器测量相对距离并记录数据，为下一步测量做好基础。根据该激光干 涉仪使用中“远调激光，近

8、调镜组”对光原则，观察测量光束与参考 光束的不重合实际，采取相应方法进行调整：两束光束偏离较远时调 整激光头使其尽可能的重合到一起， 如达不到重合效果效果，再进一 步将干涉镜组或反射镜组沿着三维空间中与激光束垂直平面内的两 个方向进行移动，直至测量光束与参考光束重合并射入激光头接收位置点上。（着重：此关键按步骤中，该仪器所配置的云台和升降三脚 架起到关键作用，通过灵活运用云台的左右移动、微动旋转、俯仰及 三脚架的升降功能可以很快的调节找正光束。） 、测试行程中任意位置的光源找正。移动被测元素相对主体运动部 件返回到达中间处任一位置。观察测量光束与参考光束是否重合并射 入激光头接收位置点上。如未

9、重合，按照条款中光束找正方法进行 找正。 、校正测试行程内的光源。先将激光头的镜头旋转至正常采集的工作位置。再次移动被测元素相对主体运动部件返回到反射镜组最近、最远和任意位置处进行光源校正。如果不是最好效果（激 光头前部上方处五个LED灯全部亮起绿灯即为最好效果），请再 次按照项目步骤重新进行光源找正。 如果效果良好，即可进 行下一步的数据测量、采集工作。7、数据测量、采集、分析、输出。 、设置测量参数。打开计算机，进入系统桌面。鼠标左键单击开始 按钮进入“所有程序”菜单，找到程序中“ Renishaw LaserXL ”文 件夹，点击“线性测长”文件进入测量软件界面。点击“等距定义目 标&q

10、uot;按钮萤!，在弹出对话框中设置相应参数后进入数据自动采集 界面等待数据米集。 、数据采集。若被测元素通过系统控制，将该软件自动生成的程序 修改后存入被测要素的系统，按照程序试运行，确认无误后同测量程 序配合进行数据采集。 、数据分析。采集程序完成采集后，自动形成被测要素数据采集图 表并分析各种误差、位置精度和重复位置精度等数据，最后形成报告 以一个统一的格式存储。如需打印连接打印机便可打印出纸质报告。 、完成测试后的工作。测试完成后，应先将激光头电源关掉，关闭电脑。撤掉所有连线以防止收集仪器时产生绊线导致仪器跌落。撤线时手中拿一棉布，将棉布从一端包起，两手轮换将线整齐收起的同时 将线擦拭

11、干净，放入仪器箱中规定位置。收激光头贵重组件时，先将 激光头的镜头转向关闭位置。用右手拇指与其余四指分开，正确抓住XL-80激光头，左手配合打开三角架上的自锁手柄将激光头和云台从 三角架上取下，放入仪器箱中固定位置。收集所有使用的各个部件恢 复原状态后放入仪器箱中固定位置。认真清点核对仪器箱中的所有组 件及附件。确认无误后关闭仪器箱并落锁。&注意事项： 、激光头预热时间会根据气温的变化而变化，但总体时间不会超过15分钟，因此在测量数据前一定要保证在激光波长稳定后进行，如 需等待，请执行。如果等待时间超过 15分钟，联系售后服务部门检 修。 、切勿将传感器放置在计算机磁盘或磁带或任何可能被传感器磁场 损坏的物体附近。 、安装仪器时，请勿长时间使激光束射入眼睛，激光束会对眼睛造 成伤害。 、仪器开箱前，应将仪器箱平放在地上，严禁手提或怀抱着仪器开 箱，以免仪器在开箱时仪