IMPL03E220离子注入机中束流操作规范

1、文件标题（Title） IMPL032 E500220HP离子注入机(中束流)操作规范 文件类别：Q(质量)S(EHS) C(S+Q) 一、文件拟制、审核：部门拟制者签名日期审核者审核者签名审核日期工程部扩散王晓静卞兰芹卞兰芹王晓静20056-09-111-12张 明张 明2005-1-12二、 文件会签：部门会签人员签名日期部门会签人员签名日期制造部徐 步徐 步2005-1-13三、 文件批准和生效：部门批准人员签名日期文件编号版本生效日期工程部刘 逵刘 逵2005-1-13QW-750824B122005-1-13 四、 文件分发：分发部门接收人日期分发部门接收人日期五、文件修订记录：修订

2、日期修订申请人修订人主要修订内容2005-1-12王晓静叶可佳文件标题具体化；由“E500HP注入机操作规范”改为“IMPL02 E500HPIMPL03 E220离子注入机(中束流)操作规范”。5.0定义中“生产线的M1(L6M1)”改为“生产线的IMPL02”8.0附录一：标题具体化。六、 机密等级：普通。 1.0 标题：IMPL03 E2202 E500HP离子注入机(中束流)操作规范2.0 目的：该文件目的在于提供一个IMPL02 E500HPIMPL03 E220离子注入机(中束流)(以下简称E500HP220)设备标准工艺操作过程。3.0 适用范围：该文件适用于所有工艺操作E500

3、HP220人员。4.0 参考文件：无。5.0 定义： 该E500HP220为生产线的IMPL032，该设备为VARIAN注入设备(中束流注入机)。6.0责任： 6.1 操作人员需严格按该文件操作该设备。6.2 设备人员有确保设备状态良好的责任。6.3 工艺人员有确保工艺正常，可做产品的责任。 6.4 所有人员在该设备上处理园片时，要严格按标准工艺操作来作业。 6.5 所有人员在标准工艺操作中，遇到异常情况，需及时向EE、PE反映处理。7.0 内容： 7.1 制程目的： 形成不同形式(N型或P型)掺杂。 7.2 安全： 在操作E500HP220的过程中，有以下几种不安全因素： .1 高压电击：E

4、500HP220的对地最高电压为200KV,它将严重灼伤人体或触电。 .2 机械损伤：在终端台的部位有很多运动部件,如被卷入或碰撞将会伤及人体。 .3 X射线辐射：带有能量的二次电子会产生强烈的X 射线,一旦泄漏将会危及人 们的身体健康。 .4 高温烫伤：离子源部分以及泵等在运行过程中会产生很高的温度,如果触及这些部位将会造成烫伤。 .5 有毒气体: 离子部分及真空腔的有毒气体（如BF3等）如被吸入会危及人的健 康甚至生命。 为防止以上不安全因素严禁作业员私自打开设备的OUTER DOOR，触摸OUTER DOOR内任何部位； 设备各INTERLOCK安全装置，严禁BYPASS。 在运转中一旦

5、发生危险情况，需要立刻关闭机台，可按下红色的EMO按钮, 整个 机台的所有电源都将被关闭。 7.3 材料：Ar、BF3、PH3、AsH3气体。 7.4 操作过程： 确认设备状态牌，设备正常后，确认各部分（SOURE，BEAMLINE）真空达到5E-7以下可进行正常作业；否则严禁作业。 半自动方式：.1 (若为STANDBY状态，直接跳到7.4.2.5执行)在Sign-On Screen画面(见下图1)中触“Enter your OPERATOR ID”对话框；.2 用屏幕所显示的键盘输入正确的OPERATOR ID，作业员为“1234”触“ENTER”确认；.3 再在密码对话框中输入正确的密码

6、，作业员为“1234”，OPERATOR ID和密码应输入正确，两次错误设备将自锁（见下图2），请通知相应工程师。图一 登录画面图二 登录画面锁住 .4 户头登录后进入MODE MENU画面（如图三），触“MANUAL MODE”按纽进入MANUAL MENU SCREEN（如图四）。图三 MODE MENU SCREEN图四 MANUAL MENU SCREEN 7.4.2.5触 MANUAL VACUUM，进入 VACUUM SCREEN。（如图5）确认各部分（SOURE，BEAMLINE）真空达到5E-7以下，方可作业 图五 VACUUM SCREEN .65 触图四中LOAD WAFE

7、RSBATCH CONTROL，进入BATCH STATUS SCREEN。（如图65）图五六 BATCH STATUS SCREEN 切换按纽，如该处为电压、电流相互切换该圈显示红色或黄色表示当前为调节该项开关按纽，OFF时按一下开，再按一下则关 图七六 SOURCE SCREEN.76 触对应需上下料端的UNLOAD按纽，该上下料端门自动打开（中间按纽为两边门一起开），等待门打开后，加上所需加工的圆片，再触LOAD按纽，门自动关闭；.78 触所加圆片端的PROCESS按纽，出现RECIPE INDEX SCREEN，选择正确的工艺菜单；.98 触USE按纽，则回到BATCH STATUS

8、SCREEN，并在PROCESS框内显示所选的菜单名，确认所选菜单是否正确，如不正确重新触PROCESS选择菜单；.109 如正确触LOT按纽，用屏幕显示的键盘输入批号，触ENTER回到BATCH STATUS SCREEN，并在LOT框内显示相应的批号。.110 再次确认菜单、批号是否正确，如不正确重新从7.4.2.87开始操作，如正确触BATCH STATUS屏幕上显示的GO 按纽。.121 32步；.123 触右上角STOP终止自动引束，并到SOURCE画面，如图76所示：.134 将图六七中各电源打开，先按下表对各参数进行设定：参数名称设定值参数名称设定值ARC VOL90VAXIS

9、X450ARC CUR0.5AAXIS Y450GAS1.5AXIS Z900MAG30AEXT VOL按菜单设定FIL CUR150AAMU按对应元素设定.154 触右下角的束流档（SETUP、FOCUS、TARGET）中的SETUP，确认SETUP框外框线为红色，如图七六所示；.165 对以上各参数进行微调，使SETUP束流与设备中LEARN的束流值相近；.176 触SOURCE画面右上角的BEAMLINE按纽进入BEAMLINE画面，如图7；图八七 BEAMLINE SCREEN.178 触右下角的束流档（SETUP、FOCUS、TARGET）中的FOCUS，切换到FOCUS；.198

10、按菜单内容加上后加速ACC电压，如为双电荷注入MIR电压设置为28kv；.2019 反复（3次左右）按Q1、Q2、DEF、LENS MAGNET的顺序进行调节，使FOCUS束流达到最大值；.210 按BEAMLINE画面的右上角的BEAM SCAN，进入BEAM SCAN画面，如图98；.221 按BEAM SCAN画面上方的SETUP按纽，设备自动进行校准及计算扫描次数，完成后自动显示图109画面；.232 如扫描次数少于菜单规定次数，设备自动报警，应按比例降低束流值；.243 触图109画面上方的IMPLANT按纽，设备自动进入注入画面，如图1011；.254 在IMPLANT MONIT

11、OR 画面，触GO设备即进行自动作业；.265 作业结束后设备自动回到BATCH STATUS SCREEN，触对应的UNLOAD按纽，设备自动打开上下料门，下料，作业完成。关机： .1 在BATCH STATUS画面中触MODE MENU，显示MODE MENU SCREEN。.2 在MODE MENU SCREEN画面，触SYSTEM SHUT DOWN，并在磁盘驱动器中插入备份盘，即进行自动关机。.3 结束后按设备提示取出备份盘，设备自动关机退回Sign-on Screen。 出片检查： 按扩散表面检查操作标准的规定对圆片进行出片检查。7.4.5 送入下道工序。图九八 BEAMSCAN

12、SCREEN图十图十九图十一 IMPLANT MONITOR SCREEN 7.5 注意事项： 终止作业：在IMPLANT MONITOR画面下触HOLD可使当前作业终止。 对于出现异常，未完成注入的圆片一定要在交班本上有异常情况的书面交班，交班 的内容包括： A. 发现的异常现象； B. 异常现象所涉及的批次，工序号，片号等； C. 异常时，圆片的加工情况； D. 出现异常的注入机。 E. 受异常影响的园片，现在所放置的位置。 禁止设备状态不稳定时作业； 注入过程中如存在参数(能量，注入时间，AMU等)不正常，束流、气压不稳（波动大于10%），高压打火（一批超过2次打火）时，严禁作业，并通知相关工程师或技术员。8.0 附录：附录一：IMPL02 E500HPIMPL03 E220离子注入机(中束流)操作流程图9.0 有效期：本文件自发布之日起至下次修正日止。10.0 机密等级：普通。END附录一：IMPL02 E500HPIMPL03 E220离子注入